元件安装装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种元件安装装置。一边防止装置的大型化一边合适地进行元件的吸附和吸嘴的吸附。将利用负压来吸附元件的吸嘴利用负压而向头的保持部吸附的元件安装装置具备：吸嘴用流路，能够将通过真空泵的工作而产生的负压向吸嘴供给；正压流路，供给正压；喷射器，利用正压流路的正压来产生负压；及保持部用流路，能够将通过喷射器的工作而产生的负压向保持部供给。部供给。部供给。

【技术实现步骤摘要】
元件安装装置


[0001]本说明书公开元件安装装置。

技术介绍

[0002]以往，作为元件安装装置，提出了在利用吸嘴将元件向基板安装的装置中进行用于使头吸附并保持吸嘴的负压的供给和用于使吸嘴吸附元件的负压的供给的元件安装装置。例如，在专利文献1的装置中，对保持吸嘴的吸嘴保持机构供给来自压力调整装置的负压，对吸嘴供给来自吸嘴压调整装置的负压。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：国际公开第2017/203626号

技术实现思路

[0006]专利技术所要解决的课题
[0007]在上述的专利文献1中，在形成为在压力调整装置和吸嘴压调整装置作为不同的负压源而分别设置负压泵的结构的情况下，不仅成本增加，由于需要比较大的空间，所以装置会大型化。因而，也可考虑对压力调整装置和吸嘴压调整装置共用1个负压泵的结构。但是，若形成为这样的结构，则在吸附了容易泄漏的元件时，该泄漏的影响会波及到吸嘴的保持，因此吸嘴可能会落下，不优选。
[0008]本公开的主要目的在于一边防止装置的大型化一边合适地进行元件的吸附和吸嘴的吸附。
[0009]用于解决课题的手段
[0010]本公开为了达成上述的主要目的而采用了以下的手段。
[0011]本公开的元件安装装置将利用负压来吸附元件的吸嘴利用负压而向头的保持部吸附，其主旨在于，具备：吸嘴用流路，能够将通过真空泵的工作而产生的负压向所述吸嘴供给；正压流路，供给正压；喷射器，利用所述正压流路的正压来产生负压；及保持部用流路，能够将通过所述喷射器的工作而产生的负压向所述保持部供给。
[0012]本公开的元件安装装置具备能够将通过真空泵的工作而产生的负压向吸嘴供给的吸嘴用流路和能够将通过喷射器的工作而产生的负压向保持部供给的保持部用流路。由此，由于将来自于不同的负压源的负压向元件的吸附和吸嘴的吸附供给，所以即使在元件的吸附中产生泄漏，影响也不会波及到吸嘴的吸附。另外，通过使负压源的一方为喷射器，与使负压源的双方为真空泵的情况相比，能够形成为紧凑且廉价的结构。而且，由于将来自能够比喷射器稳定供给的真空泵的负压使用于元件的吸附，所以能够使元件的吸附稳定而防止容易产生泄漏的元件的落下等。综上，能够一边防止装置的大型化一边合适地进行元件的吸附和吸嘴的吸附。
附图说明
[0013]图1是示出元件安装装置10的结构的概略的立体图。
[0014]图2是示出元件安装装置10的电连接关系的框图。
[0015]图3是示出供给压力的主要的结构的框图。
[0016]图4是示出压力供给装置70的结构的概略的结构图。
具体实施方式
[0017]接着，使用附图来说明本公开的实施方式。图1是示出元件安装装置10的结构的概略的立体图。图2是示出元件安装装置10的电连接关系的框图。需要说明的是，在本实施方式中，图1的左右方向是X轴方向，前后方向是Y轴方向，上下方向是Z轴方向。
[0018]如图1所示，元件安装装置10具备元件供给装置20、基板搬运装置30、移动装置40、头单元50、零件相机62、标记相机64、吸嘴储料器66、压力供给装置70(参照图2)及控制装置90(参照图2)。元件供给装置20是设置于元件安装装置10的基台12的前部且具备例如在带以预定间隔收容有元件的带盘22的带式供料器，通过未图示的电动机的驱动，将带从带盘22拉出，将元件向供给位置供给。基板搬运装置30具备例如在前后方向(Y轴方向)上空出间隔地设置于基台12上且在左右方向上架设的1对传送带32，通过未图示的电动机的驱动来驱动传送带32，从而将基板S从图1的左侧向右侧搬运。移动装置40具备沿着Y轴方向设置的导轨46、沿着导轨46移动的Y轴滑动件48、沿着X轴方向设置于Y轴滑动件48的导轨42及沿着导轨42移动的X轴滑动件44。在X轴滑动件44安装有头单元50。移动装置40通过使X轴滑动件44和Y轴滑动件48移动而使头单元50在XY方向上移动。
