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本实用新型提供了一种推料机构、上下料装置和半导体处理设备，涉及半导体产品处理技术领域，通过在设备本体上设置推料机构，即，将滑动座设置于驱动组件，推动件与滑动座连接，且推动件的一端沿横向朝外伸出，再通过驱动组件驱动滑动座横向移动，从而带动推动...
该专利属于聚时科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过聚时科技（上海）有限公司授权不得商用。

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