接合装置制造方法及图纸

接合装置

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】接合装置、接合系统以及接合方法


[0001]本专利技术于一种接合装置
、
接合系统以及接合方法
。

技术介绍

[0002]提案有一种使两个被接合物之一者保持在桌台，使另一者保持在头体后的状态下，量测两被接合物的位置偏移量，依据该位置偏移量，进行被接合物的对位后，接合被接合物们的接合装置
(
参照例如专利文献
1)。
[0003][
先行技术文献
][0004][
专利文献
][0005][
专利文献
1]日本特开
2011
‑
066287
号公报

技术实现思路

[0006][
专利技术所欲解决的问题
][0007]顺便一提，专利文献1所述的接合装置，其具有使头体往铅直方向升降的
Z
轴升降驱动机构，被配置于头体的铅直上方，被自设有桌台的底板立设的支撑架所支撑的构造
。
在此情形下，自设有接合装置的地面，至
Z
轴升降驱动机构为止的高度变高
。
因此，
Z
轴升降驱动机构及头体的震动震幅变大，对于桌台的头体的相对性震动震幅变大
。
因此，两个被接合物们的对准精度及接触两个被接合物时的接触位置的参差变大，接合两个被接合物们后的位置精度降低
。
[0008]本专利技术鉴于上述事由所研发出者，其目的在于提供一种可以较高的位置精度，接合基板们的接合装置
、
接合系统以及接合方法
。
[0009][
用以解决问题的手段
][0010]为了达成上述目的，本专利技术的接合装置，其为一种接合装置，接合第1基板与第2基板，其特征在于：
[0011]其包括：
[0012]桌台，支撑该第1基板；
[0013]头体，与该桌台相向配置，以与该桌台相向之侧，保持该第2基板；
[0014]头体支架，于该头体中的该桌台侧的相反侧中，保持该头体，延伸到直交于该头体与该桌台的排列方向的方向中的该头体及该桌台的外侧；
[0015]复数支架支撑部，自该桌台的外周部中的复数处所的每一个，支撑该头体支架；以及
[0016]复数支撑部驱动部，使该复数支架支撑部，各别移动往该头体支架与该桌台彼此接近的第1方向，或者，往该头体支架与该桌台彼此远离的第2方向
。
[0017]自其他的观点看来的本专利技术的接合方法，其为一种接合方法，接合第1基板与第2基板，其特征在于：
[0018]包含与用于保持该第2基板的头体中的用于保持该第1基板的桌台相向配置，而
且，于该桌台侧的相反侧中，保持该头体，使自该桌台的外周部中的复数处所的每一个，支撑延伸到直交于该头体与该桌台的排列方向的方向中的该头体及该桌台的外侧的头体支架的复数支架支撑部，各别移动往该头体支架与该桌台彼此接近的第1方向，或者，往该头体支架与该桌台彼此远离的第2方向，借此，调整该桌台的周部中的复数处所，与相向于该头体中的该桌台的周部的复数处所的每一个的复数处所间的距离的工序
。
[0019][
专利技术功效
][0020]当依据本专利技术时，复数支架支撑部，其自桌台的外周部中的复数处所的每一个，支撑头体支架，支撑部驱动部，其使复数支架支撑部，各别移动往上述第1方向或上述第2方向
。
借此，可使桌台及头体的自地面算起的距离较短，所以，仅如此，可降低桌台及头体的震动震幅
。
因此，起因于震动的位置偏移被降低，所以，仅如此，就可以以较高的位置精度，接合第1基板与第2基板
。
附图说明
[0021]图1为本专利技术实施形态的基板接合系统的示意构造图
。
[0022]图
2A
为实施形态的接合装置及转移装置的一部分的密封构件，处于第2状态时的示意剖面图
。
[0023]图
2B
为实施形态的接合装置及转移装置的一部分的密封构件，处于第1状态时的示意剖面
。
[0024]图3为实施形态的密封驱动部的示意图
。
[0025]图4为实施形态的活性化处理装置的示意正视图
。
[0026]图5为实施形态的接合装置的示意正视图
。
[0027]图
6A
为实施形态的桌台及头体的示意俯视图
。
[0028]图
6B
为实施形态的桌台及头体的示意剖面图
。
[0029]图7为实施形态的接合装置的示意俯视图
。
[0030]图
8A
为用于说明实施形态的桌台与头体间的距离的量测方法的图
。
[0031]图
8B
为用于说明调整实施形态的头体的倾斜的方法的图
。
[0032]图
9A
为桌台及桌台基座的俯视图
。
[0033]图
9B
为用于说明旋转桌台的动作的图
。
[0034]图
10A
为表示被设于接合的两个基板之一者的两个对准标记的图
。
[0035]图
10B
为表示被设于接合的两个基板的另一者的两个对准标记的图
。
[0036]图
11A
为表示对准标记的拍摄图像的示意图
。
[0037]图
11B
为表示对准标记彼此偏移的状态的示意图
。
[0038]图
12
为实施形态的接合装置的一部分的示意图
。
[0039]图
13
为表示实施形态的接合系统所执行的接合方法的流程的流程图
。
[0040]图
14A
为表示借实施形态的接合系统的转移装置，基板被转移的情形的图
。
[0041]图
14B
