一种立式真空镀膜机通过磁力驱动自转机构的工件转架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种立式真空镀膜机通过磁力驱动自转机构的工件转架，包括公转盘和自转轴，所述自转轴以所述公转盘的旋转轴为中轴，沿周向转动安装在所述公转盘上，随同所述公转盘绕所述中轴作公转运动；所述自转轴通过如下方式实现自传：所述工件转架还包括与所述公转盘同轴设置但不随其转动的固定盘，以及与所述自转轴同轴设置并同步转动的带转盘，所述带转盘和所述固定盘的外围均排布有多块磁铁，且各盘上的磁铁磁极沿径向分布，相邻磁铁极性相反，所述带转盘靠近所述固定盘的外围分布，以使它们上的磁铁相近。本实用新型专利技术工件转架采用非接触式磁力驱动自转轴自转，能一劳永逸地解决齿轮高速咬合造成的磨损问题。解决齿轮高速咬合造成的磨损问题。解决齿轮高速咬合造成的磨损问题。

【技术实现步骤摘要】
一种立式真空镀膜机通过磁力驱动自转机构的工件转架


[0001]本技术涉及真空镀膜设备
，具体涉及一种立式真空镀膜机通过磁力驱动自转机构的工件转架。

技术介绍

[0002]现有立式真空离子镀膜机在炉内均设置立式的、具有公自转功能的工件转架，工件挂夹在工件转架的自转轴上的自转盘中，工件随同自转盘绕自转轴转动，多支自转轴分布在绕炉体中轴线转动的公转盘的靠近外周边处，随同公转盘绕炉体中轴公转。公转盘旋转驱动方式一般是由炉外的电机拖动炉体中心的转动轴，它通过动密封沿炉中轴线穿过炉底板，进入炉内与公转盘底面连接，驱动公转盘转动。自转轴转动竖立安装在公转盘的周边上，自转轴向下穿过公转盘的伸出段上连接一只小齿轮，它跟一只与炉中轴线同轴的大固定齿环咬合，公转盘旋转带动自转轴绕炉中轴线运动，由于自转轴下端的小齿轮与大固定齿环咬合，所以驱动小齿轮连同自转轴一起绕自转轴中轴线转动，从而实现工件的公自转运动，提升镀膜的均匀性。
[0003]上面是当前真空离子镀膜机工件转架公自转驱动的典型结构。这种结构对于大多数工艺操作都能满足要求，该驱动模式已被广泛推广使本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种立式真空镀膜机通过磁力驱动自转机构的工件转架，包括公转盘和自转轴，所述自转轴以所述公转盘的旋转轴为中轴，沿周向转动安装在所述公转盘上，随同所述公转盘绕所述中轴作公转运动；其特征在于，所述自转轴通过如下方式实现自传：所述工件转架还包括与所述公转盘同轴设置但不随其转动的固定盘，以及与所述自转轴同轴设置并同步转动的带转盘，所述带转盘和所述固定盘的外围均排布有多块磁铁，且各盘上的磁铁磁极沿径向分布，相邻磁铁极性相反，所述带转盘靠近所述固定盘的外围分布，以使它们上的磁铁相近。2.根据权利要求1所述的工件转架，其特征在于，所述带转盘和所述固定盘上相邻磁铁贴近设置。3.根据权利要求2所述的工件转架，其特征在于，所述带转盘和所述固定盘上相近的磁面宽度相等，所述带转盘上的磁铁在8块以上，所述固定盘上的磁铁数量与所述带转盘上的磁铁数量之比等于所述带转盘与所述固定盘的转速之比。4.根据权利要求3所述的工件转架，其特征在于，所述工件转架为立式圆笼状结构，还包括上转盘，以及支撑所述上转盘与公转盘上、下相对设置的中间支撑筒，所述自转轴的上、下端分别转动安装在所述上转盘和公转盘上，并靠近它们的外围。5.根据权利要求4所述的工件转架，其特征在于，所述工件转架的上、下端分别通过工件转架传动轴组件和工件转架上限位组件转动安装在所述立式真空镀膜机的炉体底板和炉体顶板上。6.根据权利要求5所述的工件转架，其特征在于，所述带转盘的设置结构如下：所述带转盘设置在自转轴磁力驱动主体中，所述自转轴磁力驱动主体包括轴承座(15)、第一、第二轴承(16)、所述带转盘；所述轴承座(15)呈筒状，所述自转轴的下端短轴设置在所述轴承座(15)内，该短轴上、下端均为缩颈，中段为凸肩，该短轴通过分别套装于其上、下端缩颈处的所述第一、第二轴承转动安装在所述轴承座(15)内，所述带...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志荣，陈思，陸创程，曾琨，
申请(专利权)人：广东汇成真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：