光学器件、光学扫描仪及图像形成装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够减少入射到活动板以外的部分上的光所引起的漫射光的光学器件、光学扫描仪及图像形成装置。光学器件（１）具备：活动板（１０），其配置在从外部入射的光的分布范围（Ｂ）内，且具有将该光反射的金属膜（１１）；轴部件（２０），其将上述活动板（１０）支承为能够绕着规定轴（Ａ）摆动，其中，光的分布范围（Ｂ）内的活动板（１０）以外的部分，由具有将光向规定范围外反射的法线向量的面构成。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及的几种方式涉及，例如利用MEMS (Micro ElectroMechanical System ； 微电子机械系统)技术制作的，并且活动板以轴部件为中心往复运动的光学器件、光学扫描仪及图像形成装置。
技术介绍
以往，作为这种光学器件，已知有如下器件，即具备磁场发生部和扫描镜，该扫描镜的两端以能够以驱动轴为中心角位移的方式被支承部件支承，并且，扫描镜在一面侧形成镜面部，且在另一面侧形成永久磁铁，在扫描镜的另一面侧隔着规定的距离配置有磁场发生部。该光学器件中，通过上述的构成，扫描镜独立，并且在只在另一面侧形成有薄膜状永久磁铁的重量轻的状态下被驱动，因此，即使是扫描镜为大型的情况下，也能够以较小的驱动力来容易驱动(例如参照专利文献1)。专利文献1 JP特开平6-82711号公报 然而，一般来讲，入射到光学器件中的光的分布范围大于具有光反射面(镜子)的活动板的尺寸，因此有时光入射到光学器件中的活动板以外的部分上。此时，即使驱动(扫描)活动板，入射到活动板以外的部分的光也不移动，因此始终反射到相同位置上。其结果，存在入射到活动板以外的部分的光，在活动板的光的反射范围、包含该光的反射范围的其他光学器件、镜子、屏幕(也包括经由其他光学器件、镜子等照射的屏幕)等中，可能会表现为所谓的漫射光。
技术实现思路
本专利技术的几种方式是鉴于上述问题而做出的，其目的之一在于，提供一种能够减少入射到活动板以外的部分上的光所引起的漫射光的光学器件、光学扫描仪及图像形成装置。本专利技术涉及的光学器件具备活动板，其配置在从外部入射的光的分布范围内，且具有将该光反射的光反射面；轴部件，其将上述活动板支承为能够绕着规定轴摆动，其中， 光的分布范围内的光反射面以外的部分，由具有将光向规定范围外反射的法线向量的面构成。根据所述构成，光的分布范围内的活动板以外的部分，由具有将从外部入射的光向规定范围外反射的法线向量(特定法线向量)的面构成。一般来说，已知相对于反射面的法线向量(法线)，光的入射角和反射角是相等的，因此通过改变反射面的法线向量相对于入射光的方向，能够改变光的入射角和反射角。因此，通过将从外部入射的光和反射面的法线向量所成的角度、即该光的入射角设定在适当的值，而能够将反射光反射到规定范围以外。由此，能够减少入射到活动板以外的部分上的光所引起的漫射光。活动板以外的部分的反射光所避开的“规定范围”，例如包括由活动板引起的光的反射范围、包含该光的反射范围的其它光学器件、镜子、屏幕(也包括经由其他光学器件、镜子等照射的屏幕)等。优选具有上述特定法线向量的面，包含相对于活动板具有规定角度的平面。根据所述构成，具有上述特定法线向量的面，包含相对于活动板具有规定角度的平面。在此，例如与活动板平行的面，通过实施各向异性蚀刻或由机械等进行的切削加工， 而成为相对于活动板具有规定角度的平面。因此，通过将规定角度设定为适当的值，而能够使该平面成为具有上述特定法线向量的面。由此，光的分布范围内的活动板以外的部分能够容易地形成具有上述特定法线向量的面。优选还具备以围绕活动板的方式被配置的框部，并且，光的分布范围内的活动板以外的部分包含框部。根据这种构成，光的分布范围内的活动板以外的部分包含框部，因此能够将被配置于活动板的附近且所反射的光很有可能成为漫射光的框部之中的、包含在光的分布范围内的部分，由具有上述特定法线向量的面构成。由此，能够减少入射到框部的光所引起的漫射光。优选还具备支承轴部件的支承部件，并且，光的分布范围内的活动板以外的部分包含支承部件。