本发明专利技术公开了一种蒸镀腔体，包括底板、顶板以及设于底板与顶板之间的若干侧板，底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔，侧板开有基板传送口以及维修口，至少一侧板为呈弯折结构的弯折侧板，弯折侧板包括与顶板密封连接的上侧板，沿上侧板向蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板，沿中侧板向下延伸形成下侧板，下侧板与所述底板密封连接，蒸镀腔体包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，基板传送口位于所述上腔体上，维修口自中腔体开设至下腔体。本发明专利技术蒸镀腔体强度高，成本低并且轻便；另，本发明专利技术还提供了一种具有该蒸镀腔体的蒸镀装置。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及机械领域，特别涉及一种蒸镀腔体及具有该蒸镀腔体的蒸镀装置。
技术介绍
随着经济的不断发展、科技的不断进步和世界能源的日益减少，人们在生产中越 来越重视能源的节约及利用效率，使得人与自然和谐发展以满足中国新型的工业化道路要 求。例如，在数码产品的显示产业中，企业为了节约能源、降低生产成本，都加大投资 研发力度，不断地追求节能的新产品。其中，OLED^rganicLight-emitting Diode，有机发 光二极管)显示屏就是数码产品中的一种新产品，其具备轻薄、省电等特性，因此在数码产 品的显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对0LED的应用都聚 焦在平板显示器上，因为0LED在目前所有显示技术中，因为可制作大尺寸、高亮度、高分辨 率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度；但0LED显示屏(有机发光显示屏)与 传统的液晶显示屏并不同，其无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基片，当有电 流通过时，这些有机材料就会发光，而且0LED显示屏可以做得更轻更薄，可视角度更大， 并且能够显著节省电能；相应地，制造0LED显示屏的所有设备必须要保证0LED显示屏的 精度要求。0LED显示屏是基于有机材料的一种电流型半导体发光器件。其典型结构是在 IT0(Indium-Iin Oxide，氧化铟锡)玻璃上蒸镀一层几十纳米厚的有机发光材料作发光层， 发光层上方设置(如蒸镀)一层低功函数的金属电极。当电极上加有电压时，发光层就产 生光辐射而发光。而具体涉及到蒸镀技术的腔体，现有已知的用于蒸镀的腔体容器通常为长方体也 包括正方体的结构。该腔体容器为了提高其刚性和耐压强度，需要使容器壁具有一定厚度， 从而造成重量以及成本的增加。针对现时状况，本专利技术提供一种强度高，成本低并且轻便的蒸镀腔体。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种强度高，成本低并且轻便的蒸镀腔体。本专利技术的另一目的是提供一种具有蒸镀腔体的蒸镀装置，所述蒸镀腔体强度高， 成本低并且轻便。为了实现上述目的，本专利技术提供一种蒸镀腔体，包括底板、顶板以及设于所述底板 与所述顶板之间的若干侧板，所述底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀 腔，所述侧板开有基板传送口以及维修口，至少一所述侧板为呈弯折结构的弯折侧板，所述 弯折侧板包括与所述顶板密封连接的上侧板，沿所述上侧板向所述蒸镀腔内斜向延伸形成 中侧板，沿所述中侧板向下延伸形成下侧板，所述下侧板与所述底板密封连接，所述蒸镀腔 体包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及 下腔体，所述基板传送口位于所述上腔体上，所述维修口自中腔体开设至下腔体。所述侧板包括前侧板、后侧板、左侧板以及右侧板，所述基板传送口设于所述前侧 板或后侧板对应所述上腔体处上，所述维修口设于所述左侧板或右侧板上对应所述中腔体 至所述下腔体处。对应所述维修口处设有遮挡门。该遮挡门用于遮挡该维修口。所述下侧板设有工艺开口。该工艺开口为腔体外部的用于蒸镀的材料送入腔体内 部的入口。若干所述侧板与所述底板以及所述顶板焊接连接。本专利技术还提供一种蒸镀装置，包 括镀膜基板、蒸发源、供应蒸发源材料装置以及蒸 镀腔体，所述蒸镀腔体包括底板、顶板以及设于所述底板与所述顶板之间的若干侧板，所述 底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔，所述侧板开有基板传送口以及 维修口，至少一所述侧板为呈弯折结构的弯折侧板，所述弯折侧板包括与所述顶板密封连 接的上侧板，沿所述上侧板向所述蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板，沿所述中侧板向下延伸 形成下侧板，所述下侧板与所述底板密封连接，所述蒸镀腔体包括分别与上侧板、中侧板以 及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，所述基板传送口位于所 述上腔体上，所述维修口自中腔体开设至下腔体，所述镀膜基板置于所述上腔体内，所述蒸 发源置于所述中腔体内，所述供应蒸发源材料装置置于所述下腔体内。