一种标准混合气的自动化配制装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术属于标准混合气体技术领域，涉及一种标准混合气的自动化配制装置和方法

【技术实现步骤摘要】
一种标准混合气的自动化配制装置和方法


[0001]本专利技术属于标准混合气体
，涉及一种标准混合气的自动化配制装置和方法
。

技术介绍

[0002]乙硼烷标准混合气是一种电子级混合气，可用作掺杂源，用于半导体生产或分析检测领域
。
[0003]目前，乙硼烷标准混合气的配制是生产人员根据对乙硼烷标准混合气的要求，计算出乙硼烷气体和底气的质量
、
压力等参数，控制充装阀门状态，进行乙硼烷电子标准混合气的配制
。
目前乙硼烷电子标混气配制存在以下的问题：乙硼烷标准混合气的配制主要还是以人工手动操作为主，通过采用手动生产设备进行充装，不仅对操作人员的要求高，而且，手动操作生产操作繁琐，生产效率不高，无法大批量高效生产，而且，手动生产每个批次产品质量虽可能满足基本要求，但其问题在于无法保障每个生产批次的配气中的组分占比均保持较高的统一性
。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术提供了一种标准混合气的自动化配制装置和方法，本专利技术提供的自动化配制装置采用全自动非人工操作流程，进行标准混合气的生产与制备，产品指标波动性小
。
[0005]本专利技术提供了一种标准混合气的自动化配制装置，包括原料气瓶
1、
控制系统
2、
产品气瓶3和第一真空泵4；所述原料气瓶1包括组分气气瓶1‑1和底气原料气瓶1‑2；
[0006]所述原料气瓶1通过第一管道5和产品气瓶3连通；
[0007]所述原料气瓶和产品气瓶之间的第一管道5，沿着气体输送方向，依次设置有原料控制阀5‑
1、
调压控制阀5‑
2、
产品控制阀5‑3和过滤器5‑4；
[0008]所述第一真空泵4通过第二管道6与所述第一管道5连通；所述第二管道6上设置有真空泵控制阀6‑1；
[0009]所述控制系统2通过电信号控制所述原料控制阀5‑
1、
调压控制阀5‑
2、
产品控制阀5‑3和真空泵控制阀6‑
1。
[0010]优选地，还包括尾气收集单元7；所述尾气收集单元7通过第三管道和第四管道4连通；所述第三管道上设置有放空阀
8。
[0011]优选地，还包括电子秤9；所述产品气瓶3设置于电子秤9上；所述电子秤9由所述控制系统2控制
。
[0012]本专利技术提供了所述的自动化配制装置配制标准混合气的方法，其特征在于，包括以下步骤：
[0013]提供所需标准混合气中的组分气质量和底气的质量；
[0014]通过控制系统关闭原料控制阀，将第一管道第一抽空处理至第一压力后，通过控
制系统打开底气原料气瓶对应的原料控制阀，用原料底气置换第一管道内的空气至第二压力后泄放置换的空气；
[0015]通过控制系统关闭底气原料气瓶对应的原料控制阀，将第一管道第二抽空处理至第三压力后，通过控制系统打开组分气原料气瓶对应的原料控制阀，用组分气置换第一管道内的底气至第四压力后泄放置换的底气；
[0016]将组分气通过管道输送至产品气瓶后，将底气输送至产品气瓶
。
[0017]优选地，所述第一压力和第三压力独立地为1～
10Pa。
[0018]优选地，所述第二压力为5～
10Mpa。
[0019]优选地，所述第四压力为2～
5Mpa。
[0020]优选地，所述组分气输送至产品气瓶的输送速率为
0.1
～
1L/s。
[0021]优选地，所述底气输送至产品气瓶的输送速率为
0.1
～
1L/s。
[0022]优选地，所述底气包括高纯或超纯氮气
、
氢气
、
氩气或氦气中的一种
[0023]本专利技术提供了一种标准混合气的自动化配制装置，包括原料气瓶
1、
控制系统
2、
