一种泛半导体大型铝合金真空腔体的高精度定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种泛半导体大型铝合金真空腔体的高精度定位装置，包括底座支架，底座支架的竖直方向中部设置有导向板，底座支架的顶端设置有底板，底板的顶端设置有弹簧固定座，底板的顶端且位于弹簧固定座的底部设置有若干万向轮；万向轮的顶端设置有浮动支撑座，底板的顶端且位于弹簧固定座的一侧设置有若干

【技术实现步骤摘要】
一种泛半导体大型铝合金真空腔体的高精度定位装置


[0001]本技术涉及真空腔体化生产制造
，具体来说，涉及一种泛半导体大型铝合金真空腔体的高精度定位装置
。

技术介绍

[0002]泛半导体大型铝合金真空腔体应用广泛，如在射频加速腔
、
电子显微镜
、
同步辐射装置等领域起到关键的作用
。
泛半导体大型铝合金真空腔体尺寸较大，真空腔体内部加工零件数量较多
。
为了确保器件在高真空条件下的优良性能和高精度的测量与加工能力，泛半导体大型铝合金真空腔体的高精度定位装置成为研究和发展的重要课题
。
[0003]随着半导体行业发展日新月异，供需半导体设备制造的大型铝合金真空腔体的尺寸及质量越来越大，提供一种成本低廉使用便捷的制造定位工装需求迫切，传统模式下，因铝合金腔体工件质量及尺寸巨大，人工只能使用吊装工具手动控制放置定位，定位及其困难，导致其定位精度低而系统坐标不准确，进而使后续工件的加工工序质量欠佳
。
[0004]针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案
。

