传感器及其制备方法技术

本说明书涉及传感器，包括基底层和电极层，其中，基底层被配置为在外力作用下发生形变；电极层布置在基底层上，电极层中布置有裂纹结构，基底层的形变改变裂纹结构的尺寸，从而改变电极层的电阻并产生随着电阻变化的传感信号

【技术实现步骤摘要】
传感器及其制备方法


[0001]本申请涉及传感
，特别涉及传感器及其制备方法
。

技术介绍

[0002]压阻式压力传感器是压力传感器的主要形式
。
压阻传感器的灵敏度主要决定于材料的压阻系数，但压阻系数的大小往往受限于材料
、
工艺等因素，难以大幅度提升
。
因此，有必要提出一种传感器，能够跳出材料
、
工艺的限制，从结构设计的角度来提高器件灵敏度
。

技术实现思路

[0003]本说明书实施例提供一种传感器，包括：基底层，所述基底层被配置为在外力作用下发生形变；以及电极层，所述电极层布置在所述基底层上，所述电极层中布置有裂纹结构，所述基底层的形变改变所述裂纹结构的尺寸，从而改变所述电极层的电阻并产生随着所述电阻变化的传感信号
。
[0004]在一些实施例中，所述基底层沿着第一方向延伸，所述裂纹结构包括沿着所述第一方向间隔分布的多个子裂纹
。
[0005]在一些实施例中，所述基底层沿着第一方向延伸，所述裂纹结构包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种传感器，包括：基底层，所述基底层被配置为在外力作用下发生形变；以及电极层，所述电极层布置在所述基底层上，所述电极层中布置有裂纹结构，所述基底层的形变改变所述裂纹结构的尺寸，从而改变所述电极层的电阻并产生随着所述电阻变化的传感信号
。2.
根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述基底层沿着第一方向延伸，所述裂纹结构包括沿着所述第一方向间隔分布的多个子裂纹
。3.
根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述基底层沿着第一方向延伸，所述裂纹结构包括沿着所述第二方向间隔分布的多个子裂纹，所述多个子裂纹中的每个子裂纹沿所述第一方向延伸，且所述第二方向垂直于所述第一方向
。4.
根据权利要求3所述的传感器，其特征在于，所述裂纹结构还包括沿着第一方向分布的多个子裂纹
。5.
根据权利要求2所述的传感器，其特征在于，所述多个子裂纹在所述第一方向上非均匀分布
。6.
根据权利要求2所述的传感器，其特征在于，所述基底层具有梁状或板状结构，且所述第一方向为所述基底层的长度方向
。7.
根据权利要求2所述的传感器，其特征在于，所述基底层具有圆形膜状结构，所述第一方向为所述基底层...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁永帅，黄雨佳，齐心，廖风云，
申请(专利权)人：深圳市韶音科技有限公司，
类型：发明
国别省市：