氢气提纯系统泄漏预警装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种氢气提纯系统泄漏预警装置，涉及多晶硅生产技术领域，主要目的是在吸附塔管道泄漏量较小时，及时发现泄漏现象

【技术实现步骤摘要】
氢气提纯系统泄漏预警装置


[0001]本技术涉及多晶硅生产
，尤其涉及一种氢气提纯系统泄漏预警装置
。

技术介绍

[0002]在多晶硅生产中，还原炉沉积反应产生的尾气需要回收吸附塔进一步提纯出氢气，工艺过程中利用循环水对设备加热或者冷却来达到工艺所需要的高温或者低温条件，反复加热或者冷却，温差相差较大，极易造成水管泄漏，在节能的同时也带来了一些不可控的因素，比如水泄漏至吸附塔内，造成吸附塔出口产品氢气纯度下降，水分是带来不利影响的污染物，会导致产品质量差，管道腐蚀，低温结冰，过早磨损和设备故障，以及氯硅烷与水接触反应生成白色泡沫状物质
。
[0003]而且，吸附塔管道容易腐蚀泄漏，泄漏量较小时发现漏点困难，在泄漏量较大时才能发现，对设备已经造成了无法挽回的影响，活性炭及吸附塔重新制作购买周期长，严重影响产品的生产效率，泄漏后严重影响氢气的产品质量，严重影响最终多晶硅质量，泄漏后的水容易与吸附剂中的氯硅烷反应产生白色泡沫状物质并放出大量的热，极其容易造成爆炸事故
。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术提供一种氢气提纯系统泄漏预警装置，主要目的是在吸附塔管道泄漏量较小时，及时发现泄漏现象
。
[0005]为达到上述目的，本技术主要提供如下技术方案：
[0006]本技术提供了一种尾气提纯泄漏预警装置，该装置包括：吸附塔和预警部；
[0007]所述吸附塔包括相互隔开的第一空间和第二空间，所述第一空间内填充吸附剂，所述第二空间流过换热介质，所述第一空间的一端连接于进气管，所述第一空间的另一端连接于氢气总管；
[0008]所述预警部包括露点仪
、
氮气管和回收管，所述露点仪设有进气口和出气口，所述进气口分别连接于所述氢气总管和所述氮气管，所述回收管的相对端分别连接于所述出气口和再生气缓冲罐，所述回收管的中段连接于放空管
。
[0009]本技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现
。
[0010]可选的，所述吸附塔包括依次并联的第一吸附塔
、
第二吸附塔和第三吸附塔
。
[0011]可选的，还包括反吹部，所述反吹部包括反吹管和第一加热器，所述反吹管包括第一反吹管和第二反吹管，所述第一反吹管的相对端分别连接于所述氢气总管和所述第一加热器的进口，所述第二反吹管的一端连接于所述第一加热器的出口，另一端分别于所述第一吸附塔的第一空间另一端
、
所述第二吸附塔的第一空间另一端和所述第三吸附塔的第一空间另一端
。
[0012]可选的，还包括冷却管，所述冷却管的一端连接于所述氢气总管，另一端分别连接
于所述第一吸附塔的第一空间另一端
、
所述第二吸附塔的第一空间另一端和所述第三吸附塔的第一空间另一端
。
[0013]可选的，包括取样管，所述取样管连接于所述氢气总管
。
[0014]可选的，所述第一空间的一端依次连接于第一冷凝器和所述再生气缓冲罐
。
[0015]借由上述技术方案，本技术至少具有下列优点：
[0016]在本装置运行的过程中，第二空间内的换热介质加热第一空间内的吸附剂，同时氢气中微量的氯硅烷和氯化氢被吸附剂吸附，洁净的氢气进入氢气总管
。
[0017]启动露点仪时，先开启氮气管阀门，氮气通过进气口进入露点仪，通过放空管排出室外，从而置换露点仪中的空气；然后，关闭氢气总管阀门，关闭氮气管阀门，氢气置换露点仪中氮气后，打开回收管阀门，关闭放空管阀门
。
