一种水切割机及其控制方法技术

公开了一种水切割机及其控制方法

【技术实现步骤摘要】
一种水切割机及其控制方法


[0001]本公开涉及水切割机领域，且更为具体地，涉及一种水切割机及其控制方法
。

技术介绍

[0002]在半导体行业中，石英材料具有优异的物理和化学性质，被广泛应用于制造半导体芯片的过程中
。
石英晶圆是半导体制造过程中常用的基础材料之一
。
水切割机可以通过高压水流和磨料的喷射，将石英晶圆切割成所需的尺寸和形状，以适应不同的工艺需求
。
但是，在石英材料的水切割过程中，可能会出现一些缺陷
、
裂纹或不良切割边缘，这会影响到后续的加工和使用
。
因此，对切割后的石英材料进行缺陷检测和质量控制非常重要
。
[0003]目前，在进行石英材料的水切割过程中，通常无法实时监测切割过程中的材料状态和切割质量
。
如果出现切割偏差
、
裂纹或其他缺陷，往往需要等到切割完成后才能发现，无法及时调整和纠正
。
也就是说，传统的水切割方案主要关注切割工艺本身，对于切割后材料的缺陷检测和质量控制较为有限
。
通常需要依靠人工目视检查或其他非自动化的方法来进行缺陷检测，效率低下且容易出现漏检或误判的情况
。
[0004]因此，期望一种优化的水切割机的控制方案
。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本公开提出了一种水切割机及其控制方法，其可以在石英材料的水切割过程中实现切割后石英材料质量的自动化检测，并及时反馈以做出相应的处理，从而避免人工目测带来的漏检或误判的情况，提高石英材料的水切割效率和质量
。
[0006]根据本公开的一方面，提供了一种水切割机的控制方法，其包括：通过水切割机的摄像头采集水切割后石英材料的截面图像；对所述水切割后石英材料的截面图像进行图像特征分析以得到水切割后石英材料截面特征；以及基于所述水切割后石英材料截面特征，确定切割后石英材料是否存在表面缺陷
。
[0007]根据本公开的另一方面，提供了一种水切割机，其中，所述水切割机以如前述的水切割机的控制方法进行运转
。
[0008]根据本公开的实施例，其首先通过水切割机的摄像头采集水切割后石英材料的截面图像，接着，对所述水切割后石英材料的截面图像进行图像特征分析以得到水切割后石英材料截面特征，然后，基于所述水切割后石英材料截面特征，确定切割后石英材料是否存在表面缺陷
。
这样，可以在石英材料的水切割过程中实现切割后石英材料质量的自动化检测，并及时反馈以做出相应的处理，从而避免人工目测带来的漏检或误判的情况，提高石英材料的水切割效率和质量
。
[0009]与现有技术相比，本申请提供了一种水切割机及其控制方法，其可以在石英材料的水切割过程中实现切割后石英材料质量的自动化检测，并及时反馈以做出相应的处理，从而避免人工目测带来的漏检或误判的情况，提高石英材料的水切割效率和质量
。
[0010]根据下面参考附图对示例性实施例的详细说明，本公开的其它特征及方面将变得清楚
。
附图说明
[0011]包含在说明书中并且构成说明书的一部分的附图与说明书一起示出了本公开的示例性实施例
、
特征和方面，并且用于解释本公开的原理
。
[0012]图1示出根据本公开的实施例的水切割机的控制方法的流程图
。
[0013]图2示出根据本公开的实施例的水切割机的控制方法的架构示意图
。
[0014]图3示出根据本公开的实施例的水切割机的控制方法的子步骤
S120
的流程图
。
[0015]图4示出根据本公开的实施例的水切割机的控制系统的框图
。
[0016]图5示出根据本公开的实施例的水切割机的控制方法的应用场景图
。
具体实施方式
[0017]下面将结合附图对本公开实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显而易见地，所描述的实施例仅仅是本公开的部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本公开实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，也属于本公开保护的范围
。
[0018]如本公开和权利要求书中所示，除非上下文明确提示例外情形，“一”、“一个”、“一种”和
/
或“该”等词并非特指单数，也可包括复数
。
一般说来，术语“包括”与“包含”仅提示包括已明确标识的步骤和元素，而这些步骤和元素不构成一个排它性的罗列，方法或者设备也可能包含其他的步骤或元素
。
[0019]以下将参考附图详细说明本公开的各种示例性实施例
、
特征和方面
。
附图中相同的附图标记表示功能相同或相似的元件
。
尽管在附图中示出了实施例的各种方面，但是除非特别指出，不必按比例绘制附图
