电感结构及其形成方法技术

一种电感结构及其形成方法，其中结构包括：电感线圈，所述电感线圈包括两个连接端；与任一所述连接端连接的第一引出端，所述第一引出端具有相对的第一起始端和第一末尾端，所述第一起始端与连接端连接，所述第一起始端具有第一宽度，所述第一末尾端具有第二宽度，所述第一宽度大于所述第二宽度，所述电感结构在提升电感品质因数

【技术实现步骤摘要】
电感结构及其形成方法


[0001]本专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及电感结构及其形成方法
。

技术介绍

[0002]电感作为射频集成电路的关键元件，广泛用于压控振荡器
、
低噪声放大器以及功率放大器中
。
电感通常由线圈
、
衬底隔离结构
、
保护环三部分组成
。
[0003]射频集成电路中，电感品质因数
Q
是电感贮存的峰值磁能和峰值电能之差与其一个周期内的损耗之比
。
电感的品质因数
Q
对射频电路的性能起到了至关重要的作用
。
电感线圈端口宽度通常为几微米到几十微米
。
然而，与其他器件连接所用的金属线的宽度通常小于1微米，电感线圈端口与引出线的宽度差异会引起较大阻抗差异，较大的阻抗差异导致射频信号的反射，导致能量产生较多损失，从而降低电感品质因数
Q
值
。
[0004]因此，现有的电感的结构有待进一步提高
。

