一种高温真空电缸制造技术

本实用新型专利技术属于真空镀膜机技术领域，涉及一种高温真空电缸，包括伺服电机及缸体，所述伺服电机的输出端设有行星减速机，行星减速机的输出端设有磁流体，所述磁流体上设有缸体，所述缸体的内部设有与磁流体连接到滚珠丝杆，所述滚珠丝杆的上端设有球铰；所述滚珠丝杆包括丝杆及滑块，所述丝杆的一端与磁流体连接，所述丝杆的另一端设有滑块，所述滑块上设有球铰；所述球铰包括球体及活塞杆，所述活塞杆与滑块相连接；真空镀膜机的加热板顶升机构进行了高度集成化处理，体积小巧，占用空间小，而且外观美观；充分保证了真空镀膜机的可靠性

【技术实现步骤摘要】
一种高温真空电缸


[0001]本技术属于真空镀膜机
，涉及一种高温真空电缸
。

技术介绍

[0002]目前该产品主要应用于光伏行业的真空镀膜机；真空镀膜机的加热板位于真空腔体内，但是加热板在使用过程中需要实现上下运动，该产品即为加热板上下运动的驱动机构，产品的一部分将直接位于真空腔体内，主体及伺服电机位于常规室内环境内；而现有的做法：采用导柱进行导向，导柱半截在真空腔体内，半截在常规室内环境内；驱动力由伺服电机带动滚珠丝杠，从而推动导柱进行运动；而现有的做法或有一下缺陷：
[0003]1.
导柱采用四导柱结构，故腔体区域需要四处进行真空环境密封，难度高于现有的一个区域；若四个区域中有任何一个区域的密封出现问题，则真空镀膜机的真空环境即被破坏，在制产品会出现报废
。
[0004]2.
由于滚珠丝杠传动机构需要全部在室内环境中，故整体的结构体积相对比较庞大，很占用空间
。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种高温真空电缸，能解决密封及体积相庞大占用空间的问题
。
[0006]按照本技术提供的技术方案：一种高温真空电缸，包括伺服电机及缸体，所述伺服电机的输出端设有行星减速机，行星减速机的输出端设有磁流体，所述磁流体上设有缸体，所述缸体的内部设有与磁流体连接的滚珠丝杆，所述滚珠丝杆的上端设有球铰；
[0007]所述滚珠丝杆包括丝杆及滑块，所述丝杆的一端与磁流体连接，所述丝杆的另一端设有滑块，所述滑块上设有球铰；所述球铰包括球体及活塞杆，所述活塞杆与滑块相连接
。
[0008]优选地，所述缸体的内部设有上下分布的第一水冷回路及第二水冷回路
。
[0009]优选地，所述缸体的内部还设有防尘盖及防尘曲面
。
[0010]优选地，所述球铰采用高强度不锈钢，表面做镜面处理
。
[0011]优选地，所述缸体上还开设有高性能真空专用密封槽口
。
[0012]优选地，所述活塞杆与缸体之间采用双层高性能耐高温密封圈
。
[0013]优选地，所述滚珠丝杆采用耐高温专用丝杠
。
[0014]本申请的积极进步效果在于：
[0015]本技术实施例提供的一种高温真空电缸，优点如下：
[0016]1.
将真空镀膜机的加热板顶升机构进行了高度集成化处理，体积小巧，占用空间小，而且外观美观
。
[0017]2.
充分保证了真空镀膜机的可靠性
、
寿命
。
[0018]3.
水冷回路及水冷回路设计为冷却水循环回路，对产品进行冷却处理，使产品应
用高温环境
。
[0019]4.
设计有专用的防尘盖及曲面，保证即使高温真空使用区域有一定的磨损或者粉尘掉落，不会进入到滚动轴承等相关的关键区域，从而导致产品损坏
。
附图说明
[0020]图1是本技术的结构半剖示意图
。
[0021]图2是图1中
I
处结构放大图
。
[0022]图中：1‑
伺服电机；2‑
行星减速机；3‑
磁流体；4‑
防尘盖；5‑
滚珠丝杆；
61
‑
第一水冷回路；
62
‑
第二水冷回路；7‑
