导热构件制造技术

本发明专利技术的课题在于提供能够片化且散热性优异的导热构件。本导热构件具有：多个碳纳米管；设置于多个上述碳纳米管的一端侧的第1树脂层；层叠于上述第1树脂层的、与上述第1树脂层相比导热率高的第1传热层；设置于多个上述碳纳米管的另一端侧的第2树脂层；以及层叠于上述第2树脂层的、与上述第2树脂层相比导热率高的第2传热层，上述第1树脂层和上述第2树脂层不含有填料，构成上述第1树脂层的树脂含浸于多个上述碳纳米管的一端侧，构成上述第2树脂层的树脂含浸于多个上述碳纳米管的另一端侧。侧。侧。

【技术实现步骤摘要】
导热构件


[0001]本公开涉及导热构件。

技术介绍

[0002]已知使用了碳纳米管的层叠体。该层叠体中，夹持碳纳米管而上下配置有保护材(例如，参照专利文献1)。
[0003]碳纳米管的导热性优异，因此包含碳纳米管的层叠体有时作为导热构件来使用。然而，碳纳米管容易散开，因此片化困难。此外，根据包含碳纳米管的层叠体的构成，存在得不到充分的散热性的情况。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：国际公开第2016/158496号

技术实现思路

[0007]专利技术所要解决的课题
[0008]本专利技术是鉴于上述情况而提出的，目的在于提供能够片化且散热性优异的导热构件。
[0009]用于解决课题的方法
[0010]本导热构件具有：多个碳纳米管；设置于多个上述碳纳米管的一端侧的第1树脂层；层叠于上述第1树脂层的、与上述第1树脂层相比导热率高的第1传热层；设置于多个上述碳纳米管的另一端侧的第2树脂层；层叠于上述第2树脂层的、与上述第2树脂层相比导热率高的第2传热层，上述第1树脂层和上述第2树脂层不含有填料，构成上述第1树脂层的树脂含浸于多个上述碳纳米管的一端侧，构成上述第2树脂层的树脂含浸于多个上述碳纳米管的另一端侧。
[0011]专利技术的效果
[0012]根据公开的技术，能够提供能够片化且散热性优异的导热构件。
附图说明
[0013]图1为例示第1实施方式涉及的导热构件的立体图。
[0014]图2为例示第1实施方式涉及的导热构件的截面图。
[0015]图3为第1实施方式涉及的导热构件的截面的SEM照片。
[0016]图4为例示比较例涉及的导热构件的截面图。
[0017]图5为例示第1实施方式涉及的导热构件的制造工序的图(其1)。
[0018]图6为例示第1实施方式涉及的导热构件的制造工序的图(其2)。
[0019]图7为例示第1实施方式涉及的导热构件的制造工序的图(其3)。
[0020]图8为例示第1实施方式的变形例涉及的导热构件的截面图。
[0021]图9为导热构件的导热率等的评价结果。
[0022]符号的说明
[0023]10、10A 导热构件
[0024]11 碳纳米管
[0025]11a 碳纳米管的一端侧的前端
[0026]11b 碳纳米管的另一端侧的前端
[0027]12 第1树脂层
[0028]13、13A 第1传热层
[0029]13f、15f 填料
[0030]14 第2树脂层
[0031]15、15A 第2传热层
[0032]16、17 保护层
[0033]200 基板
[0034]210 转印构件
具体实施方式
[0035]以下，参照附图对于具体实施方式进行说明。另外，各附图中，同一构成部分附上同一符号，有时省略重复的说明。
[0036]<第1实施方式>
[0037][导热构件的结构][0038]图1为例示第1实施方式涉及的导热构件的立体图。图2为例示第1实施方式涉及的导热构件的截面图，图2(a)为整体图，图2(b)为图2(a)的A部的放大图。
[0039]如果参照图1和图2，则第1实施方式涉及的导热构件10具有多个碳纳米管11；第1树脂层12；第1传热层13；第2树脂层14以及第2传热层15。导热构件10可以进一步具有保护层16和17。导热构件10为所谓TIM(Thermal Interface Material)，配置于2个构件之间，为进行两者之间的导热的构件。例如，2个构件的一方为发热体，另一方为放热体。
