【技术实现步骤摘要】
一种
γ
射线吸收和激光测厚混合的高精度厚度测量装置
[0001]本专利技术属于固体厚度测量
,具体涉及一种
γ
射线吸收和激光测厚混合的高精度厚度测量装置
。
技术介绍
[0002]在薄膜
、
纸张
、
涂料和钢板等生产过程中,需要对厚度进行精准测量和控制
。
实现无损
、
高精度的厚度测量,可以提高生产效率,实现高经济效益
。
现有相关技术中,测量方法包括激光测量法
、
超声波测量法
、
磁感应法和射线测量法等
。
其中激光测厚法使用两个激光位移传感器的激光对射,被测体放置在对射区域内,根据测量被测体上表面和下表面的距离,计算出被测体的厚度
。
射线测厚法利用射线透过样品的衰减规律,得到不同厚度与透射射线强度的关系,从而实现厚度测量
。
上述方案中,激光测厚法和射线测厚法测量精度优于目前存在的其他方法,测量精度可以达到 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种
γ
射线吸收和激光测厚混合的高精度厚度测量装置,包括探测装置支撑架
(10)
,其特征在于:所述探测装置支撑架
(10)
上螺纹连接有高精度剪式三轴位移平台
(9)
,探测装置支撑架
(10)
上设置有样品支撑架
(12)
,所述高精度剪式三轴位移平台
(9)
上螺纹连接有探测器支架
(8)
,所述探测器支架
(8)
的上方设置有样品放置架
(4)
,所述样品放置架
(4)
的上方设置有射线源放置架
(3)
,所述射线源放置架
(3)
设置有
γ
射线源
(2)
,射线源放置架
(3)
上螺纹连接有滚珠丝杆直线滑块
(1)
,所述射线源放置架
(3)
和样品放置架
(4)
上分别设置有第一激光位移传感器
(5)
和第二激光位移传感器
(6)
,所述探测器支架
(8)
的顶部设置有
CZT
探测器
(7)
,所述滚珠丝杆直线滑块
(1)
的后侧螺纹连接探测装置支撑架
(10)。2.
根...
【专利技术属性】
技术研发人员:吕亮亮,李公平,刘军涛,潘小东,张正宏,
申请(专利权)人:兰州大学,
类型:发明
国别省市:
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