与现有技术相比，本专利技术蒸镀腔体至少有一弯折侧板，弯折侧板的中侧板是沿上 侧板向所述蒸镀腔内斜向延伸形成，起到加强筋作用，大大提高了腔体的受压能力；所述蒸 镀腔体包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体 以及下腔体，使腔体体积减少，节省用料。通过以下的描述并结合附图，本专利技术将变得更加清晰，这些附图用于解释本专利技术 的实施例。附图说明图1为本专利技术蒸镀腔体的的结构立体图。图2为本专利技术蒸镀腔体的立体分解图。具体实施例方式本专利技术提供一种蒸镀装置，包括镀膜基板、蒸发源、供应蒸发源材料装置以及蒸镀 腔体100。参考图1以及图2，蒸镀腔体100包括底板10、顶板20、设于所述底板10与所述顶 板20之间的前侧板30、后侧板40、左侧板50以及右侧板60。所述底板10、顶板20以及若干侧板互相焊接连接形成中空的蒸镀腔。较佳者，左侧板50为呈弯折结构的弯折侧板。所述左侧板50包括上侧板51、下 侧板53以及位于所述上侧板51与所述下侧板53之间的中侧板52。所述上侧板51、下侧 板53以及中侧板52互相一体连接。所述上侧板51与所述顶板20密封焊接，所述中侧板 52自所述上侧板51向内斜向延伸形成，所述下侧板53自所述中侧板52向下延伸并与所 述底板10密封焊接。本实施例中，上、下侧板均与顶板20和底板10垂直。对应所述上侧 板51、中侧板52以及下侧板53分别形成体积依次减少的上腔体110、中腔体120以及下腔体130。所述前侧板30以及后侧板40对应上腔体110处各设有一基板传送口 35，用于传 送镀膜基板。所述右侧板60对应中腔体120以及下腔体130处上设有两维修口 61，用于对 腔体内部零件进行安装、检修、清洁、维护。右侧板对应所述维修口 61处设有遮挡门62，用 于遮挡该维修口 61。较佳者，所述下侧板53设有工艺开口 531。该工艺开口 531为腔体外部的用于蒸 镀的材料送入腔体内部的入口。所述镀膜基板置于所述上腔体110内，所述蒸发源置于所述中腔体120内，所述供 应蒸发源材料装置及其它辅助装置置于所述下腔体130内。使用本专利技术蒸镀装置时，从基板传送口 35放入镀膜基板，从工艺开口 531放入蒸 镀材料，蒸发源加热蒸发源材料后，使蒸发源材料蒸发，从而镀至蒸镀膜基板上。当发生故 障需要检修时，打开遮挡门62，从而检修维修口 61内的各装置部件，修为完毕后关上遮挡 门62即可。本专利技术蒸镀腔体100包括底板10、顶板20、设于所述底板10与所述顶板20之间的 前侧板30、后侧板40、左侧板50以及右侧板60。左侧板50为弯折侧板，左侧板50包括上 侧板51、中侧板52及下侧板53，中侧板52是沿上侧板向所述蒸镀腔70内斜向延伸形成，因 而呈梯形结构，起到加强筋作用，大大提高了腔体的受压能力；所述蒸镀腔体100包括分别 与上侧板51、中侧板52以及下侧板53相对应的且体积依次减少的上腔体110、中腔体120 以及下腔体130，使腔体体积减少，节省用料。需要注意的是，所述底板10、顶板20以及若干侧板可通过焊接方式密封连接，还 可通过其它方式如密封件封闭连接；该侧板数量不仅局限于4个，还可为其它合适的数量； 该弯折侧板可为左侧板50，还可本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种蒸镀腔体，包括底板、顶板以及设于所述底板与所述顶板之间的若干侧板，所述底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔，所述侧板开有基板传送口以及维修口，其特征在于：至少一所述侧板为呈弯折结构的弯折侧板，所述弯折侧板包括与所述顶板密封连接的上侧板，沿所述上侧板向所述蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板，沿所述中侧板向下延伸形成下侧板，所述下侧板与所述底板密封连接，所述蒸镀腔体包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，所述基板传送口位于所述上腔体上，所述维修口自中腔体开设至下腔体。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨明生，叶宗锋，郭远伦，刘惠森，范继良，王曼媛，王勇，张华，
申请(专利权)人：东莞宏威数码机械有限公司，
类型：发明
国别省市：44[中国|广东]
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