[0018]如果吸附塔的不同空间之间存在较小泄漏点，第二空间中的少量介质水分随氢气进入氢气总管，然后小股氢气进入露点仪，通过露点仪预警吸附塔的泄漏量，同时，氢气再进入再生气缓冲罐和压缩机，避免氢气外排，利于氢气的回收利用
。
[0019]使用本装置，在吸附塔去除氢气杂质的同时，及时发现吸附塔的泄漏现象，同时避免露点检测后氢气外排，减少氢气浪费
。
附图说明
[0020]图1为本技术实施例提供的一种尾气提纯泄漏预警装置的结构示意图；
[0021]图2为图1中
A
部分的放大图
。
[0022]说明书附图中的附图标记包括：吸附塔
1、
进气管
2、
氢气总管
3、
露点仪
4、
氮气管
5、
回收管
6、
再生气缓冲罐
7、
放空管
8、
第一吸附塔
101、
第二吸附塔
102、
第三吸附塔
103、
第一加热器
9、
第一反吹管
10、
第二反吹管
11、
冷却管
12、
取样管
13、
第一冷凝器
14。
具体实施方式
[0023]为更进一步阐述本技术为达成预定技术目的所采取的技术手段及功效
,
以下结合附图及较佳实施例，对依据本技术申请的具体实施方式
、
结构
、
特征及其功效，详细说明如后
。
在下述说明中，不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例
。
此外，一或多个实施例中的特定特征
、
结构
、
或特点可由任何合适形式组合
。
[0024]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明
。
[0025]如图1和图2所示，本技术的一个实施例提供的一种尾气提纯泄漏预警装置，其包括：吸附塔1和预警部；
[0026]所述吸附塔1包括相互隔开的第一空间和第二空间，所述第一空间内填充吸附剂，所述第二空间流过换热介质，所述第一空间的一端连接于进气管2，所述第一空间的另一端连接于氢气总管3；
[0027]所述预警部包括露点仪
4、
氮气管5和回收管6，所述露点仪4设有进气口和出气口，所述进气口分别连接于所述氢气总管3和所述氮气管5，所述回收管6的相对端分别连接于所述出气口和再生气缓冲罐7，所述回收管6的中段连接于放空管
8。
[0028]一种尾气提纯泄漏预警装置的工作过程如下
:
[0029]在本装置运行的过程中，第二空间内的换热介质加热第一空间内的吸附剂，同时
氢气中微量的氯硅烷和氯化氢被吸附剂吸附，洁净的氢气进入氢气总管
3。
[0030]启动露点仪4时，先开启氮气管5阀门，氮气通过进气口进入露点仪4，通过放空管8排出室外，从而置换露点仪4中的空气；然后，关闭氢气总管3阀门，关闭氮气管5阀门，氢气置换露点仪4中氮气后，打开回收管6阀门，关闭放本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种氢气提纯系统泄漏预警装置，其特征在于，包括：吸附塔，所述吸附塔包括相互隔开的第一空间和第二空间，所述第一空间内填充吸附剂，所述第二空间流过换热介质，所述第一空间的一端连接于进气管，所述第一空间的另一端连接于氢气总管；预警部，所述预警部包括露点仪
、
氮气管和回收管，所述露点仪设有进气口和出气口，所述进气口分别连接于所述氢气总管和所述氮气管，所述回收管的相对端分别连接于所述出气口和再生气缓冲罐，所述回收管的中段连接于放空管
。2.
根据权利要求1所述的氢气提纯系统泄漏预警装置，其特征在于，所述吸附塔包括依次并联的第一吸附塔
、
第二吸附塔和第三吸附塔
。3.
根据权利要求2所述的氢气提纯系统泄漏预警装置，其特征在于，还包括反吹部，所述反吹部包括反吹管和第一加热器，所述反吹管包括第一反吹管和第二反吹管，所述第一反...

【专利技术属性】
技术研发人员：童翔，杜建文，赵江红，
申请(专利权)人：新疆其亚硅业有限公司，
类型：新型
国别省市：