等靶基距镀膜的离子镀用工件转架及真空立式离子镀膜机制造技术

本实用新型专利技术涉及等靶基距镀膜的离子镀用工件转架及真空立式离子镀膜机，工件转架包括绕炉中轴分布的一个以上的自转机构，自转机构包括挂杆架

【技术实现步骤摘要】
等靶基距镀膜的离子镀用工件转架及真空立式离子镀膜机


[0001]本技术涉及真空镀膜装置，特别涉及立式离子镀膜机内用于工件均匀镀膜的工件转架，及一种使用该工件转架的立式离子镀膜机
。

技术介绍

[0002]当前离子镀膜机炉内工件转架功能一般是公自转模式，其典型结构是有一只绕炉中轴旋转的大公转盘，其周边上均布若干自转轴，各自转轴上装上多层较小的自转盘，自转盘随自转轴自转，同时随同大公转盘公转
。
尺寸较细小的待镀工件装挂在自转盘的周边上，实现公自转二维运动镀膜
。
这种镀膜均匀性可满足大多数装饰膜的要求
。
随着人们生活和技术日渐进步，人们对离子镀装饰膜的要求越来越高，如对膜层颜色
、
光亮度
、
耐磨性和耐蚀性提出越来越高的要求，如就膜层颜色提出了一般靶材和反应气体调控合成化合物难以呈现的颜色，于是求助在某种合成化合物膜层颜色基础上，再镀上一层较耐磨的透明膜，利用光干涉效应呈现特有颜色，叠加上底层颜色成就一种独特的合成色，比如黑中泛蓝色
、
墨绿色
、
枣红色等
。
这种利用光学薄膜干涉显色取决于膜层的折射率和膜厚，膜厚均匀性直接影响颜色均匀性
。
用精密光学镀膜在平面工件
(
玻璃
)
制备光学薄膜不是难事，但在异形和曲面工件上镀等厚膜层难度就非常大
。
近年来在曲面透镜镀精密光学薄膜已有转向依赖于原子层沉积技术，其造价高昂
。
人们知道
PVD
装饰膜会面对各种各样工件，其材质
、
尺寸
、
形状差异大，还要求制造成本低，尤其异形工件，要求镀光学薄膜作装饰膜顶层，以调控膜层颜色，会带来许多困难
。
比如手机的不锈钢中框是有长短边的矩形工件，其侧表面需离子镀装饰膜膜，现有工艺技术是把矩形中框套穿入自转轴中，且水平置放，多个中框依次套入相隔开呈多层堆叠，矩形中框侧面朝向溅射靶面，实现公自转模式镀膜
。
这种镀膜模式矩形中框侧面各点离溅射靶面的距离都不同，那么沉积量不同，膜厚不同
。
若镀顶层光学膜时，中框各点的膜厚不同，干涉色就会出现色差，那么整个手机中框膜层颜色也就存在色差，色差过大就成废品
。
现有公自转工艺无法解决此问题，产生大量废品，急需要解决这一技术难题
。

