【技术实现步骤摘要】
一种石英点火腔的生产设备及其加工方法
[0001]本专利技术属于石英点制品加工
,尤其涉及一种石英点火腔的生产设备及其加工方法
。
技术介绍
[0002]在集成电路的外延工艺过程中,需要向上下拼接的石英腔体中通入易燃气体,如氢气
、
甲烷等
。
为了避免由此存在的安全隐患,所使用的石英腔体需要具有较好的密封性,耐压性,透光性,隔热性等
。
现有对石英腔体的焊接都是通过人工焊接的方法实现的,但由于人工焊接的不稳定性,容易产生焊接表面不均匀
、
石英腔体变形,从而影响其透光性
。
并且,在人工焊接的过程中,会由于石英腔体表面存在温差,而导致石英腔体破裂,且传统的焊接方式加工步骤繁多,一次合格率和产能低,
R
角成型采用补料研磨工艺,费料费时,也影响外观
。
公开号为
CN115351464A
的专利,其公开了焊接石英腔体的方法
。
焊接系统包括底座
、
加热装置
、
固定装置
、
支撑转动装置和焊接装置;焊接石英腔体的方法包括如下步骤:使用焊接系统修复石英腔体的焊缝,
。
本专利技术的焊接石英腔体的方法可通过电机驱动和机械臂的操作,实现自动焊接,可替代人工焊接,提高了焊接的安全性;增加了石英腔体的焊接范围以及石英腔体表面的均匀度;在较高的温度下进行,进而达到较好的焊接效果
。
[0003 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种石英点火腔的生产设备,其特征在于,其中设备包括:支座
(10)
,其上固定设有螺纹孔
(11)
,所述螺纹孔
(11)
通过螺栓将支座
(10)
固定;角度调整组件
(20)
,设置在所述支座
(10)
的上端,用于角度的调整,以实现石英点火腔底部的
R
角吹塑成型;移动组件
(30)
,固定设置在所述角度调整组件
(20)
的上端,用于提供滑动平台;转动组件
(40)
,具有两个,分别设置在所述移动组件
(30)
的左右两端,用于带动石英腔移动,方便对石英腔底部进行吹塑焊接
。2.
根据权利要求1所述的一种石英点火腔的生产设备,其特征在于,所述移动组件
(30)
包括:水平固定块
(31)
,固定设置在所述角度调整组件
(20)
的上端,所述水平固定块
(31)
上开设有滑槽
(32)
,所述水平固定块
(31)
的左端固定设有焊接板
(33)
,所述焊接板
(33)
上固定设有转动组件
(40)
;所述滑槽
(32)
中滑动设有滑块
(34)
,所述滑块
(34)
的中部螺纹连接螺纹杆
(35)
,所述螺纹杆
(35)
的左端转动设置在所述焊接板
(33)
上,且螺纹杆
(35)
的右端设有手柄
(36)
,用于手动驱动所述螺纹杆
(35)
转动,并且所述滑块
(34)
上端固定设有另一所述转动组件
(40)。3.
根据权利要求2所述的一种石英点火腔的生产设备,其特征在于,所述转动组件
(40)
包括:弧块
(41)
,其中部呈内凹的半圆筒状,所述弧块
(41)
的中部固定开设有凹槽
(42)
,所述凹槽
(42)
的竖直端壁之间均匀设有转轴
(43)
,所述转轴
(43)
中转动设有滚轮
(44)
,所述滚轮
(44)
用于圆柱石英腔体的托举以及实现石英腔的周转
。4.
根据权利要求3所述的一种石英点火腔的生产设备,其特征在于,所述弧块
(41)
的右端面处固定设有隔板
(45)
,所述隔板
(45)
与所述弧块
(41)
之间形成一封闭的半圆槽,用于接触带动石英腔体一端面实现石英腔体的水平伸出
。5.
根据权利要求2所述的一种石英点火腔的生产设备,其特征在于,所述角度调整组件
(20)
包括:固定板
(21)
,固定连接在所述支座
(10)
的上端面处,所述固定板
(21)
的内部固定设有转动腔
(22)
...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙伟祥,杨新,杨军,郑明山,邓云峰,
申请(专利权)人:浙江富乐德石英科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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