。
[0020]另外，为了更好的说明本公开，在下文的具体实施方式中给出了众多的具体细节
。
本领域技术人员应当理解，没有某些具体细节，本公开同样可以实施
。
在一些实例中，对于本领域技术人员熟知的方法
、
手段
、
元件和电路未作详细描述，以便于凸显本公开的主旨
。
[0021]实施例1：本申请的技术构思为在进行石英材料的水切割过程中，通过水切割机的摄像头采集水切割后石英材料的截面图像，并在后端引入机器视觉技术来进行所述水切割后石英材料的截面图像的处理和分析，以此来判断切割后的石英材料表面是否存在缺陷
、
裂纹或不良切割边缘，通过这样的方式，能够在石英材料的水切割过程中实现切割后石英材料质量的自动化检测，并及时反馈以做出相应的处理，从而避免人工目测带来的漏检或误判的情况，提高石英材料的水切割效率和质量
。
[0022]相应地，图1示出根据本公开的实施例的水切割机的控制方法的流程图
。
图2示出根据本公开的实施例的水切割机的控制方法的架构示意图
。
如图1和图2所示，根据本公开实施例的水切割机的控制方法，包括步骤：
S110
，通过水切割机的摄像头采集水切割后石英材料的截面图像；
S120
，对所述水切割后石英材料的截面图像进行图像特征分析以得到水切割后石英材料截面特征；以及，
S130
，基于所述水切割后石英材料截面特征，确定切割后
石英材料是否存在表面缺陷
。
[0023]具体地，在本公开的技术方案中，首先，获取由水切割机的摄像头采集的水切割后石英材料的截面图像
。
应可以理解，在水切割过程中，由于水流和磨料的作用，切割后的石英材料表面可能会出现一些不均匀性和毛刺，并且所述截面图像本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种水切割机的控制方法，其特征在于，包括：通过水切割机的摄像头采集水切割后石英材料的截面图像；对所述水切割后石英材料的截面图像进行图像特征分析以得到水切割后石英材料截面特征；以及基于所述水切割后石英材料截面特征，确定切割后石英材料是否存在表面缺陷；其中，所述对所述水切割后石英材料的截面图像进行图像特征分析以得到水切割后石英材料截面特征，包括：对所述水切割后石英材料的截面图像进行图像增强以得到增强石英材料切割后截面图像；通过基于深度神经网络模型的截面纹理特征提取器对所述增强石英材料切割后截面图像进行特征提取以得到切割后石英材料截面纹理特征图；以及对所述切割后石英材料截面纹理特征图进行空间特征强化以得到空间强化切割后石英材料截面纹理特征图作为所述水切割后石英材料截面特征
。2.
根据权利要求1所述的水切割机的控制方法，其特征在于，对所述水切割后石英材料的截面图像进行图像增强以得到增强石英材料切割后截面图像，包括：将所述水切割后石英材料的截面图像进行基于双边滤波的图像增强以得到所述增强石英材料切割后截面图像
。3.
根据权利要求2所述的水切割机的控制方法，其特征在于，所述深度神经网络模型为第一卷积神经网络模型
。4.
根据权利要求3所述的水切割机的控制方法，其特征在于，对所述切割后石英材料截面纹理特征图进行空间特征强化以得到空间强化切割后石英材料截面纹理特征图作为所述水切割后石英材料截面特征，包括：将所述切割后石英材料截面纹理特征图通过空间注意力模块以得到所述空间强化切割后石英材料截面纹理特征图
。5.
根据权利要求4所述的水切割机的控制方法，其特征在于，基于所述水切割后石英材料截面特征，确定切割后石英材料是否存在表面缺陷，包括：将所述空间强化切割后石英材料截面纹理特征图通过分类器以得到分类结果，所述分类结果用于表示切割后石英材料是否存在表面缺陷
。6.
根据权利要求5所述的水切割机的控制方法，其特征在于，将所述空间强化切割后石英材料截面纹理特征图通过分类器以得到分类结果，所述分类结果用于表示切割后石英材料是否存在表面缺陷，包括：将所述空间强化切割后石英材料截面纹理特征图按照行向量或者列向量展开为空间强化切割后石英材料截面纹理特征向量；使用所述分类器的全连接层对所述空间强化切割后石英材料截面纹理特征向量进行全连接编码以得到编码分类特征向量；以及将所述编码分类特征向量输入所述分类器的
Softmax
分类函数以得到所述分类结果
。7.
根据权利要求6所述的水切割机的控制方法，其特征在于，还包括训练步骤：用于对所述基于深度神经网络模型的截面纹理特征提取器
、
所述空间注意力模块和所述分类器进行训练
。
8.
根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹全文，罗乐，鲍金民，
申请(专利权)人：杭州泓芯微半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：