【技术实现步骤摘要】
一种引线框架类产品真空等离子清洗系统
[0001]本技术涉及真空等离子清洗设备
,具体为一种引线框架类产品真空等离子清洗系统
。
技术介绍
[0002]引线框架作为集成电路的芯片载体,是一种借助于键合金丝实现芯片内部电路引出端与外引线的电气连接,形成电气回路的关键结构件,它起到了和外部导线连接的桥梁作用,绝大部分的半导体集成块中都需要使用引线框架,因而,引线框架是是电子信息产业中重要的基础材料
。
引线框架表面的微颗粒
、
有机物及表面氧化物等污染物无法采用传统的清洗方法去除,一般采用射频等离子清洗技术;但是目前,市场上适用真空等离子清洗设备,其等离子清洗引线框架类产品表面水滴角不均匀,容易造成粘接和键合后脱落等问题,难以满足客户需求,因此我们需要提出一种引线框架类产品真空等离子清洗系统
。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种引线框架类产品真空等离子清洗系统,采用等离子清洗单片表面水滴角均匀性,增强表面粘接和键合的效果,解决引线框架等离子清洗产品表面表面氧化变色发生,以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0004]为实现上述目的,本技术提供:一种引线框架类产品真空等离子清洗系统,包括设备安装座,安装在设备安装座顶部的固定座,所述固定座的顶部一侧安装有料盒载台,所述料盒载台的底部设置有调节装置,所述固定座的底部通过安装板连接有第一升降推杆,所述第一升降推杆的伸缩端与料盒载台底部连接;位于所述料盒载台的一侧与固定座顶部连接的 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种引线框架类产品真空等离子清洗系统,其特征在于,包括设备安装座
(1)
;安装在设备安装座
(1)
顶部的固定座
(3)
,所述固定座
(3)
的顶部一侧安装有料盒载台
(11)
,所述料盒载台
(11)
的底部设置有调节装置
(12)
,所述固定座
(3)
的底部通过安装板
(9)
连接有第一升降推杆
(10)
,所述第一升降推杆
(10)
的伸缩端与料盒载台
(11)
底部连接;位于所述料盒载台
(11)
的一侧与固定座
(3)
顶部连接的固定架
(4)
,所述固定架
(4)
表面活动连接推料组件的推料杆
(7)
;位于所述固定座
(3)
顶部的承载架平台
(18)
,所述承载架平台
(18)
的表面通过电动滑台
(20)
活动连接承载模组
(19)
,所述承载模组
(19)
的下方活动连接有第二升降推杆
(21)
,所述承载模组
(19)
的上方设置有送料组件的送料杆
(17)
;位于所述承载架平台
(18)
的一侧连接固定座
(3)
的顶部的支撑架
(22)
,所述支撑架
(22)
的表面安装有等离子处理装置
(23)
,所述等离子处理装置
(23)
的一侧通过管道与真空装置
(27)
连接,所述等离子处理装置
(23)
的下方设置有处理平台
(25)
,所述处理平台
(25)
底部与第三升降推杆
(26)
的伸缩端连接
。2.
根据权利要求1所述的一种引线框架类产品真空等离子清洗系统,其特征在于:所述推料组件还包括:连接所述固定架
(4)
侧面的推料推杆
(5)
,及连接所述推料推杆
(5)
伸出端的移动板
(6)
;其中,所述移动板
(6)
滑动连接固定...
【专利技术属性】
技术研发人员:苏宜鹏,冼健威,
申请(专利权)人:东莞市晟鼎精密仪器有限公司,
类型:新型
国别省市:
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