一种真空镀膜机的工件盘装载机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机的工件盘装载机构，包括工件盘承载装置和工件盘压紧装置，所述工件盘压紧装置和所述工件盘承载装置之间弹性连接。工件盘压紧装置、工件盘承载装置及二者之间弹性件的设置，使得工件盘压紧装置与工件盘承载装置在弹性件作用下能紧密结合，工件盘被紧固在工件盘压紧装置和工件盘承载装置之间，即使在高速旋转时，工件盘也不会从工件盘装载机构上脱离，可有效避免镀膜过程中出现基片掉落的情况，大大提升了产品的良品率。品率。品率。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的工件盘装载机构


[0001]本技术涉及工件盘装载机构领域，具体涉及一种真空镀膜机的工件盘装载机构。

技术介绍

[0002]光学镀膜是在光学玻璃表面上镀膜，利用光学干涉原理实现增透、增反、滤光等功能。随着科学技术的发展，光学薄膜的应用越来越多，市场对产品的要求也越来越高，例如，对于滤光片等应用于光学元器件的产品而言，随着光学要求的逐渐增加，基片上附着的膜层也逐渐增加，与此同时，基片的厚度在逐渐减小。对于这类产品而言，在镀膜时通常采用尺寸较小的基片进行镀膜，大多数基片的尺寸不超过150*150mm2。现有技术中，在对尺寸较小的基片进行镀膜，以制作相关产品如滤光片、眼镜片、手机盖板等产品时，最常用的固定基片的方法有两种，第一，将基片通过胶带、双面粘、耐高温膜等固定在承载板上，或者将基片放置在相应的治具内，将治具与基片一起固定在承载板上，再将承载板固定在真空腔室内；第二，将基片通过胶带、双面粘、耐高温膜等直接固定在真空腔室内的工件架上。这两种基片的固定方式在实际镀膜过程中会存在以下问题：首先，将基片或工件盘固定在承载板或工件架上，一方面需要耗费较多的人力进行固定，另一方面，在高温下镀膜时，胶带、双面粘以及耐高温膜会释放气体，影响镀膜质量；其次，使用胶带固定基片时，胶带往往会覆盖基片的边缘区域，导致边缘区域无法镀膜，大大减少了产品的产出率；另外，对于使用双面粘或耐高温膜固定基片或工件盘的方式来说，为了便于取出产品，通常使用黏度较低的双面粘或者耐高温膜，然而，由于镀膜过程中，基片或工件盘在驱动机构的作用下一直处于旋转状态，在长时间的高温环境中，基片或工件盘很容易从承载板或工件架上掉落，导致产品报废，从而降低产品良品率。因此，为了防止产品在镀膜过程中掉落，提升产品的镀膜质量，增加良品率，减少人员的投入，迫切需要研发一种用于承载基片或者工件盘的装载机构。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服现有技术存在的缺陷，提供一种用于真空镀膜机的工件盘装载机构，以解决现有技术在为中小尺寸基片镀膜时，上料过程繁琐、耗费人工较多、镀膜质量差以及基片掉落等因素导致的产出率低等问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供一种真空镀膜机的工件盘装载机构，包括工件盘承载装置和工件盘压紧装置，所述工件盘压紧装置和所述工件盘承载装置之间弹性连接。
[0005]为了使得基片或者工件盘能被稳定的放置于真空腔室内，本技术提供了一种工件盘装载机构，包括工件盘承载装置和工件盘压紧装置，工件盘压紧装置与工件盘承载装置之间弹性连接。弹性连接的方式有很多种，其中最常用的是使用弹性件进行连接，即在工件盘承载装置和工件盘压紧装置之间设置弹性件。在真空腔室内，工件盘装载机构与驱动机构或工件架承载或悬挂机构连接，装载工件盘时，将工件盘放置在工件盘承载装置上，
对工件盘承载装置或工件盘压紧装置施加力的作用，使得弹性件压缩或伸长，在弹性件的作用下工件盘压紧装置与工件盘承载装置紧密结合，使得工件盘被紧固在工件盘压紧装置和工件盘承载装置之间，即使在高速旋转时，工件盘也不会从工件盘装载机构上脱离，可有效避免镀膜过程中出现基片掉落的情况，大大提升了产品的良品率。
[0006]进一步优选的技术方案为，所述工件盘压紧装置包括连接轴，所述连接轴下方设置有压板。
[0007]进一步优选的技术方案为，所述工件盘承载装置包括套筒和设置在所述套筒下方的支撑板，所述套筒套接在所述连接轴上，所述支撑板设置在所述压板的下方。
