蒸镀腔体及具有该蒸镀腔体的蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种蒸镀腔体，包括底板、顶板以及设于底板与顶板之间的若干侧板，底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔，侧板开有基板传送口以及维修口，至少一侧板为呈弯折结构的弯折侧板，弯折侧板包括与顶板密封连接的上侧板，沿上侧板向蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板，沿中侧板向下延伸形成下侧板，下侧板与所述底板密封连接，蒸镀腔体包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，基板传送口位于所述上腔体上，维修口自中腔体开设至下腔体。本发明专利技术蒸镀腔体强度高，成本低并且轻便；另，本发明专利技术还提供了一种具有该蒸镀腔体的蒸镀装置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及机械领域，特别涉及一种蒸镀腔体及具有该蒸镀腔体的蒸镀装置。
技术介绍
随着经济的不断发展、科技的不断进步和世界能源的日益减少，人们在生产中越 来越重视能源的节约及利用效率，使得人与自然和谐发展以满足中国新型的工业化道路要 求。例如，在数码产品的显示产业中，企业为了节约能源、降低生产成本，都加大投资 研发力度，不断地追求节能的新产品。其中，OLED^rganicLight-emitting Diode，有机发 光二极管)显示屏就是数码产品中的一种新产品，其具备轻薄、省电等特性，因此在数码产 品的显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对0LED的应用都聚 焦在平板显示器上，因为0LED在目前所有显示技术中，因为可制作大尺寸、高亮度、高分辨 率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度；但0LED显示屏(有机发光显示屏)与 传统的液晶显示屏并不同，其无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基片，当有电 流通过时，这些有机材料就会发光，而且0LED显示屏可以做得更轻更薄，可视角度更大， 并且能够显著节省电能；相应地，制造0LED显示屏的所有设备必须要保证本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀腔体，包括底板、顶板以及设于所述底板与所述顶板之间的若干侧板，所述底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔，所述侧板开有基板传送口以及维修口，其特征在于：至少一所述侧板为呈弯折结构的弯折侧板，所述弯折侧板包括与所述顶板密封连接的上侧板，沿所述上侧板向所述蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板，沿所述中侧板向下延伸形成下侧板，所述下侧板与所述底板密封连接，所述蒸镀腔体包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，所述基板传送口位于所述上腔体上，所述维修口自中腔体开设至下腔体。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨明生，叶宗锋，郭远伦，刘惠森，范继良，王曼媛，王勇，张华，
申请(专利权)人：东莞宏威数码机械有限公司，
类型：发明
国别省市：44[中国|广东]