匀胶机托盘结构制造技术

本发明专利技术公开了一种匀胶机托盘结构，涉及匀胶机技术领域

【技术实现步骤摘要】
匀胶机托盘结构


[0001]本专利技术涉及匀胶机
，具体涉及一种匀胶机托盘结构
。

技术介绍

[0002]匀胶机是在高速旋转的基片上滴注各类胶液，利用旋转离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备
。
[0003]目前，用于承托基片的匀胶机托盘结构主要有同心圆环式和支撑柱式两种，同心圆环式包括圆形的承载盘和由内而外同轴设置在承载盘上的多个圆环状凸起，承载盘的中心位置处设置有一个抽气孔，抽气孔抽气将基片吸附在圆环状凸起的上表面上；支撑柱式包括圆形的承载盘和均匀设置在承载盘上的多个支撑柱，承载盘的中心位置处设置有一个抽气孔，抽气孔抽气将基片吸附在支撑柱的上表面上
。
[0004]以上两种结构的匀胶机托盘结构虽然都能够使用，但是由于二者的承载盘上仅设有一个抽气孔，从而导致基片所受到的吸力不均衡，受吸力大小的影响，极易出现基片发生形变的问题，严重影响了匀胶效果，降低了匀胶良率和工作效率
。

技术实现思路

[0005]针对现有技术存在的以上缺陷，本专利技术提供一种匀胶机托盘结构，该匀胶机托盘结构的吸力均衡，解决了基片发生形变的问题，保证了匀胶效果，提高了匀胶良率和工作效率
。
[0006]为了解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：
[0007]匀胶机托盘结构，包括承载盘和支撑盘，所述承载盘通过第一连接结构可拆卸地设置在所述支撑盘上，且所述承载盘与所述支撑盘共同围成气腔；所述承载盘远离所述气腔的一侧设置有基片承托平面，所述基片承托平面上均匀布置有多个直径相同的吸孔，所述吸孔贯穿所述承载盘且与所述气腔相连通；所述支撑盘上设置有与所述气腔相连通的抽气孔
。
[0008]其中，所述承载盘和所述支撑盘为同轴设置的两个圆盘，所述支撑盘的直径大于所述承载盘的直径
。
[0009]其中，所述承载盘靠近所述支撑盘的一侧开设有凹槽，所述凹槽与所述支撑盘共同围成所述气腔
。
[0010]其中，所述第一连接结构设置有两组，两所述第一连接结构以所述承载盘和所述支撑盘的轴线为中心轴圆形阵列
。
[0011]其中，所述第一连接结构包括贯穿所述承载盘的第一连接孔，贯穿所述支撑盘的第二连接孔，以及穿设在所述第一连接孔和所述第二连接孔之间的圆柱销
。
[0012]其中，所述匀胶机托盘结构还包括用于与匀胶机连接的转接套筒，所述转接套筒设置在所述支撑盘远离所述承载盘的一侧，所述承载盘
、
所述支撑盘和所述转接套筒同轴设置，所述抽气孔与所述转接套筒相连通
。
[0013]其中，所述转接套筒与所述支撑盘一体设置，所述转接套筒的内孔贯穿所述支撑盘形成所述抽气孔
。
[0014]其中，所述转接套筒上设置有第二连接结构，所述转接套筒通过所述第二连接结构与所述匀胶机的旋转装置连接
。
[0015]其中，所述第二连接结构包括设置在所述转接套筒上的安装通孔和穿设在所述安装通孔内的卡接销，所述安装通孔的轴线与所述转接套筒的轴线垂直，所述卡接销用于与所述旋转装置上的卡槽卡接
。
[0016]其中，所述转接套筒对应所述安装通孔的位置处套设有密封胶套
。
[0017]采用了上述技术方案，本专利技术的有益效果是：
[0018]本专利技术提供的匀胶机托盘结构，通过设置气腔，且在承载盘上设置基片承托平面，同时在基片承托平面上均匀布置多个直径相同的吸孔，并将吸孔贯穿承载盘与该气腔相连通，保证了各个吸孔的吸力相同，从而保证了基片各个部位所受到的吸力均衡，使得基片能够紧贴于承载盘的基片承托平面上，保持水平状态，实现了点吸附
、
面支撑，解决了基片发生形变的问题，大大提高了匀胶的均匀性，保证了匀胶效果，提高了匀胶良率和工作效率；同时，承载盘与支撑盘地可拆卸连接也大大提高了检修及清洁的便捷性
。
附图说明
[0019]图1是本专利技术匀胶机托盘结构的结构示意图；