技术实现思路

[0005]针对相关技术中的问题，本技术提出一种泛半导体大型铝合金真空腔体的高精度定位装置，解决大型真空腔体工件定位困难
、
精度低的问题，利用万向轮与浮动支撑座间的滚动摩擦，使工件在
XY
两个方向上实现轻松移动
。
[0006]为此，本技术采用的具体技术方案如下：<br/>[0007]一种泛半导体大型铝合金真空腔体的高精度定位装置，包括底座支架，底座支架的竖直方向中部设置有导向板，底座支架的顶端设置有底板，底板的顶端设置有弹簧固定座，底板的顶端且位于弹簧固定座的底部设置有若干万向轮；万向轮的顶端设置有浮动支撑座，底板的顶端且位于弹簧固定座的一侧设置有若干
X
向活动压紧底座，底板的顶端且位于弹簧固定座的另一侧设置有
X
向固定限位块，底板的顶端且位于弹簧固定座的一端设置有
Y
向固定限位块，底板的顶端且位于弹簧固定座的另一端设置有
Y
向活动压紧底座
。
[0008]进一步的，为了使工件实现轻松移动，弹簧固定座的内壁与浮动支撑座四周之间设置有若干轻型弹簧
。
[0009]进一步的，为了在
X
方向的一端对工件进行浮动压紧，
X
向活动压紧底座通过第一紧固螺栓锁紧至底板的顶端；
X
向活动压紧底座的中部水平方向设置有若干第一导向柱，若干第一导向柱靠近浮动支撑座的一端螺接有第一
X
向压紧滚轮，若干第一导向柱之间且位于
X
向活动压紧底座内螺纹连接有
X
向压紧螺栓，
X
向压紧螺栓的一端延伸至第一
X
向压紧滚轮的侧边
。
[0010]进一步的，为了在
X
方向的另一端对工件进行压紧，
X
向固定限位块靠近浮动支撑座的一端设置有第二
X
向压紧滚轮
。
[0011]进一步的，为了在
Y
方向的一侧对工件进行浮动压紧，
Y
向活动压紧底座通过第二
紧固螺栓锁紧至底板的顶端；
Y
向活动压紧底座的中部水平方向设置有若干第二导向柱，若干第二导向柱靠近浮动支撑座的一端螺接有
Y
向压紧板，若干第二导向柱之间且位于
Y
向活动压紧底座内螺纹连接有
Y
向压紧螺栓，
Y
向压紧螺栓的一端延伸至
Y
向压紧板的侧边
。
[0012]本技术的有益效果为：
[0013](1)
本技术采用结构浮动柔性设计，将工件放至浮动支撑座，通过设置有万向轮支撑的浮动支撑座在轻型弹簧的拉力下，人工拧紧
X
向压紧螺栓及
Y
向压紧螺栓，仅需克服滚动摩擦及轻型弹簧的拉力，使工件实现轻松移动，解决了大重量铝合金真空腔体定位移动困难及定位不准的问题
。
[0014](2)
本技术通过在底座支架上设置有导向板，使得工件可以成功进入定位装置，底板上设置有弹簧固定座及万向轮，通过万向轮上方设置有浮动支撑座使得工件可以在
X、Y
方向上手动轻松移动
。
[0015](3)
本技术通过在底板上设置有
X
向活动压紧底座及
X
向固定限位块，使得工件可以在
X
向夹紧，通过在底板上设置有
Y
向固定限位块及
Y
向活动压紧底座使得工件可以在
Y
向夹紧
。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0017]图1是根据本技术实施例的一种泛半导体大型铝合金真空腔体的高精度定位装置的结构示意图；
[0018]图2是根据本技术实施例的一种泛半导体大型铝合金真空腔体的高精度定位装置的正视图；
[0019]图3是根据本技术实施例的一种泛半导体大型铝合金真空腔体的高精度定位装置的左视图
。
[0020]图中：
[0021]1、
底座支架；
2、
导向板；
3、
底板；
4、
弹簧固定座；
5、
轻型弹簧；
6、
浮动支撑座；
7、X
向活动压紧底座；
8、
第一紧固螺栓；
9、
第一导向柱；
10、X
向压紧螺栓；
11、
第一
X
向压紧滚轮；
12、Y
向固定限位块；
13、X
向固定限位块；
14、
第二
X
向压紧滚轮；
15、Y
向活动压紧底座；
16、
第二紧固螺栓；
17、
第二导向柱；
18、Y
向压紧螺栓；
19、Y
向压紧板；
20、
万向轮
。
具体实施方式
[0022]为进一步说明各实施例，本技术提供有附图，这些附图为本技术揭露内容的一部分，其主要用以说明实施例，并可配合说明书的相关描述来解释实施例的运作原理，配合参考这些内容，本领域普通技术人员应能理解其他可能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种泛半导体大型铝合金真空腔体的高精度定位装置，包括底座支架
(1)
，其特征在于，所述底座支架
(1)
的竖直方向中部设置有导向板
(2)
，所述底座支架
(1)
的顶端设置有底板
(3)
，所述底板
(3)
的顶端设置有弹簧固定座
(4)
，所述底板
(3)
的顶端且位于所述弹簧固定座
(4)
的底部设置有若干万向轮
(20)
；所述万向轮
(20)
的顶端设置有浮动支撑座
(6)
，所述底板
(3)
的顶端且位于所述弹簧固定座
(4)
的一侧设置有若干
X
向活动压紧底座
(7)
，所述底板
(3)
的顶端且位于所述弹簧固定座
(4)
的另一侧设置有
X
向固定限位块
(13)
，所述底板
(3)
的顶端且位于所述弹簧固定座
(4)
的一端设置有
Y
向固定限位块
(12)
，所述底板
(3)
的顶端且位于所述弹簧固定座
(4)
的另一端设置有
Y
向活动压紧底座
(15)。2.
根据权利要求1所述的一种泛半导体大型铝合金真空腔体的高精度定位装置，其特征在于，所述弹簧固定座
(4)
的内壁与所述浮动支撑座
(6)
四周之间设置有若干轻型弹簧
(5)。3.
根据权利要求1所述的一种泛半导体大型铝合金真空腔体的高精度定位装置，其特征在于，所述
X
向活动压紧底座
(7)
通过第一紧固螺栓
(8)
锁紧至所述底板
(3)
的顶端
。4.
根据权利要求3所述的一种泛半导体大型铝合金真空腔体的高精度定位装置，其特征在于，所述
X
向活动压紧底座
(7)
的中部...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐文辉，吉华，路卫卫，吴金鹏，王天宇，张哲，刘捷，
申请(专利权)人：上海同芯构技术有限公司，
类型：新型
国别省市：