[0019]头单元50例如构成为在轴心线上安装1个吸嘴52的单吸嘴头，具备R轴致动器54和Z轴致动器56(参照图2)。头单元50通过R轴致动器54的驱动而使吸嘴52绕着头单元50的轴心线旋转。另外，头单元50通过Z轴致动器56的驱动而使Z轴滑动件57(参照图2)在Z轴方向上升降。Z轴滑动件57在其下端设置有保持吸嘴52的吸嘴保持部51(参照图2)，通过Z轴致动器56的驱动而使吸嘴52在Z轴方向上升降。吸嘴52通过负压而向吸嘴前端吸附元件，通过正压而解除元件的吸附。吸嘴52由吸嘴保持部51保持为负压。压力供给装置70向吸嘴保持部51、吸嘴52供给负压、正压，其详情后述。
[0020]零件相机62设置于元件供给装置20与基板搬运装置30之间。零件相机62的拍摄范围是其上方，零件相机62从下方拍摄吸附于吸嘴52的元件等对象物而生成拍摄图像。
[0021]标记相机64设置于X轴滑动件44的下表面。标记相机64从上方拍摄对象物而生成拍摄图像。作为标记相机64的对象物，可举出在从元件供给装置20的带式供料器供给的元件、基板S上标注的标记、吸嘴储料器66内的吸嘴52的标记等。
[0022]吸嘴储料器66构成为能够将尺寸、形状不同的多种吸嘴52收容于各收容部。储存于吸嘴储料器66的吸嘴52能够向头单元50自动更换。另外，作业者能够在元件安装装置10的工作停止期间，取出储存于吸嘴储料器66内的吸嘴52中的安装处理不需要的种类的吸嘴52，收容安装处理所需要的种类的吸嘴52。
[0023]如图2所示，控制装置90构成为以CPU91为中心的微处理器，除了CPU91之外，还具备ROM92、HDD93、RAM94、输入输出接口(I/F)95等。它们经由总线96而连接。控制装置90基于从未图示的管理装置等取得的基板S的生产作业，以进行元件的安装处理的方式控制元件
安装装置10。生产作业是确定了在元件安装装置10中将哪个元件以哪个顺序向基板S安装和将这样安装了元件的基板S制作几张等的数据。
[0024]另外，控制装置90将来自零件相机62、标记相机64的图像信号等经由输入输出接口95而输入。需要说明的是，在X轴滑动件44、Y轴滑动件48、Z轴滑动件57分别设置有未图示的位置传感器，控制装置90也将来自这些位置传感器的位置信息输入。另外，控制装置90将向元件供给装置20、基板搬运装置30、使X轴滑动件44移动的X轴致动器45、使Y轴滑动件48移动的Y轴致动器49、使Z轴滑动件57移动的Z轴致动器56、压力供给装置70的驱动信号等经由输入输出接口95而输出。
[0025]以下是用于向吸嘴保持部51、吸嘴52供给负压、正压的压力供给装置70的说明。图3是示出供给压力的主要的结构的框图。图4是示出压力供给装置70的结构的概略的结构图。在本实施方式中，如图3所示，构成为：通过来自作为负压源71A的真空泵的负压经由切换阀81(83)而向吸嘴52供给，吸嘴52吸附元件。需要本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种元件安装装置，将利用负压来吸附元件的吸嘴利用负压而向头的保持部吸附，其中，所述元件安装装置具备：吸嘴用流路，能够将通过真空泵的工作而产生的负压向所述吸嘴供给；正压流路，供给正压；喷射器，利用所述正压流路的正压来产生负压；及保持部用流路，能够将通过所述喷射器的工作而产生的负压向所述保持部供给。2.根据权利要求1所述的元件安装装置，其中，所述元件安装装置具备：第一切换部，对将所述真空泵与所述吸嘴用流路连通且将所述正压流路与所述吸嘴用流路的连通切断的状态和将所述真空泵与所述吸嘴用流...

【专利技术属性】
技术研发人员：川崎实可子，森亮辅，
申请(专利权)人：株式会社富士，
类型：发明
国别省市：