接合系统以及接合方法技术方案

一种接合系统，接合两个基板，其特征在于其包括：接合装置

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】接合系统以及接合方法


[0001]本专利技术关于一种接合系统以及接合方法
。

技术介绍

[0002]提案有一种使两个被接合物之一者保持在桌台，使另一者保持在头体后的状态下，量测两被接合物的位置偏移量，依据该位置偏移量，进行被接合物的对位后，接合被接合物们的接合装置
(
参照例如专利文献
1)。
[0003][
先行技术文献
][0004][
专利文献
][0005][
专利文献
1]日本特开
2011
‑
066287
号公报

技术实现思路

[0006][
专利技术所欲解决的问题
][0007]顺便一提，专利文献1所述的接合装置，其一般提供一同组合导入口与转移装置，所组成之一个接合系统
。
该导入口用于接收被接合物
。
该转移装置，其用于转移被载置于导入口的被接合物，往接合装置内
。
在此情形下，当由转移装置所产生的震动，传递到接合装置时，于接合装置中，头体相对于桌台而言，相对性震动，而有无法精度良好地量测两被接合物的相对位置偏移量之虞
。
而且，当两被接合物的位置偏移量的量测精度较低时，变得较难位置精度较高地接合两被接合物
。
[0008]本专利技术鉴于上述事由所研发出者，其目的在于提供一种可以较高的位置精度，接合基板们的接合系统以及接合方法
。
[0009][
用以解决问题的手段
][0010]为了达成上述目的，本专利技术的接合系统，
[0011]其为一种接合系统，接合两个被接合物，其特征在于：
[0012]其包括：
[0013]接合装置，执行于减压下，进行该两个被接合物的定位的定位工序后，执行于减压下，接触该两个被接合物的接触工序；以及
[0014]转移装置，转移该两个被接合物往该接合装置，
[0015]该接合装置，其于该转移装置自该接合装置离隙后的状态下，执行该定位工序及该接触工序
。
[0016]自其他的观点所见的本专利技术的接合方法，
[0017]其为一种接合方法，接合两个被接合物，其特征在于：
[0018]其包括：
[0019]转移工序，转移装置，其于抵接到接合装置后的状态下，转移该两个被接合物往该接合装置；
[0020]退出工序，该转移装置，其自该接合装置退出，成为自该接合装置离隙的状态；
[0021]定位工序，该接合装置，其于该转移装置自该接合装置离隙的状态下，进行在减压下，对于该两个被接合物中的任一者的另一者的定位；以及
[0022]接触工序，该接合装置，其于该转移装置自该接合装置离隙的状态下，于减压下，接触该两个被接合物
。
[0023][
专利技术功效
][0024]当依据本专利技术时，接合装置，其于转移装置自接合装置离隙后的状态下，于减压下，执行进行两个被接合物的定位的定位工序后，于减压下，执行接触两个被接合物的接触工序
。
借此，当于接合装置中，执行定位工序及接触工序时，由转移装置所产生的震动所致的位置偏移量的误差的影响降低，所以，仅如此，就可以以较高的位置精度，接合两个被接合物们
。
附图说明
[0025]图1为本专利技术实施形态的基板接合系统的示意构造图
。
[0026]图
2A
为实施形态的接合装置及转移装置的一部分的密封构件，处于第2状态时的示意剖面图
。
[0027]图
2B
为实施形态的接合装置及转移装置的一部分的密封构件，处于第1状态时的示意剖面
。
[0028]图3为实施形态的密封驱动部的示意图
。
[0029]图4为实施形态的活性化处理装置的示意正视图
。
[0030]图5为实施形态的接合装置的示意正视图
。
[0031]图
6A
为表示被设于接合的两个基板的一者的两个对准标记的图
。
[0032]图
6B
为表示被设于接合的两个基板的另一者的两个对准标记的图
。
[0033]图
7A
为表示对准标记彼此偏移的状态的示意图
。
[0034]图
7B
为表示对准标记彼此偏移的状态的示意图
。
[0035]图8为实施形态的接合装置的一部分的示意图
。
[0036]图9为表示实施形态的接合系统所执行的接合方法的流程的流程图
。
[0037]图
10A
为表示借实施形态的接合系统的转移装置，基板被转移的情形的图
。
[0038]图
10B
为表示基板自实施形态的接合系统的转移装置，被往通路锁闭部交付的情形的图
。
[0039]图
11A
为表示基板自实施形态的接合系统的通路锁闭部，被往转移装置交付的情形的图
。
[0040]图
11B
为表示基板自实施形态之接合系统的转移装置，被往活性化处理装置交付之情形之图
。
[0041]图
12A
为表示基板自实施形态的接合系统的转移装置，被往通路锁闭部交付的情形的图
。
[0042]图
12B