双层高性能耐高温密封圈；8‑
球铰；
81
‑
球体；
82
‑
活塞杆；
10
‑
缸体；
11
‑
高性能真空专用密封槽口
。
具体实施方式
[0023]为了使本领域技术人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分的实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围
。
[0024]如图1‑2所示，本技术是一种高温真空电缸，包括伺服电机1及缸体
10
，所述伺服电机1的输出端设有行星减速机2，行星减速机2的输出端设有磁流体3，所述磁流体3上设有缸体
10
，所述缸体
10
的内部设有与磁流体3连接的滚珠丝杆5，所述滚珠丝杆5的上端设有球铰8；所述球铰8采用高强度不锈钢，表面做镜面处理；
[0025]所述滚珠丝杆5包括丝杆及滑块，所述丝杆的一端与磁流体3连接，所述丝杆的另一端设有滑块，所述滑块上设有球铰8；所述球铰8包括球体
81
及活塞杆
82
，所述活塞杆
82
与滑块相连接；
[0026]具体的，滚珠丝杆5采用耐高温专用丝杠，可以在
400℃
的使用环境下，长期稳定运行，电缸的腔体采用高密封性能设计，可以保证产品的真空密封性，而且直接接触区域可以承受
400℃
的环境温度
。
[0027]优选地，所述缸体
10
的内部设有上下分布的第一水冷回路
61
及第二水冷回路
62
；第一水冷回路
61
及第二水冷回路
62
设计为冷却水循环回路，对产品进行冷却处理，使产品应用高温环境
。
[0028]优选地，所述缸体
10
的内部还设有防尘盖4及防尘曲面；具体的，为保证产品在长期使用过程中的稳定性，可靠性，在内部结构设计时，设计有专用的防尘盖4及曲面，保证即使高温真空使用区域有一定的磨损或者粉尘掉落，不会进入到滚动轴承等相关的关键区域，从而导致产品损坏
。
[0029]优选地，所述缸体
10
上还开设有高性能真空专用密封槽口
11
；所述活塞杆
82
与缸体
10
之间采用双层高性能耐高温密封圈7；密封槽
11
的形状与高性能密封圈7配合，为倒扣槽尺寸，保证更高的密封性
。
[0030]具体地，为了更好的保证产品的密封性，在产品的真空使用区域，非真空室内使用区域，均设计了高可靠性的密封性能，在非真空段，采用外部抽真空的方式，将该区域抽成
真空，以便于消除真空与非真空使用区域的较大的压力差
。
[0031]工作过程如下：
[0032]球铰8在真空腔体内部，高性能真空专用密封槽口
11
附近为真空腔体的腔壁跟电缸结合区域；伺服电机1带动行星减速机2，行星减速机2通过磁流体3将旋转运动传递至耐本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种高温真空电缸，其特征在于，包括伺服电机
(1)
及缸体
(10)
，所述伺服电机
(1)
的输出端设有行星减速机
(2)
，行星减速机
(2)
的输出端设有磁流体
(3)
，所述磁流体
(3)
上设有缸体
(10)
，所述缸体
(10)
的内部设有与磁流体
(3)
连接的滚珠丝杆
(5)
，所述滚珠丝杆
(5)
的上端设有球铰
(8)
；所述滚珠丝杆
(5)
包括丝杆及滑块，所述丝杆的一端与磁流体
(3)
连接，所述丝杆的另一端设有滑块，所述滑块上设有球铰
(8)
；所述球铰
(8)
包括球体
(81)
及活塞杆
(82)
，所述活塞杆
(82)
与滑块相连接
。2....

【专利技术属性】
技术研发人员：郑丰，顾春东，
申请(专利权)人：中村精机无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：