[0020]图2是图1的剖视图；
[0021]图中：
1、
承载盘；
11、
基片承托平面；
12、
吸孔；
13、
第一连接孔；
2、
支撑盘；
21、
抽气孔；
3、
气腔；
4、
圆柱销；
5、
转接套筒；
6、
卡接销；
7、
密封胶套
。
具体实施方式
[0022]为了使本专利技术的目的
、
技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明
。
应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术
。
[0023]如图1和图2所示，匀胶机托盘结构，包括承载盘1和支撑盘2，承载盘1通过第一连接结构可拆卸地设置在支撑盘2上，且承载盘1与支撑盘2共同围成气腔3；承载盘1远离气腔3的一侧设置有基片承托平面
11
，基片承托平面
11
上均匀布置有多个直径相同的吸孔
12
，吸孔
12
贯穿承载盘1且与气腔3相连通；支撑盘2上设置有与气腔3相连通的抽气孔
21。
[0024]该匀胶机托盘结构通过设置气腔3，且在承载盘1上设置基片承托平面
11
，同时在基片承托平面
11
上均匀布置多个直径相同的吸孔
12
，并将吸孔
12
贯穿承载盘1与该气腔3相连通，保证了各个吸孔
12
的吸力相同，从而保证了基片
(
图中未示出
)
各个部位所受到的吸力均衡，使得基片能够紧贴于承载盘1的基片承托平面
11
上，保持水平状态，实现了点吸附
、
面支撑，解决了基片发生形变的问题，大大提高了匀胶的均匀性，保证了匀胶效果，提高了匀胶良率和工作效率；同时，承载盘1与支撑盘2的可拆卸连接也大大提高了检修及清洁的便捷性
。
[0025]本实施例中的承载盘1和支撑盘2为同轴设置的两个圆盘，支撑盘2的直径大于承载盘1的直径
。
[0026]通过将承载盘1和支撑盘2设置为圆盘，使得二者在旋转过程中能够更好地保持平衡，保证匀胶效果；在匀胶过程中，多余的胶液会经基片的边缘甩出，甩出的胶液经过匀胶机的收胶锅的侧壁反弹后会污染到基片与承载盘相贴合一面的边缘部，通过将支撑盘2的直径设置为大于承载盘1的直径，一方面阻挡了反弹后的胶液，降低了基片被污染的风险，另一方面增强了支撑强度，提高了匀胶时的稳定性
。
[0027]本实施例中的承载盘1靠近支撑盘2的一侧开设有凹槽，凹槽与支撑盘2共同围成气腔
3。
通过设置气腔3，保证了各个吸孔
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
匀胶机托盘结构，其特征在于，包括承载盘和支撑盘，所述承载盘通过第一连接结构可拆卸地设置在所述支撑盘上，且所述承载盘与所述支撑盘共同围成气腔；所述承载盘远离所述气腔的一侧设置有基片承托平面，所述基片承托平面上均匀布置有多个直径相同的吸孔，所述吸孔贯穿所述承载盘且与所述气腔相连通；所述支撑盘上设置有与所述气腔相连通的抽气孔
。2.
根据权利要求1所述的匀胶机托盘结构，其特征在于，所述承载盘和所述支撑盘为同轴设置的两个圆盘，所述支撑盘的直径大于所述承载盘的直径
。3.
根据权利要求2所述的匀胶机托盘结构，其特征在于，所述承载盘靠近所述支撑盘的一侧开设有凹槽，所述凹槽与所述支撑盘共同围成所述气腔
。4.
根据权利要求2所述的匀胶机托盘结构，其特征在于，所述第一连接结构设置有两组，两所述第一连接结构以所述承载盘和所述支撑盘的轴线为中心轴圆形阵列
。5.
根据权利要求4所述的匀胶机托盘结构，其特征在于，所述第一连接结构包括贯穿所述承载盘的第一连接孔，贯穿所述支撑盘的第二连接孔，以及穿设在所述第一连接孔和所述第二连接孔之间的圆柱销<...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹邦超，饶轶，吾晓，杨海涛，
申请(专利权)人：歌尔光学科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：