一种晶圆收货上架设备制造技术

本申请涉及一种晶圆收货上架设备，包括：可移动的第一机架、沿所述第一机架长度方向设置的输送线，所述输送线用于放置晶圆盒；纵向的设置于所述第一机架一侧的第二机架，所述第二机架设置有可上下活动的升降板、所述升降板的底端连接有托杆；推送机构，包括：设置于所述第二机架顶部的左右位移驱动组件、连接于所述左右位移驱动组件动力输出端的推板。通过上述设置，实现了对多组晶圆盒的集中收集转运，并转运上货到用于收货的货柜上。转运上货到用于收货的货柜上。转运上货到用于收货的货柜上。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆收货上架设备


[0001]本技术涉及上货设备
，特别涉及一种晶圆收货上架设备。

技术介绍

[0002]晶圆的生产工艺中，常会因应客户的需求使用上而有多种形式的配置，在半导体工艺设备常要求晶圆负载吞吐量的对应问题而有所不同的整体结构设计,在对应晶圆负载吞吐量的增强驱使下，在晶圆产品的入货区与出货区常需要配置高效率的晶圆传输结构的设计，晶圆盒进行暂时的收货并上货至货架上。
[0003]传统的收货上货方式由于生产空间的设置，晶圆装载区域、晶圆输出区域与其他工艺区间之间并不是在一条直线上且距离较远，不便于采用传输线，需要采用货车装载并卸货搬运至货架上，人工成本较高且收货效率较低。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本申请提供了一种晶圆收货上架设备，能够有效解决上述技术问题。
[0005]为达到上述目的，本申请的技术方案如下：
[0006]一种晶圆收货上架设备，包括：
[0007]可移动的第一机架、沿所述第一机架长度方向设置的输送线，所述输送线用于放置晶圆盒；
[0008]纵向的设置于所述第一机架一侧的第二机架，所述第二机架设置有可上下活动的升降板、所述升降板的底端连接有托杆；
[0009]推送机构，包括：设置于所述第二机架顶部的左右位移驱动组件、连接于所述左右位移驱动组件动力输出端的推板。
[0010]实现上述技术方案，将若干晶圆盒堆叠成晶圆盒组放置在输送线上，再将若干组晶圆盒沿输送线长度放置，能够将多组晶圆盒放置在设备上，再将设备移动至库房的货架，使设备右侧对准货架，再驱动升降板上下活动，使托杆上最上一层的晶圆盒运动至货架对应的格子上，最好是最上层的格子，之后启动左右位移驱动组件，通过推板将晶圆盒向右推动至货架上，复位推板后驱动托杆向下，并移动设备使托杆上的晶圆盒对应相邻水平高度的货架格上，再次启动左右位移驱动组件就能够将设备上所有的晶圆盒收货至货架上。
[0011]作为本申请的一种优选方案，所述输送线的数量为三组，三组所述输送线间距式设置，所述第一机架设置有输送电机用于驱动输送线，所述托杆的数量为两组且分别设置于输送线之间。
[0012]作为本申请的一种优选方案，所述第二机架纵向设置有滑轨，所述升降板设置有滑动连接于滑轨的滑块。
[0013]实现上述技术方案，升降板通过滑轨和滑块上下滑动连接于第二机架，减小滑动阻力。
[0014]作为本申请的一种优选方案，所述第二机架设置有升降电机，所述第二机架的上下两端分别转动式装配有第一皮带轮和第二皮带轮，所述升降电机的动力输出轴驱动连接有第一皮带轮，所述第一皮带轮和第二皮带轮之间设置有驱动皮带，所述升降板的后侧设置有适配于驱动皮带的夹持件。
[0015]实现上述技术方案，启动升降电机带动第一皮带轮转动，第一皮带轮通过驱动皮带带动第二皮带轮转动，夹持件固接于驱动皮带，驱动皮带带动夹持件和升降板上下运动，从而带动晶圆盒在第二机架上上下活动。
[0016]作为本申请的一种优选方案，所述第一皮带轮和第二皮带轮为齿轮，所述驱动皮带的内侧设置有齿条，所述推板和第二机架之间设置有吊轨，所述吊轨为T型导轨。
[0017]实现上述技术方案，通过齿轮式设置的皮带轮和驱动皮带，能够有效避免皮带轮发生打滑导致托杆掉落，增加负重能力和安全性。
[0018]作为本申请的一种优选方案，所述第二机架的左右两侧纵向均匀设置有若干承接座，所述承接座放置有放置架，所述放置架为凵字形，且以升降电机一侧为开口套接在第二机架外侧。
