压力传感器及其制备方法技术

本发明专利技术涉及压力传感器技术领域，公开了一种压力传感器及其制备方法，包括基底层；导电层，其位于所述基底层一侧，所述导电层包括间隔布置的高电阻区和低电阻区，所述高电阻层通过激光加工形成；电极层，其位于所述导电层背向所述基底层的一侧；粘合层，其位于所述电极层和所述导电层之间以粘连所述导电层和所述电极层

【技术实现步骤摘要】
压力传感器及其制备方法


[0001]本专利技术涉及压力传感器
，特别是涉及一种压力传感器及其制备方法
。

技术介绍

[0002]目前，柔性压力传感器具有轻薄柔
、
便携
、
集成度高和设计性强等特点，能够贴附在人体皮肤或复杂曲面上实现响应过程，在可穿戴设备
、
人机交互
、
工业检测等领域极具应用潜力
。
[0003]压阻式的薄膜压力传感器由于其结构简单
、
性能稳定的特点是目前市面上最常见的类型，主要分为压阻橡胶型以及微结构型传感器
。
对于传统的基于压阻橡胶结构的柔性传感器，主要靠压阻油墨的本体压阻效应实现功能
。
压阻油墨制备工艺复杂，成本较高且灵敏度
、
量程均表现不佳
。
[0004]基于微结构型的柔性压力传感器具有高灵敏度
、
高线性度等优点，该类传感器电阻一般由接触电阻和串联体电阻构成，传感器主要依靠受力时接触电阻的变化来反馈力的大小
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种压力传感器，其特征在于，包括基底层；导电层，其位于所述基底层一侧，所述导电层包括间隔布置的高电阻区和低电阻区，所述高电阻区通过激光加工形成；电极层，其位于所述导电层背向所述基底层的一侧；粘合层，其位于所述电极层和所述导电层之间以粘连所述导电层和所述电极层
。2.
根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于：所述导电层包括导电填料
、
反应剂
、
催化剂
、
分散剂
、
抗氧剂和溶剂
。3.
根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于：所述导电填料
、
所述反应剂
、
所述催化剂
、
所述分散剂
、
所述抗氧剂和所述溶剂的质量比例为5‑
20
：5‑
10
：
0.2
‑
0.5
：5‑
20
：
0.5
‑1：
100。4.
根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于：所述导电填料包括石墨烯
、
碳纳米管或炭黑的至少其中之一
。5.
根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于：所述反应剂用于在激光条件下与所述导电填料反应形成所述高电阻区，所述反应剂包括氧化硅
、
氧化硼
、
氧化钛或氧化钨的至少其中之一
。6.
根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于：所述催化剂用于催化所述导电填料和所述反应剂在激光条件下进行反应，所述催化剂包括镧系氧化物
、
钪系氧化物或钇系氧化物的至少其中之一
。7.
根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于：所述分散剂用于分散导电填料
、
反应剂
、
催化剂和抗氧剂，所述分散剂包括聚氨酯
、SEBS、PET
或
PS
的至少其中之一
。8.
根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于：所述抗氧剂用于防止所诉分散剂在激光作用下被氧化，所述抗氧剂包括受阻酚类抗氧剂或亚磷酸类抗氧剂
。9.
根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于：所述溶剂包括
DMF、DMAc、
甲苯

【专利技术属性】
技术研发人员：叶焕青，饶尚锦，贺静波，
申请(专利权)人：广州埔慧科技有限公司，
类型：发明
国别省市：