技术实现思路

[0005]本专利技术解决的技术问题是提供一种电感结构及其形成方法，以增大电感品质因数
Q
，提高电感性能
。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案提供一种电感结构，包括：电感线圈，所述电感线圈包括两个连接端；与任一所述连接端连接的第一引出端，所述第一引出端具有相对的第一起始端和第一末尾端，所述第一起始端与连接端连接，所述第一起始端具有第一宽度，所述第一末尾端具有第二宽度，所述第一宽度大于所述第二宽度
。
[0007]可选的，还包括：第一连接线，所述第一连接线与所述第一引出端自所述第一末尾端相互电连接
。
[0008]可选的，自第一起始端到第一末尾端的方向上，所述第一引出端的宽度递减
。
[0009]可选的，所述第一引出端平行于第一方向，所述第一引出端在沿所述第一方向上分为若干区
。
[0010]可选的，各区的长度相同，且相邻区之间具有相同的宽度差
。
[0011]可选的，还包括：与所述电感线圈另一连接端连接的第二引出端，所述第二引出端具有相对的第二起始端和第二末尾端，所述第二起始端与所述另一连接端连接，所述第二起始端具有第三宽度，所述第二末尾端具有第四宽度，所述第三宽度大于所述第四宽度
。
[0012]可选的，自第二起始端到第二末尾端的方向上，所述第二引出端的宽度递减
。
[0013]可选的，还包括：第二连接线，所述第二连接线与所述第二引出端自所述第二末尾端相互电连接
。
[0014]可选的，所述第一引出端和所述第二引出端相互平行，且位于所述电感线圈外侧
。
[0015]可选的，所述第一连接线具有第二宽度
。
[0016]可选的，所述第一引出端的长度范围为
5um
至
30um。
[0017]相应的，本专利技术的技术方案提供一种电感结构形成方法，包括：形成电感线圈，所
述电感线圈包括两个连接端；在所述电感线圈任一连接端形成第一引出端，所述第一引出端具有相对的第一起始端和第一末尾端，所述第一起始端与连接端连接，所述第一起始端具有第一宽度，所述第一末尾端具有第二宽度，所述第一宽度大于所述第二宽度
。
[0018]可选的，还包括：形成第一连接线，所述第一连接线与所述第一引出端自所述第一末尾端相互电连接
。
[0019]可选的，自第一起始端到第一末尾端的方向上，所述第一引出端的宽度递减
。
[0020]可选的，所述第一引出端平行于第一方向，所述第一引出端在沿所述第一方向上分为若干区
。
[0021]可选的，所述若干区的形成方法包括：提供设定步长和设定差异值；将所述第一引出端按所述设定步长进行分区，形成所述若干区，相邻区之间的宽度差为所述设定差异值
。
[0022]可选的，还包括：在所述电感线圈另一连接端形成第二引出端，所述第二引出端具有相对的第二起始端和第二末尾端，所述第二起始端与所述另一连接端连接，所述第二起始端具有第三宽度，所述第二末尾端具有第四宽度，所述第三宽度大于所述第四宽度
。
[0023]可选的，自第二起始端到第二末尾端的方向上，所述第二引出端的宽度递减
。
[0024]可选的，还包括：形成第二连接线，所述第二连接线与所述第二引出端自所述第二末尾端相互电连接
。
[0025]可选的，所述第一引出端和所述第二引出端相互平行，且位于所述电感线圈外侧
。
[0026]可选的，所述第一连接线具有第二宽度
。
[0027]可选的，所述第一引出端的长度范围为
5um
至
30um。
[0028]与现有技术相比，本专利技术的技术方案具有以下有益效果：
[0029]本专利技术技术方案提供的一种电感结构中，在所述电感线圈任一连接端形成第一引出端，所述第一引出端具有相对的第一起始端和第一末尾端，所述第一起始端具有第一宽度，所述第一末尾端具有第二宽度，所述第一宽度大于所述第二宽度，减少了电感线圈的第一引出端与第一连接线的宽度的差异所述引起的阻抗差异，进而减少射频信号的反射，减少能量的损失，从而起到提升电感品质因数
Q
值的目的；同时，由于所述第一引出端相对于所述电感线圈的尺寸较小，改变所述第一引出端的形状对耦合电容影响较小，因此对电感的自谐振影响很小，提升电感品质因数
Q
值的同时不影响自谐振性能
。
[0030]本专利技术实施例提供了一种电感结构的形成方法中，在所述电感线圈任一连接端形成第一引出端，所述第一引出端具有相对的第一起始端和第一末尾端，所述第一起始端具有第一宽度，所述第一末尾端具有第二宽度，所述第一宽度大于所述第二宽度，减少了电感线圈的第一引出端与第一连接线的宽度的差异所述引起的阻抗差异，进而减少射频信号的反射，减少能量的损失，从而起到提升电感品质因数
Q
值的目的；同时，由于所述第一引出端相对于所述电感线圈的尺寸较小，改变所述第一引出端的形状对耦合电容影响较小，因此对电感的自谐振影响很小，提升电感品质因数
Q
值的同时不影响自谐振性能
。
附图说明
[0031]图1为一种电感结构的示意图；
[0032]图2和图3为本专利技术实施例电感结构形成过程的结构示意图
。
具体实施方式
[0033]需要注意的是，本说明书中的“表面”、“上”，用于描述空间的相对位置关系，并不限定于是否直接接触
。
[0034]如
技术介绍
所述，现有的电感的结构有待进一步提高
。
现结合具体的实施例进行分析说明
。
[0035]图1为一种电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种电感结构，其特征在于，包括：电感线圈，所述电感线圈包括两个连接端；与任一所述连接端连接的第一引出端，所述第一引出端具有相对的第一起始端和第一末尾端，所述第一起始端与连接端连接，所述第一起始端具有第一宽度，所述第一末尾端具有第二宽度，所述第一宽度大于所述第二宽度
。2.
如权利要求1所述的电感结构，其特征在于，还包括：第一连接线，所述第一连接线与所述第一引出端自所述第一末尾端相互电连接
。3.
如权利要求1所述的电感结构，其特征在于，自第一起始端到第一末尾端的方向上，所述第一引出端的宽度递减
。4.
如权利要求3所述的电感结构，其特征在于，所述第一引出端平行于第一方向，所述第一引出端在沿所述第一方向上分为若干区
。5.
如权利要求4所述的电感结构，其特征在于，各区的长度相同，且相邻区之间具有相同的宽度差
。6.
如权利要求1所述的电感结构，其特征在于，还包括：与所述电感线圈另一连接端连接的第二引出端，所述第二引出端具有相对的第二起始端和第二末尾端，所述第二起始端与所述另一连接端连接，所述第二起始端具有第三宽度，所述第二末尾端具有第四宽度，所述第三宽度大于所述第四宽度
。7.
如权利要求6所述的电感结构，其特征在于，自第二起始端到第二末尾端的方向上，所述第二引出端的宽度递减
。8.
如权利要求6所述的电感结构，其特征在于，还包括：第二连接线，所述第二连接线与所述第二引出端自所述第二末尾端相互电连接
。9.
如权利要求6所述的电感结构，其特征在于，所述第一引出端和所述第二引出端相互平行，且位于所述电感线圈外侧
。10.
如权利要求2所述的电感结构，其特征在于，所述第一连接线具有第二宽度
。11.
如权利要求1所述的电感结构，其特征在于，所述第一引出端的长度范围为
5um
至
30um。12.
一种电感结构的形成方法，其特征在于，包括：形成电感线圈，所述电感线圈包括两个连接端；在所述电感线圈任一连接端形成第一引出端，所述第一引出端具有相对的第一起始端和第一末尾端，所述第一起始端与连接端连接，所述第一起始端具有第一宽度，所述第一末尾端具有第二宽度，所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓东，王西宁，钱蔚宏，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造，
类型：发明
国别省市：