一种晶圆收货上架设备制造技术

本申请涉及一种晶圆收货上架设备，包括：可移动的第一机架、沿所述第一机架长度方向设置的输送线，所述输送线用于放置晶圆盒；纵向的设置于所述第一机架一侧的第二机架，所述第二机架设置有可上下活动的升降板、所述升降板的底端连接有托杆；推送机构，包括：设置于所述第二机架顶部的左右位移驱动组件、连接于所述左右位移驱动组件动力输出端的推板。通过上述设置，实现了对多组晶圆盒的集中收集转运，并转运上货到用于收货的货柜上。转运上货到用于收货的货柜上。转运上货到用于收货的货柜上。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆收货上架设备


[0001]本技术涉及上货设备
，特别涉及一种晶圆收货上架设备。

技术介绍

[0002]晶圆的生产工艺中，常会因应客户的需求使用上而有多种形式的配置，在半导体工艺设备常要求晶圆负载吞吐量的对应问题而有所不同的整体结构设计,在对应晶圆负载吞吐量的增强驱使下，在晶圆产品的入货区与出货区常需要配置高效率的晶圆传输结构的设计，晶圆盒进行暂时的收货并上货至货架上。
[0003]传统的收货上货方式由于生产空间的设置，晶圆装载区域、晶圆输出区域与其他工艺区间之间并不是在一条直线上且距离较远，不便于采用传输线，需要采用货车装载并卸货搬运至货架上，人工成本较高且收货效率较低。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本申请提供了一种晶圆收货上架设备，能够有效解决上述技术问题。
[0005]为达到上述目的，本申请的技术方案如下：
[0006]一种晶圆收货上架设备，包括：
[0007]可移动的第一机架、沿所述第一机架长度方向设置的输送线，所述输送线用于放置晶圆盒；/>[0008]纵向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆收货上架设备，其特征在于，包括：可移动的第一机架、沿所述第一机架长度方向设置的输送线，所述输送线用于放置晶圆盒；纵向的设置于所述第一机架一侧的第二机架，所述第二机架设置有可上下活动的升降板、所述升降板的底端连接有托杆；推送机构，包括：设置于所述第二机架的左右位移驱动组件、连接于所述左右位移驱动组件动力输出端的推板。2.根据权利要求1所述的一种晶圆收货上架设备，其特征在于，所述输送线的数量为三组，三组所述输送线间距式设置，所述第一机架设置有输送电机用于驱动输送线，所述托杆的数量为两组且分别设置于输送线之间。3.根据权利要求1所述的一种晶圆收货上架设备，其特征在于，所述第二机架纵向设置有滑轨，所述升降板设置有滑动连接于滑轨的滑块。4.根据权利要求1所述的一种晶圆收货上架设备，其特征在于，所述第二机架设置有升降电机，所述第二机架的上下两端分...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱成东，
申请(专利权)人：苏州华融同创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：