[0040]多个碳纳米管11在第1树脂层12与第2树脂层14之间，将长度方向大致朝向导热方向而配置。这里，所谓导热方向，为与第1传热层13的上面和第2传热层15的下面大致垂直的方向。相邻的碳纳米管11的间隔可以一定，也可以不一定。相邻的碳纳米管11可以相接，但是优选相邻的碳纳米管11之间具有空隙。由此，碳纳米管11的收缩性提高，膨胀、收缩变得容易。
[0041]碳纳米管11是例如直径为0.7～70nm左右的大致圆筒形的碳的结晶。碳纳米管11的长度方向的长度为例如，50μm以上300μm以下。碳纳米管11的导热性高，其导热率为例如3000W/m
·
K左右。为了获得良好的传热性能，碳纳米管11的面密度优选为1
×
10
10
根/cm2以上。
[0042]第1树脂层12设置于多个碳纳米管11的一端侧。第1传热层13层叠于第1树脂层12的与碳纳米管11的相反侧。构成第1树脂层12的树脂含浸于多个碳纳米管11的一端侧。换句话说，多个碳纳米管11的一端侧埋入第1树脂层12。
[0043]在多个碳纳米管11的一端侧，埋入第1树脂层12的部分的长度为例如，0.1μm以上
10um以下。另外，各个碳纳米管11的一端侧的前端11a的位置散乱也可以。
[0044]多个碳纳米管11的一端侧的前端11a没有从第1树脂层12的下面突出。即，第1树脂层12的第1传热层13侧是多个碳纳米管11的一端侧没有进入，仅由树脂形成的区域。然而，一部分碳纳米管11的一端侧的前端11a可以到达第1树脂层12的下面，也可以从下面突出。
[0045]第2树脂层14设置于多个碳纳米管11的另一端侧。第2传热层15层叠于第2树脂层14的与碳纳米管11的相反侧。构成第2树脂层14的树脂含浸于多个碳纳米管11的另一端侧。换句话说，多个碳纳米管11的另一端侧埋入第2树脂层14。
[0046]多个碳纳米管11的另一端侧的、埋入第2树脂层14的部分的长度为例如，0.1μm以上10μm以下。然而，各个碳纳米管11的另一端侧的前端11b的位置散乱也可以。
[0047]多个碳纳米管11的另一端侧的前端11b没有从第2树脂层14的上面突出。即，第2树脂层14的第2传热层15侧是多个碳纳米管11的另一端侧没有进入，仅由树脂形成的区域。然而，一部分碳纳米管11的另一端侧的前端11b可以到达第2树脂层14的上面，也可以从上面突出。
[0048]图3为第1实施方式涉及的导热构件的截面的SEM照片，图3(a)为整体图，图3(b)为图3(a)的部分放大图。在图3(b)的虚线B所包围的部分，能够确认构成第2树脂层14的树脂含浸于多个碳纳米管11的另一端侧。
[0049]回到图1和图2的说明，第1树脂层12和第2树脂层14的各自不含有填料。另一方面，第1传热层13为含有填料13f的树脂层。第1传热层13与第1树脂层12相比导热率高。此外，第2传热层15为含有填料15f的树脂层。第2传热层15与第2树脂层14相比导热率高。作为填料13f和15f，例如，能够使用氧化铝、氮化铝等。填料13f和15f的直径能够设为例如，0.1μ本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种导热构件，其具有：多个碳纳米管；设置于多个所述碳纳米管的一端侧的第1树脂层；层叠于所述第1树脂层的、与所述第1树脂层相比导热率高的第1传热层；设置于多个所述碳纳米管的另一端侧的第2树脂层；以及层叠于所述第2树脂层的、与所述第2树脂层相比导热率高的第2传热层，所述第1树脂层和所述第2树脂层不含有填料，构成所述第1树脂层的树脂含浸于多个所述碳纳米管的一端侧，构成所述第2树脂层的树脂含浸于多个所述碳纳米管的另一端侧。2.根据权利要求1所述的导热构件，所述第1树脂层的所述第1传热层侧是多个所述碳纳米管的一端侧没有进入，仅由树脂形成的区域，所述第2树脂层的所述第2传热层侧是多个所述碳纳米管的另一端侧没有进入，仅由树脂形成的...

【专利技术属性】
技术研发人员：长泽隆政，
申请(专利权)人：新光电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：