根据这种构成，光的分布范围内的活动板以外的部分包含支承部件，因此能够将被配置于活动板的附近且所反射的光很有可能成为漫射光的支承部件之中的、包含在光的分布范围内的部分，由具有上述特定法线向量的面构成。由此，能够减少入射到支承部件的光所引起的漫射光。优选还具备构成为使活动板绕着规定轴摆动的驱动机构，并且，光的分布范围内的活动板以外的部分包含驱动机构。根据这种构成，光的分布范围内的活动板以外的部分包含驱动机构，因此能够将被配置于活动板的附近且所反射的光很有可能成为漫射光的驱动机构之中的、包含在光的分布范围内的部分，由具有上述特定法线向量的面构成。由此，能够减少入射到驱动机构的光所引起的漫射光。优选上述规定范围包含被活动板反射的光的反射范围。根据这种构成，上述规定范围包含被活动板反射的光的反射范围，因此从外部入射的光的、朝向分布范围内的活动板以外的部分中的入射光，向由活动板反射的光的反射范围外反射。换言之，由活动板反射的光的反射范围和由活动板以外的部分反射的光的反射范围不会重叠。由此，能够减少入射到活动板以外的部分上的光，在由活动板反射的光的反射范围内成为漫射光而表现出来的危险性。本专利技术涉及的光学扫描仪，具备上述的本专利技术涉及的光学器件。根据这种构成，具备上述的本专利技术涉及的光学器件，因此能够减少入射到活动板以外的部分上的光所引起的漫射光。由此，无需如以往的光学器件那样为了使漫射光不显眼而降低析像度，或者降低从外部入射的光的对比度，便能够实现与以往的光学器件相比具有能够提高析像度且能够提高从外部入射的光的对比度的、优良光学特性的光学扫描仪。本专利技术涉及的图像形成装置，具备上述的本专利技术涉及的光学扫描仪。根据这种构成，具备上述的本专利技术涉及的光学扫描仪，因此与以往的光学器件相比，能够提高析像度，并提高从外部入射的光的对比度。由此，能够实现具有能够以高析像度形成高对比度的图像的优良描绘特性的图像形成装置。附图说明 图1是说明本专利技术涉及的光学器件的构成的俯视图； 图2是沿图1所示的I-I线的剖视图； 图3是沿图1所示的II-II线的剖视图； 图4是说明本专利技术涉及的光学器件的反射光的一个例子的俯视图； 图5是表示具备本专利技术涉及的光学扫描仪的图像形成装置的一个例子的简要图。其中附图标记说明如下 1...光学器件，10...活动板，20...轴部件，40...框部(框架)，41...倾斜面， 50...支承部件(支架)，51...底部，52...倾斜面，61...磁铁，62...线圈，62a...上表面，119...图像形成装置，195...电流计式反射镜，197...屏幕。具体实施例方式以下，参照附图来说明本专利技术的一个实施方式。<光学器件> 图1至图4表示本专利技术涉及的光学器件，图1是说明本专利技术涉及的光学器件的构成的俯视图。如图1所示，光学器件1具备活动板10、轴部件20、固定部30、框部(框架)40、支承部件(支架)50。从未图示的外部光源，向光学器件1入射被展开成正规分布(高斯分布或正态分布)的光。该光分布在图1所示的分布范围B内。在活动板10的上表面(一侧的面)形成有金属膜11，该金属膜11配置在光的分布范围B内，且反射该光。金属膜11相当于本专利技术的光反射面。例如可通过在活动板10 的上表面上实施真空镀膜、溅射、金属箔的接合等成膜方法来形成金属膜11。一对轴部件20支承活动板10，以使该活动板10能够相对于固定部30绕着轴部件20的中心轴、即轴A摆动。并且，优选轴部件20具有弹性。由此，易于进行后述的扭转变形。固定部30分别连接于一对轴部件20，并将由活动板10及轴部件20构成的振动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学器件，其特征在于，具备，活动板，其配置在从外部入射的光的分布范围内，且具有将该光反射的光反射面；轴部件，其将上述活动板支承为能够绕着规定轴摆动；其中，上述光的分布范围内的上述活动板以外的部分，由具有将上述光向规定范围外反射的法线向量的面构成。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：沟口安志，中村真希子，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]