【技术实现步骤摘要】
推料机构、上下料装置和半导体处理设备
[0001]本技术涉及半导体产品处理
,尤其是涉及一种推料机构、上下料装置和半导体处理设备。
技术介绍
[0002]随着半导体封装行业的快速发展,半导体的需求量不断增加。
[0003]目前,针对半导体封装产品的检测、激光刻印、水洗等工艺的处理,通常是采用人工将产品在料盒和设备本体上的检测装置之间进行转移,费时费力。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种推料机构、上下料装置和半导体处理设备,相对于现有技术中人工进行产品的转移而言,更为省时省力。
[0005]第一方面,本技术提供一种推料机构,包括驱动组件和推料组件,所述推料组件包括滑动座和推动件,所述滑动座设置于所述驱动组件,所述推动件与所述滑动座连接,且所述推动件的一端沿横向朝外伸出,所述驱动组件用于驱动所述滑动座横向移动,以带动所述推动件移动。
[0006]在可选的实施方式中,所述推动件朝外伸出的一端的端面设置有纵向延伸的定位长槽。
[0007]在可选的实施方式中,所述滑动 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种推料机构,用于设置于设备本体,其特征在于,包括驱动组件和推料组件,所述推料组件包括滑动座和推动件,所述滑动座设置于所述驱动组件,所述推动件与所述滑动座连接,且所述推动件的一端沿横向朝外伸出,所述驱动组件用于驱动所述滑动座横向移动,以带动所述推动件移动。2.根据权利要求1所述的推料机构,其特征在于,所述推动件朝外伸出的一端的端面设置有纵向延伸的定位长槽。3.根据权利要求1所述的推料机构,其特征在于,所述滑动座和所述推动件之间设置有拉紧弹性件,所述拉紧弹性件用于使所述推动件具有横向朝外移动的运动趋势。4.根据权利要求3所述的推料机构,其特征在于,所述滑动座设置有固定部,所述拉紧弹性件的一端连接于所述固定部,另一端连接于所述推动件。5.根据权利要求4所述的推料机构,其特征在于,所述拉紧弹性件的另...
【专利技术属性】
技术研发人员:王为新,兰振,郑军,
申请(专利权)人:聚时科技上海有限公司,
类型:新型
国别省市:
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