技术实现思路

[0003]本技术的专利技术目的是，提供一种可实现等靶基距镀膜的离子镀用工件转架及真空立式离子镀膜机
。
[0004]本技术一种等靶基距镀膜的离子镀用工件转架的技术方案如下，包括绕炉中轴分布的一个以上的自转机构，所述自转机构包括挂杆架
、
挂杆
、
挂杆架平移导向机构
、
挂杆架平移驱动机构
、
自转轴自转驱动机构；所述自转轴自转驱动机构包括自转轴；
[0005]所述挂杆与所述炉中轴平行相对，其下端与所述自转轴相连，并整体转动安装在所述挂杆架上，所述挂杆架平移导向机构
、
挂杆架平移驱动机构均安装在炉体侧壁上，前端与所述挂杆架相连，所述挂杆架平移驱动机构用于通过所述挂杆架驱动所述挂杆以所述炉中轴为中心进行可调控的径向平移运动，所述挂杆架平移导向机构用于该过程中的导向，
所述自转轴自转驱动机构则用于在驱动其自转轴自转的同时还使其自转轴能随所述挂杆架径向平移
。
[0006]所述自转轴自转驱动机构整体来说包括自转轴自转机构和驱动和传输轴随动平移机构；所述自转轴自转机构除包括所述自转轴外，还包括第一圆伞齿轮，所述自转轴转动安装在所述挂杆架的底部，下端穿出所述挂杆架的底板固连所述第一圆伞齿轮；所述驱动和传输轴随动平移机构包括第二圆伞齿轮
、
花键轴
、
花键套
、
第二联轴器
、
第二减速机
、
第二伺服电机；所述第二伺服电机与所述第二减速机相连，并整体固定在炉体外壁，所述花键轴套装在所述花键套内，花键轴前端固连所述第二圆伞齿轮，第二圆伞齿轮与所述第一圆伞齿轮呈
90
度设置并相啮合，在所述第二圆伞齿轮后方，所述花键轴还可转动地吊装在所述挂杆架底板下方，以使所述花键轴随所述挂杆架而移动，所述花键套通过其后段的光轴段转动密封穿过炉体侧壁，通过所述第二联轴器与所述第二减速机的输出端相连
。
[0007]本技术驱动和传输轴随动平移机构采用花键轴与花键套配合，在传输炉外伺服电机旋转驱动伞齿转动的同时，当挂杆架前后平移时，花键轴与花键套可随同平移而不影响转动的传输
。
[0008]所述自转轴转动安装在所述挂杆架的底部的具体方式为：所述自转轴通过轴承转动安装在轴承座中，从而转动安装在所述挂杆架的底板上，所述轴承座是上端面有环肩法兰的套筒，其内腔中段有环凸肩，该轴承座由上而下穿过挂杆架底板的孔伸出，其上端面法兰压在挂杆架底板的上端面上，通过螺钉与之固连，轴承座内腔的上下段都套入有第二深沟球轴承，该两轴承的外圈分别抵着所述轴承座内腔中段环凸肩，该两轴承的外端分别被一压盖罩住，两压盖分別抵着两轴承的内圈，自转轴从下方穿入，依次穿越在下的压盖的中孔
、
两轴承内圈
、
在上的压盖的中孔，再向上伸出，自转轴下段的环肩抵着在下的压盖的下端面，一固定螺母拧紧压牢在上的压盖的上端面
。
[0009]所述挂杆架平移导向机构包括若干组结构相同的导向组件，它们对称地分布在所述挂杆架背面的两侧；所述导向组件包括导杆
、
套筒座
、
润滑铜套，所述导杆前端固连在所述挂杆架的背面上，所述润滑铜套紧套在所述套筒座内壁，所述导杆可滑动地插装在所述润滑铜套内，所述套筒座后端与炉体侧壁固连
。
[0010]本技术通过导杆与套筒座内的润滑铜套活动配合，对挂杆架的径向平移运用起导向作用
。
[0011]所述挂杆架平移驱动机构包括炉内的挂杆架平移组件和炉外的平移机构驱动组件；所述挂杆架平移组件包括支撑杆
、
丝杆
、
丝杆螺母
、
第一固定板；所述丝杆螺母固定在所述第一固定板上，然后通过所述支撑杆与所述挂杆架固连在一起，并位于所述挂杆架后方，所述丝杆旋入所述丝杆螺母中，所述丝杆的后段光轴转动密封穿过炉体侧壁；所述平移机构驱动组件包括第一联轴器
、
第一减速机和第一伺服电机；所述第一伺服电机与所述第一减速机相连，并整体固定在炉体外壁，所述第一减速机的输出端通过所述第一联轴器与所述丝杆伸出炉体的一端相连
。
[0012]本技术通过平移机构驱动组件带动丝杆旋转，并通过丝杆将旋转运动转换成丝杆螺母带动挂杆架的前后平移运动，驱动挂杆架本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种等靶基距镀膜的离子镀用工件转架，其特征在于，包括绕炉中轴分布的一个以上的自转机构，所述自转机构包括挂杆架
、
挂杆
、
挂杆架平移导向机构
、
挂杆架平移驱动机构
、
自转轴自转驱动机构；所述自转轴自转驱动机构包括自转轴；所述挂杆与所述炉中轴平行相对，其下端与所述自转轴相连，并整体转动安装在所述挂杆架上，所述挂杆架平移导向机构
、
挂杆架平移驱动机构均安装在炉体侧壁上，前端与所述挂杆架相连，所述挂杆架平移驱动机构用于通过所述挂杆架驱动所述挂杆以所述炉中轴为中心进行可调控的径向平移运动，所述挂杆架平移导向机构用于该过程中的导向，所述自转轴自转驱动机构则用于在驱动其自转轴自转的同时还使其自转轴能随所述挂杆架径向平移
。2.
根据权利要求1所述的工件转架，其特征在于，所述自转轴自转驱动机构包括自转轴自转机构和驱动和传输轴随动平移机构；所述自转轴自转机构除包括所述自转轴外，还包括第一圆伞齿轮，所述自转轴转动安装在所述挂杆架的底部，下端穿出所述挂杆架的底板固连所述第一圆伞齿轮；所述驱动和传输轴随动平移机构包括第二圆伞齿轮
、
花键轴
、
花键套
、
第二联轴器
、
第二减速机
、
第二伺服电机；所述第二伺服电机与所述第二减速机相连，并整体固定在炉体外壁，所述花键轴套装在所述花键套内，花键轴前端固连所述第二圆伞齿轮，第二圆伞齿轮与所述第一圆伞齿轮呈
90
度设置并相啮合，在所述第二圆伞齿轮后方，所述花键轴还可转动地吊装在所述挂杆架底板下方，以使所述花键轴随所述挂杆架而移动，所述花键套通过其后段的光轴段转动密封穿过炉体侧壁，通过所述第二联轴器与所述第二减速机的输出端相连
。3.
根据权利要求2所述的工件转架，其特征在于，所述自转轴转动安装在所述挂杆架的底部的具体方式为：所述自转轴通过轴承转动安装在轴承座中，从而转动安装在所述挂杆架的底板上，所述轴承座是上端面有环肩法兰的套筒，其内腔中段有环凸肩，该轴承座由上而下穿过挂杆架底板的孔伸出，其上端面法兰压在挂杆架底板的上端面上，通过螺钉与之固连，轴承座内腔的上下段都套入有第二深沟球轴承，该两轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志荣，陈思，曾琨，张明辉，
申请(专利权)人：广东汇成真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：