下载压力传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:39581646

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本发明涉及压力传感器技术领域,公开了一种压力传感器及其制备方法,包括基底层;导电层,其位于所述基底层一侧,所述导电层包括间隔布置的高电阻区和低电阻区,所述高电阻层通过激光加工形成;电极层,其位于所述导电层背向所述基底层的一侧;粘合层,其位于...
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