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本申请涉及一种晶圆收货上架设备，包括：可移动的第一机架、沿所述第一机架长度方向设置的输送线，所述输送线用于放置晶圆盒；纵向的设置于所述第一机架一侧的第二机架，所述第二机架设置有可上下活动的升降板、所述升降板的底端连接有托杆；推送机构，包括：...
该专利属于苏州华融同创科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州华融同创科技有限公司授权不得商用。

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