[0019]实现上述技术方案，承接座插接于放置架上，通过插拔承接座，通过将放置架放置在不同高度的承接座上，使放置架对应不同高度货柜格子，从而能够将晶圆盒放入不同高度的货柜中，还可以在第二机架上设置上下位移驱动组件，对放置架进行上下驱动，上下位移驱动组件和左右位移驱动组件可以采用丝杠形式的电缸。
[0020]作为本申请的一种优选方案，所述第一机架和第二机架的底部设置有承载轮。
[0021]实现上述技术方案，便于移动第一机架和第二机架，当然，还可以在第一机架和第二机架底部设置底盘以及电力驱动轮。
[0022]作为本申请的一种优选方案，所述输送线为滚筒式输送线或链板式输送线。
[0023]综上所述，本申请具有如下有益效果：
[0024]本申请通过提供一种晶圆收货上架设备，将若干晶圆盒堆叠成晶圆盒组放置在输送线上，再将若干组晶圆盒沿输送线长度放置，能够将多组晶圆盒放置在设备上，再将设备移动至库房的货架，使设备右侧对准货架，再驱动升降板上下活动，使托杆上最上一层的晶圆盒运动至货架对应的格子上，最好是最上层的格子，之后启动左右位移驱动组件，通过推板将晶圆盒向右推动至货架上，复位推板后驱动托杆向下，并移动设备使托杆上的晶圆盒对应相邻水平高度的货架格上，再次启动左右位移驱动组件就能够将设备上所有的晶圆盒收货至货架上，实现了对多组晶圆盒的集中收集转运，并转运上货到用于收货的货柜上。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1为本申请的右视图。
[0027]图2为本申请的俯视图。
[0028]图3为本申请的正视图。
[0029]图4为本申请升降部分的结构示意图。
[0030]图中数字和字母所表示的相应部件名称：
[0031]1、第一机架；2、输送线；3、第二机架；4、承接座；5、升降电机；6、输送电机；7、承载轮；8、放置架；9、吊轨；10、左右位移驱动组件；11、推板；12、托杆；13、滑轨；14、升降板；16、第一皮带轮；17、驱动皮带；18、第二皮带轮；19、夹持件；20、滑块。
具体实施方式
[0032]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0033]实施例
[0034]如图1
‑
4所示，一种晶圆收货上架设备，包括：
[0035]可移动的第一机架1、沿所述第一机架1长度方向设置的输送线2，所述输送线2用于放置晶圆盒；
[0036]纵向的设置于所述第一机架1一侧的第二机架3，所述第二机架3设置有可上下活动的升降板14、所述升降板14的底端连接有托杆12；
[0037]推送机构，包括：设置于所述第二机架3顶部的左右位移驱动组件10、连接于所述左右位移驱动组件10动力输出端的推板11。
[0038]所述输送线2的数量为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆收货上架设备，其特征在于，包括：可移动的第一机架、沿所述第一机架长度方向设置的输送线，所述输送线用于放置晶圆盒；纵向的设置于所述第一机架一侧的第二机架，所述第二机架设置有可上下活动的升降板、所述升降板的底端连接有托杆；推送机构，包括：设置于所述第二机架的左右位移驱动组件、连接于所述左右位移驱动组件动力输出端的推板。2.根据权利要求1所述的一种晶圆收货上架设备，其特征在于，所述输送线的数量为三组，三组所述输送线间距式设置，所述第一机架设置有输送电机用于驱动输送线，所述托杆的数量为两组且分别设置于输送线之间。3.根据权利要求1所述的一种晶圆收货上架设备，其特征在于，所述第二机架纵向设置有滑轨，所述升降板设置有滑动连接于滑轨的滑块。4.根据权利要求1所述的一种晶圆收货上架设备，其特征在于，所述第二机架设置有升降电机，所述第二机架的上下两端分...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱成东，
申请(专利权)人：苏州华融同创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：