为表示基板自实施形态的接合系统的转移装置，被往通路锁闭部交付的情形的图
。
[0042]图
15A
为表示基板自实施形态的接合系统的通路锁闭部，被往转移装置交付的情形的图
。
[0043]图
15B
为表示基板自实施形态的接合系统的转移装置，被往活性化处理装置交付的情形图
。
[0044]图
16A
为表示基板自实施形态的接合系统的转移装置，被往通路锁闭部交付的情形的图
。
[0045]图
16B
为表示基板自实施形态的接合系统的通路锁闭部，被往转移装置交付的情形的图
。
[0046]图
17A
为表示基板自实施形态的接合系统的转移装置，被往洗净装置交付的情形的图
。
[0047]图<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种接合装置，接合第1基板与第2基板，其特征在于：其包括：桌台，支撑该第1基板；头体，被配置为与该桌台相向，以与该桌台相向之侧，保持第2基板；头体支架，于该头体中的该桌台侧的相反侧，保持该头体，延伸到与该头体与该桌台的排列方向直交的方向中的该头体及该桌台的外侧；复数支架支撑部，自该桌台的外周部中的复数处所的每一个，支撑该头体支架；以及复数支撑部驱动部，使该复数支架支撑部，各别移动往该头体支架与该桌台彼此接近的第1方向，或者，往该头体支架与该桌台彼此远离的第2方向
。2.
根据权利要求1所述的接合装置，其中该复数支撑部驱动部，分别使该复数支架支撑部，各别移动往该第1方向或该第2方向，借此，调整该桌台的周部中的复数处所，与相向于该头体中的该桌台的周部的复数处所的每一个的复数处所间的距离，借此，进行对于该桌台的该头体的平行度的调整
。3.
根据权利要求1或2所述的接合装置，其中该复数支架支撑部及该复数支撑部驱动部，其分别各存在有三个
。4.
根据权利要求1～3中任一项所述的接合装置，其中其还包括：连结部，被配设于该复数支架支撑部的每一个的该头体支架侧的端部，在相对于该复数支架支撑部而言，该头体支架摆动自如的状态下，连结该复数支架支撑部到该头体支架；以及锁固机构，可获得固定该头体支架到该复数支架支撑部的锁固状态
、
及在使该头体支架相对于该复数支架支撑部而言，摆动自如的状态下，维持的未锁固状态的任一者的状态
。5.
根据权利要求1～3中任一项所述的接合装置，其中其还包括于支撑该头体的状态下，被固定于该头体支架，而且，支撑该头体的头体支撑部分，与被固定于该头体支架的支架固定部分间的长度为可变的复数头体支撑构件，该复数支架支撑部的每一个的该头体支架侧的端部，其被固定于该头体支架，该复数头体支撑构件，该复数头体支撑构件的每一个的该头体支撑部分，与该支架固定部分间的长度被调整，借此，可调整对于该桌台的该头体的平行度，该复数支撑部驱动部，其分别使该复数支架支撑部，各别移动往该第1方向或该第2方向，借此，调整该桌台的周部中的复数处所，与相向于该头体中的该桌台的周部的复数处所的每一个的复数处所间的距离，以挠曲该头体支架，借此，进行对于该桌台的该头体的平行度的调整
。6.
根据权利要求1～5中任一项所述的接合装置，其中其还包括于该头体中的至少三处中，量测该头体与该桌台的排列方向中的该头体或该第2基板，与该桌台或该第1基板间的距离的距离量测部
。7.
根据权利要求1～6中任一项所述的接合装置，其中该桌台与该头体的至少一者，其具有按压机构，该按压机构，其于该第1基板与该第2基板的至少一者的周部被保持的状态下，按压该第1基板与该第2基板的至少一者的中央部，借此，挠曲该第1基板与该第2基板的至少一者，使得该第1基板与该第2基板的至少一者的接合面的中央部，比周部还要突出
。
8.
根据权利要求1～7中任一项所述的接合装置，其中其还包括腔体，该腔体，其被维持为减压状态，该头体及该桌台被配置于内侧，同时自该头体与该桌台的排列方向观之，其被配置于该复数支撑部驱动部的内侧的领域
。9.
根据权利要求1～8中任一项所述的接合装置，其中其具有：顶板，支撑该桌台
、
该头体及该复数支撑部驱动部；以及板支撑部，具有防震机构，于铅直上方中，移动自如地支撑该顶板
。10.
根据权利要求9所述的接合装置，其中其具有：震动检测部，检测传递到该顶板的震动；板体驱动部，使该顶板相对于该板支撑部而言，相对性移动；以及防震控制部，依据由该震动检测部所检测到的该震动，控制该板体驱动部以移动该顶板，使得抵销该震动
。11.
一种接合系统，其包括：接合装置，接合第1基板与第2基板；第1架台，载置有该接合装置；转移装置，转移该第1基板与该第2基板往该接合装置；以及第2架台，与该第1架台不同，载置有该转移装置，该接合装置具有：桌台，支撑该第1基板；头体，被配置为与该桌台相向，以相向于该桌台之侧，保持该第2基板；头体支架，于该头体中的该桌台侧的相反侧中，保持该头体，延伸到与该头体及该桌台的排列方向直交的方向中的该头体及该桌台的外侧；复数支架支撑部，自该桌台的外周部中的复数处所的...

【专利技术属性】
技术研发人员：山内朗，
申请(专利权)人：邦德科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：