产品气瓶3和第一真空泵4；所述原料气瓶1包括组分气气瓶1‑1和底气原料气瓶1‑2；所述原料气瓶1通过第一管道5和产品气瓶3连通；所述原料气瓶和产品气瓶之间的第一管道5，沿着气体输送方向，依次设置有原料控制阀5‑
1、
调压控制阀5‑
2、
产品控制阀5‑3和过滤器5‑4；所述第一真空泵4通过第二管道6与所述第一管道5连通；所述第二管道6上设置有真空泵控制阀6‑1；所述控制系统2通过电信号控制所述原料控制阀5‑
1、
调压控制阀5‑
2、
产品控制阀5‑3和真空泵控制阀6‑
1。
本专利技术提供的自动化配制装置采用自动操作流程，进行标准混合气的生产与制备，产品指标波动性小
。
另外，人工操作过程中手动操作生产操作繁琐，误操作风险大
、
生产效率不高，自动生产可降低误操作风险
。
附图说明
[0024]图1为本专利技术提供的标准混合气的自动化配制装置图
。
具体实施方式
[0025]本专利技术提供了一种标准混合气的自动化配制装置，包括原料气瓶
1、
控制系统
2、
产品气瓶3和第一真空泵4；所述原料气瓶1包括组分气气瓶1‑1和底气原料气瓶1‑2；
[0026]所述原料气瓶1通过第一管道5和产品气瓶3连通；
[0027]所述原料气瓶和产品气瓶之间的第一管道5，沿着气体输送方向，依次设置有原料控制阀5‑
1、
调压控制阀5‑
2、
产品控制阀5‑3和过滤器5‑4；
[0028]所述第一真空泵4通过第二管道6与所述第一管道5连通；所述第二管道6上设置有真空泵控制阀6‑1；
[0029]所述控制系统2通过电信号控制所述原料控制阀5‑
1、
调压控制阀5‑
2、
产品控制阀5‑3和真空泵控制阀6‑
1。
[0030]在本专利技术中，若没有特殊说明，所采用的试剂均为本领域技术人员所熟知的市售商品
。
[0031]本专利技术提供的标准混合气的自动化配制装置，包括原料气瓶
1。
在本专利技术中，所述原料气瓶1包括组分气气瓶和底气原料气瓶
。
在本专利技术中，所述原料气瓶1优选置于配气柜
内；在本专利技术中，所述组分气气瓶和原料底气气瓶的容量独立地优选为
40L。
[0032]在本专利技术中，所述自动化配制装置包括通过管道和原料气瓶1连通的产品气瓶
3。
在本专利技术中，所述产品气瓶3优选置于配气柜内；所述配气柜内优选还设置有报警器，所述报警器优选和控制系统通过电信号连接
。
[0033]在本专利技术中，所述原料气瓶和产品气瓶之间的第一管道5，沿着气体输送方向，所述原料气瓶和产品气瓶之间的管道上，依次设置有原料控制阀5‑
1、
调压控制阀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种标准混合气的自动化配制装置，其特征在于，包括原料气瓶
(1)、
控制系统
(2)、
产品气瓶
(3)
和第一真空泵
(4)
；所述原料气瓶
(1)
包括组分气气瓶
(1
‑
1)
和底气原料气瓶
(1
‑
2)
；所述原料气瓶
(1)
通过第一管道
(5)
和产品气瓶
(3)
连通；所述原料气瓶和产品气瓶之间的第一管道
(5)
，沿着气体输送方向，依次设置有原料控制阀
(5
‑
1)、
调压控制阀
(5
‑
2)、
产品控制阀
(5
‑
3)
和过滤器
(5
‑
4)
；所述第一真空泵
(4)
通过第二管道
(6)
与所述第一管道
(5)
连通；所述第二管道
(6)
上设置有真空泵控制阀
(6
‑
1)
；所述控制系统
(2)
通过电信号控制所述原料控制阀
(5
‑
1)、
调压控制阀
(5
‑
2)、
产品控制阀
(5
‑
3)
和真空泵控制阀
(6
‑
1)。2.
根据权利要求1所述的自动化配制装置，其特征在于，还包括尾气收集单元
(7)
；所述尾气收集单元
(7)
通...

【专利技术属性】
技术研发人员：于国健，夏山林，刘键夫，孔晖，刘志韬，王雅婷，
申请(专利权)人：中昊光明化工研究设计院有限公司，
类型：发明
国别省市：