一种舟结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种舟结构，该舟结构包括本体

【技术实现步骤摘要】
一种舟结构


[0001]本技术涉及半导体制造设备
，尤其涉及一种舟结构
。

技术介绍

[0002]在半导体产业链中，石英小舟的结构会直接影响小舟放在推舟机构上的稳定性，对生产工艺有很大的影响，从而会影响硅片质量的好坏，目前市场上普遍采用先将小舟排放在舟托上，再把舟托放在运输件上面的方式
。
由于小舟得依靠舟托才能放在运输件上面，小舟和舟托总重量较大，对运输件的强度要求比较高，整个方案造价高
。
虽然，现有技术中也有直接将小舟安装到运输件上的结构，但是小舟的定位较为困难，在放置小舟过程中非常容易导致小舟偏离支撑件或者搬运件中心的现象发生，从而导致小舟稳定性较差的缺陷
。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提出一种舟结构，该舟结构能够直接安放到运输件上，且在安装过程中能够自动校正位置，确保舟结构能够稳定地安放在支撑件或者搬运件中心，降低了对运输件的强度要求，有利于降低制造成本
。
[0004]为实现上述技术效果，本技术的技术方案如下：
[0005]本技术公开了一种舟结构，包括本体
、
第一托耳和第二托耳，所述第一托耳和第二托耳均连接于所述本体相对设置的侧壁上，所述第一托耳和第二托耳至少一个设有弧形导向结构
。
[0006]在一些实施例中，所述弧形导向结构上设有用于导向及限制所述舟结构的装配面
。
[0007]在一些具体的实施例中，所述弧形导向结构背离所述本体的一侧设有倒角，所述倒角的倒角面形成为所述装配面
。
[0008]在一些实施例中，所述舟结构还包括设在第一托耳底部的第一配合件和设在第二托耳底部的第二配合件，所述弧形导向结构设在所述第一配合件和
/
或所述第二配合件上
。
[0009]在一些具体的实施例中，第一托耳位于所述第二托耳的下方，且所述第一托耳设置在大于所述舟结构高度的
1/3
的位置处
。
[0010]在一些实施例中，所述第一托耳上设有第一弧形导向结构，所述第二托耳上设有第二弧形导向结构，所述第一弧形导向结构与所述本体上的槽杆的最小间距为
D1
，所述第二弧形导向结构与所述槽杆的最小间距为
D2
，
D1
和
D2
满足关系式：
D1
＞
D2。
[0011]在一些实施例中，所述第一托耳及所述第二托耳的结构相同，且包括至少两个间隔设置的支撑柱
。
[0012]在一些具体的实施例中，所述第一托耳及所述第二托耳还包括第一安装部，所述第一安装部的两端连接于所述本体的两个相邻设置的槽杆上，且与相邻的两个所述支撑柱相连
。
[0013]在一些具体的实施例中，所述第一托耳及所述第二托耳还包括第二安装部，所述第二安装部连接于相邻的两个所述支撑柱
。
[0014]在一些更具体的实施例中，所述支撑柱为圆柱体，所述第二安装部包括弧形部和平直部，所述弧形部构成所述弧形导向结构且与所述支撑柱相连，所述平直部的两端分别与两个所述弧形部相连
。
[0015]本技术的舟结构的有益效果：在实际使用过程中，第一托耳以及第二托耳均可以与运输舟结构的运输件配合，在本实施例中，舟结构无需使用现有技术的舟托与运输件配合，从而降低了对运输件的强度需求，有利于降低制造成本
。
由于第一托耳和第二托耳中的至少一个设有弧形导向结构，在将舟结构配合至运输件上时，弧形导向结构能够导向并且校正舟结构，使其在安装过程中能够运动到运输件的中心位置，从而保证舟结构能够稳定地安置在运输件中心
。
[0016]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到
。
附图说明
[0017]图1是本技术实施例的舟结构的立体结构示意图；
[0018]图2是本技术实施例的舟结构的第一方向的结构示意图；
[0019]图3是本技术实施例的舟结构的第二方向的结构示意图
。
[0020]附图标记：
[0021]1、
本体；
11、
端板；
12、
槽杆；
201、
第一托耳；
2011、
第一弧形导向结构；
202、
第二托耳；
2021、
第二弧形导向结构；
21、
支撑柱；
22、
第一安装部；
23、
第二安装部；
231、
弧形部；
2311、
装配面；
232、
平直部
。
具体实施方式
[0022]为使本技术解决的技术问题
、
采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案
。
[0023]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位
、
以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制
。
此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分
。
在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上
。
[0024]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通
。
对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义
。
[0025]下面参考图1‑
图3描述本技术实施例的舟结构的具体结构示意图
。
[0026]本技术公开了一种舟结构，如图1‑
图3所示，该舟结构包括本体
1、
第一托耳
201
和第二托耳
202
，本体1包括两个端板
11
和连接在两个端板
11
之间的多个槽杆
12。
第一托耳
201
和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种舟结构，其特征在于，包括本体
(1)、
第一托耳
(201)
和第二托耳
(202)
，所述第一托耳
(201)
和第二托耳
(202)
均连接于所述本体
(1)
相对设置的侧壁上，所述第一托耳
(201)
和第二托耳
(202)
至少一个设有弧形导向结构
。2.
根据权利要求1所述的舟结构，其特征在于，所述弧形导向结构上设有用于导向及限制所述舟结构的装配面
(2311)。3.
根据权利要求2所述的舟结构，其特征在于，所述弧形导向结构背离所述本体
(1)
的一侧设有倒角，所述倒角的倒角面形成为所述装配面
(2311)。4.
根据权利要求1所述的舟结构，其特征在于，所述舟结构还包括设在第一托耳
(201)
底部的第一配合件和设在第二托耳
(202)
底部的第二配合件，所述弧形导向结构设在所述第一配合件和
/
或所述第二配合件上
。5.
根据权利要求1所述的舟结构，其特征在于，所述第一托耳
(201)
位于所述第二托耳
(202)
的下方，且所述第一托耳
(201)
设置在大于所述舟结构高度的
1/3
的位置处
。6.
根据权利要求5所述的舟结构，其特征在于，所述第一托耳
(201)
上设有第一弧形导向结构
(2011)
，所述第二托耳
(202)
上设有第二弧形导向结构
(2021)
，第一弧形导向结构
(2011)
与所述本体
(1)
上的槽杆
(12)
...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱太荣，肖阳，万林，林佳继，张武，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：