【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于有机化合物提纯，具体涉及一种提纯装置、1,1,1,3,3,3-六氟丙烷粗品的提纯方法。
技术介绍
1、高纯电子级1,1,1,3,3,3-六氟丙烷(hfc-236fa)，分子式为c3h2f6，具有稳定的化学性质，其粗品是常见的一种灭火剂。美国专利us20170365487a1和us6361705b1公开六氟丙烷比八氟环丁烷、四氟化碳、六氟丁二烯、氟甲烷等含氟类电子气体具有更好的刻蚀速率、选择性、侧砌特性，并且其刻蚀的高宽比可达20以上，因其具有优异的刻蚀性能，已成为3d nand刻蚀工艺的首选。
2、众所周知，有机烃类在进行主反应的同时通常会伴随着副反应，美国专利us5395997和us 5414165公开在1,1,1,3,3,3-六氟丙烷合成制备的工艺中不可避免产生的氟碳烃杂质，而这些氟碳烃杂质会直接影响刻蚀的深宽比与刻蚀图案的垂直度；氟碳烃杂质中的共沸杂质无法通过精馏的方式有效的脱除，这些共沸杂质包含括1,1,1,3,3-五氟-2-氯丙烯、三氟氯乙烷和1,1,1,3,3,3-六氟丙烷同分异构体。对于共沸杂质的...
【技术保护点】
1.一种提纯装置，其特征在于，包括原料罐(1)和所述原料罐(1)的出口依次串联的第一吸附柱(2)、第二吸附柱(3)、第一过滤器(4)、第二过滤器(5)、脱重塔(7)、脱轻塔(10)和产品收集罐(13)；
2.根据权利要求1所述提纯装置，其特征在于，所述第一吸附柱(2)内设置的吸附剂为分子筛；
3.根据权利要求1或2所述提纯装置，其特征在于，所述第一再沸器(8)的出口连接有杂质罐(12)；设置于所述第二冷凝器(9)顶部的出口连接杂质罐(12)；
4.根据权利要求1所述提纯装置，其特征在于，所述第一再沸器(8)设置有第三加热调节部件(1...
【技术特征摘要】
1.一种提纯装置，其特征在于，包括原料罐(1)和所述原料罐(1)的出口依次串联的第一吸附柱(2)、第二吸附柱(3)、第一过滤器(4)、第二过滤器(5)、脱重塔(7)、脱轻塔(10)和产品收集罐(13)；
2.根据权利要求1所述提纯装置，其特征在于，所述第一吸附柱(2)内设置的吸附剂为分子筛；
3.根据权利要求1或2所述提纯装置，其特征在于，所述第一再沸器(8)的出口连接有杂质罐(12)；设置于所述第二冷凝器(9)顶部的出口连接杂质罐(12)；
4.根据权利要求1所述提纯装置，其特征在于，所述第一再沸器(8)设置有第三加热调节部件(16)，所述第二再沸器(11)设置有第四加热调节部件(18)。
5.根据权利要求1所述提纯装置，其特征在于，所述原料罐(1)的出口与脱重塔(7)的进口通过管路连通。
<...【专利技术属性】
技术研发人员：任少科，赵鹏德，祝全仁，郭宇姝，于枫，高天龙，董涛，方建朝，
申请(专利权)人：中昊光明化工研究设计院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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