一种光电测量装置及方法制造方法及图纸

技术编号:39567121 阅读:27 留言:0更新日期:2023-12-03 19:17
本发明专利技术公开了一种光电测量装置及方法,包括光电测量箱,所述光电测量箱的内部安装有光传感器

【技术实现步骤摘要】
一种光电测量装置及方法


[0001]本专利技术涉及光电测量
,更具体地说,涉及一种光电测量装置及方法


技术介绍

[0002]光电测量装置
(Photodetection device)
是一种用于测量光的强度

能量或其他光学特性的设备

它通常由一个光敏器件和相关的电路组成,光敏器件可以是光电二极管
(Photodiode)、
光电倍增管
(Photomultiplier tube)、
光电导器
(Photoconductor)
等,这些器件均能将光信号转化为电信号,以便进行测量和分析

[0003]其中针对生产透明膜与半透明膜的厚度测量,常常采用光电测量装置,但是光电测量的精准度,又受到环境影响,如外部光源干扰以及温湿度都会导致光电测量出现误差,导致对生产透明膜与半透明膜的生产监测不准确,影响其生产质量,由于薄膜的厚度变化较为微小,所以需要高精度测量,而光电测量装置中的暗电流会导致光电测量精度
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种光电测量装置,包括光电测量箱
(1)
,所述光电测量箱
(1)
的内部安装有光传感器
(2)、
光源发射器
(3)、
信号处理器
(4)
与数据处理模块
(5)
,其特征在于:所述光电测量箱
(1)
的内部固定安装有两个密封板
(6)
,所述光电测量箱
(1)
的内部通过两个密封板
(6)
分割为两个工作腔与一个测量腔,且光传感器
(2)、
光源发射器
(3)
分别安装于两个工作腔内,所述光电测量箱
(1)
上开设有两个通口
(8)
,两个所述密封板
(6)
上均固定安装有透光板
(9)
;顶部的所述工作腔内部固定安装有高阻抗测量仪
(10)、
暗电流分析模块
(11)
与冷却装置
(12)
,所述冷却装置
(12)
包含有固定安装于顶部工作腔内的换热片
(13)
,所述光传感器
(2)
位于换热片
(13)
的内侧并与换热片
(13)
接触,所述光电测量箱
(1)
的正面与背面均一体成型有向其内部延伸的安装通风管
(14)
,所述安装通风管
(14)
的内侧固定安装有半导体制冷片
(16)
,且半导体制冷片
(16)
的制冷侧与换热片
(13)
接触,顶部的所述密封板
(6)
的顶部固定安装有遮光装置
(15)。2.
根据权利要求1所述的一种光电测量装置,其特征在于:所述遮光装置
(15)
包含有安装于顶部密封板
(6)
上的围框
(151)
,顶部的所述透光板
(9)
位于围框
(151)
的内侧,所述围框
(151)
上固定安装有伺服马达
(152)
,所述伺服马达
(152)
的输出轴固定安装有传动丝杆
(153)
,所述传动丝杆
(153)
上螺纹连接有电动推杆
(154)
,所述电动推杆
(154)
的顶部固定安装有遮光板
(155)。3.
根据权利要求1所述的一种光电测量装置,其特征在于:所述光源发射器
(3)
的光源为激光,所述光传感器
(2)
为光电二极管,且光传感器
(2)
用于接收光源发射器
(3)
发射光源,光传感器
(2)
接收光信号产生电流形成电信号;所述信号处理器
(4)
接收光传感器
(2)
上传的电信号,并进行放大

滤波

采样处理;所...

【专利技术属性】
技术研发人员:高书苑王月华翔张敏慧陈少飞马雁东徐洋
申请(专利权)人:江苏精测智能科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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