为表示基板自实施形态的接合系统的通路锁闭部，被往转移装置交付的情形的图
。
[0043]图
13A
为表示基板自实施形态的接合系统的转移装置，被往洗净装置交付的情形的图
。
[0044]图
13B
为表示基板自实施形态的接合系统的洗净装置，被往转移装置交付的情形的图
。
[0045]图
14A
为表示基板自实施形态的接合系统的转移装置，被往通路锁闭部交付的情形的图
。
[0046]图
14B
为表示基板自实施形态的接合系统的通路锁闭部，被往转移装置交付的情形的图
。
[0047]图
15A
为表示实施形态的接合系统的密封构件，处于第1状态后的情形的图
。
[0048]图
15B
为表示借实施形态的接合系统的转移装置，基板往接合装置被转移的情形的图
。
[0049]图
16
为表示动作与停止实施形态的防震单元的板体驱动部后的震动震幅的频谱的图
。
[0050]图
17
为变形例的接合装置的示意正视图
。
[0051]图
18
为表示变形例的接合装置及转移装置的一部分的示意剖面图
。
[0052]图
19
为变形例本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种接合系统，接合两个被接合物，其特征在于：其包括：接合装置，在减压下，执行进行该两个被接合物的定位的定位工序后，于减压下，执行接触该两个被接合物的接触工序；以及转移装置，转移该两个被接合物往该接合装置，该接合装置，其在该转移装置自该接合装置离隙后的状态下，执行该定位工序及该接触工序
。2.
根据权利要求1所述的接合系统，其中该接合装置具有：第1腔体，被维持于减压状态；第1闸门，被设于该第1腔体的一部分；第1闸门驱动部，开闭驱动该第1闸门；以及第1框体，于该第1腔体的外侧，被设成围绕该第1闸门，该转移装置具有：第2腔体，被维持于减压状态；第2闸门，被设于该第2腔体的一部分；第2闸门驱动部，开闭驱动该第2闸门；第2框体，于该第2腔体的外侧，被设成围绕该第2闸门，与该第1框体相向，同时以自该第1框体离隙后的状态配置；密封构件，其为环状，形成有于内侧填充有流体的填充领域，同时被配置于该第1框体与该第2框体之间，可获得：第1状态，流体被填充于该填充领域，借此，膨胀以附着于该第1框体，密封该第1框体与该第2框体间的领域；以及第2状态，该填充领域内的流体被排出，借此，收缩以成为自该第1框体与该第2框体的至少一者离隙后的状态；密封驱动部，填充流体往该填充领域，或者，排出被填充到该填充领域的流体，使得该密封构件成为该第1状态与该第2状态的任一者；以及转移机构，当该密封构件为该第1状态，该第1闸门与该第2闸门为开状态时，自该第2腔体内，转移该两个被接合物的至少一者往该第1腔体内
。3.
根据权利要求2所述的接合系统，其中还包括控制该第1闸门驱动部
、
该第2闸门驱动部
、
该密封驱动部及该转移机构的控制部，该控制部，其于控制该转移机构，以使该两个被接合物的至少一者，自该第2腔体内，转移往该第1腔体内之前，控制该密封驱动部，以使该密封构件自该第2状态转为该第1状态后，控制该第2闸门驱动部，以使该第2闸门为开状态，之后，控制该第1闸门驱动部，以使该第1闸门为开状态
。4.
根据权利要求2或3所述的接合系统，其中该接合装置还具有：第1保持部，于该第1腔体内，保持该两个被接合物中的任一者；第2保持部，于该第1腔体内，保持该两个被接合物中的另一者；位置量测部，量测该两个被接合物的相对位置；以及保持部驱动部，使该第1保持部与该第2保持部中的至少一者，相对于另一者而言，相对性移动
。5.
根据权利要求1～4中任一项所述的接合系统，其中还包括：
第1架台，载置有该接合装置；第2架台，与该第1架台不同，载置有该转移装置，该第1架台与该第2架台，其被配置为彼此离隙
。6.
根据权利要求5所述的接合系统，其中其具有：顶板，被维持于减压状态的第1腔体
、
于该第1腔体内，保持该两个被接合物中的任一者的第1保持部
、
于该第1腔体内，保持该两个被接合物中的另一者的第2保持部
、
及量测该两个被接合物的相对位置的位置量测部，其被配置于铅直上方；以及板支撑部，具有防震机构，于铅直上方，移动自如地支撑该顶板
。7.
根据权利要求6所述的接合系统，其中该板支撑部为被配置于该第1架台的铅直上方，其具有：震动检测部，检测传递到该顶板的震动；板体驱动部，使该顶板相对于该板支撑部而言，相对性移动；以及防震控制部，依据由该震动检测部所检测到的该震动，控制该板体驱动部以移动该顶板，使得抵销该震动
。8.
根据权利要求6所述的接合系统，其中该第1架台...

【专利技术属性】
技术研发人员：山内朗，
申请(专利权)人：邦德科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：