[0008]进一步优选的技术方案为，所述连接轴与所述套筒之间设置有弹性件。
[0009]在进一步优选的方案中，工件盘压紧装置包括连接轴和压板，工件盘承载装置包括套筒和支撑板，压板和支撑板分别设置在连接轴和套筒的下方。套筒套接在连接轴上，套筒与连接轴之间设置有弹性件，压板在支撑板的上方。弹性件可以有多种，包括弹簧、具有弹性作用的橡胶件等等。在实际使用时，对连接轴或套筒施加外力，使压板和支撑板向相反的方向运动，将工件盘放置在支撑板上，此时弹性件处于压缩状态，撤去外力后，在弹性回复作用下，压板和支撑板向对向运动，使得工件盘被固定在压板与支撑板之间。
[0010]进一步优选的技术方案为，所述压板的下端设置有凸台。压板上凸台的设置是为了进一步固定工件盘，凸台与工件盘上的凹槽卡合在一起，可进一步降低工件盘在高速旋转时掉落的概率。
[0011]进一步优选的技术方案为，所述工件盘压紧装置上连接有驱动机构，所述驱动机构包括驱动装置、旋转轴和连接件，所述驱动装置通过所述旋转轴与所述连接件连接，所述连接件与所述工件盘压紧装置连接。
[0012]为了更好的实现工件盘的固定与取出，在进一步优选的技术方案中，在工件盘压紧装置上连接驱动机构，驱动机构包括依次设置的驱动装置、旋转轴和连接件，工件盘压紧装置连接在连接件上，优选地，工件盘压紧装置通过连接轴连接在连接件上。驱动装置驱动连接轴向上运动，使得压板与支撑板进行分离，弹性件处于压缩状态，可将工件盘放置在支撑板上，在驱动装置的驱动作用下或者外力作用下，使连接轴与驱动机构分离，在弹性件的弹性回复作用下，压板与支撑板对向运动，工件盘被夹紧。
[0013]进一步优选的技术方案为，所述连接件上开设有槽口，所述连接轴与所述槽口卡接配合，所述连接轴的上方设置有限位件。槽口的设置使得工件盘装载机构可以更加方便的与驱动机构进行结合，结构简单，操作简便，限位件的设置可以防止连接轴沿着槽口向下坠落，防止意外事故的发生。
[0014]本技术的优点和有益效果在于：
[0015]1、工件盘压紧装置、工件盘承载装置及二者之间弹性件的设置，使得工件盘压紧装置与工件盘承载装置在弹性件作用下能紧密结合，工件盘被紧固在工件盘压紧装置和工件盘承载装置之间，即使在高速旋转时，工件盘也不会从工件盘装载机构上脱离，可有效避免镀膜过程中出现基片掉落的情况，大大提升了产品的良品率。
[0016]2、在工件盘压紧机构上连接驱动机构，驱动机构的驱动装置可驱动连接轴向上运动，使得压板与支撑板进行分离，弹性件处于压缩状态，工件盘被放置在支撑板上后，在驱动装置的驱动作用下或者外力作用下，使连接轴与驱动机构分离，在弹性件的弹性回复作
用下，压板与支撑板对向运动，工件盘被夹紧，工件盘装载机构与驱动机构的结合大大提升了工件盘的放置或取出的效率。
附图说明
[0017]图1是实施例中真空镀膜机的工件盘装载机构的结构示意图；
[0018]图2是实施例中工件盘被固定在工件盘装载机构内的结构示意图；
[0019]图3是图1中A部分的放大结构示意图；
[0020]图4是实施例中连接件的结构示意图。
[0021]图中：1、工件盘承载装置；11、套筒；12、支撑板；2、工件盘压紧装置；21、连接轴；22、压板；23、凸台；24、限位件；3、弹簧；4、驱动机构；41、驱动装置；42、旋转轴；43、连接件；5、槽口；6、基片；7、工件盘；71、凹槽。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的工件盘装载机构，其特征在于，包括工件盘承载装置和工件盘压紧装置，所述工件盘压紧装置和所述工件盘承载装置之间弹性连接；所述工件盘压紧装置包括连接轴，所述连接轴下方设置有压板；所述工件盘承载装置包括套筒和设置在所述套筒下方的支撑板，所述套筒套接在所述连接轴上，所述支撑板设置在所述压板的下方。2.根据权利要求1所述的真空镀膜机的工件盘装载机构，其特征在于，所述连接轴与所述套筒之间设置有弹性件。3.根据权利要求2所述的真空镀膜机的工...

【专利技术属性】
技术研发人员：李郁贤，
申请(专利权)人：江阴市导润光学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：