阶梯式多槽自动逐级酸洗池制造技术

本申请公开了一种阶梯式多槽自动逐级酸洗池，包括底座、酸洗组件、排水机构、多个接近传感器、多个浊度传感器、供液机构、限位组件、送料机构、多个吊篮、输送线和控制器，其中，底座呈阶梯状；酸洗组件包括一级酸洗池、二级酸洗池和三级酸洗池，其中，一级酸洗池、二级酸洗池和三级酸洗池自上向下阶梯式排列在底座上，一级酸洗池、二级酸洗池和三级酸洗池相同的一侧分别连通有一个排水机构。由此，能够智能化逐级对石英件进行清洗，形成流水线作业的酸洗形式，不仅降低了人工成本和工人劳动强度，提升酸洗效率，同时还降低了不必要的生产成本，且还能够控制多个酸洗池中的酸洗液交替使用，大幅降低了酸洗成本。大幅降低了酸洗成本。大幅降低了酸洗成本。

【技术实现步骤摘要】
阶梯式多槽自动逐级酸洗池


[0001]本申请涉及石英件酸洗的
，尤其涉及一种阶梯式多槽自动逐级酸洗池。

技术介绍

[0002]随着科技的快速进步，对半导体零部件的需求量也日益增加，因此，半导体零部件市场规模也跟着快速增长，而石英件作为半导体重要的材料之一，被广泛应用于半导体制造、光电子、通信等领域 。
[0003]在石英件（例如、石英管、石英舟等）生产的过程中，在多个阶段程序（例如，火加工成品阶段、喷砂阶段、最终品清洗阶段等等）中均需要对石英件进行酸洗，以去除石英件表面的杂质，保证石英件成品时的质量。
[0004]然而，现有的对石英件酸洗所采取的方式大多数是通过人工将石英件轮流依次放入到不同的酸洗池内进行多次浸泡冲洗，来去除石英件表面的杂质，此种方式人工成本高，人工劳动强度大，无法形成流水线作业，导致酸洗效率低，同时由于需要对石英件来回更换酸洗池清洗，因此需要人工来回搬运，搬运过程中易造成石英件破损，增加不必要的生产成本，且多个酸洗池之间互不连通，当酸洗池污浊到达一定程度时，便进行排放，导致酸洗成本增加。

技术实现思路

[0005]本申请旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。
[0006]为此，本申请的一个目的在于提出一种阶梯式多槽自动逐级酸洗池，能够智能化逐级对石英件进行清洗，形成流水线作业的酸洗形式，不仅降低了人工成本和工人劳动强度，提升酸洗效率，同时还降低了不必要的生产成本，且还能够控制多个酸洗池中的酸洗液交替使用，大幅降低了酸洗成本。
[0007]为达到上述目的，本申请第一方面实施例提出了酸洗组件，所述酸洗组件包括两个以上的酸洗池，所述酸洗池的尾部下方设计有排水机构、所述酸洗组件通过供液机构供液，所述酸洗组件的酸洗池通过底座阶梯排列，高阶的所述酸洗池通过所述排水机构为下阶段的酸洗池供液；所述酸洗组件中酸洗池的上方设计有环形的送料机构，所述送料机构的下方设计有循环运动的吊篮，所述吊篮内装配待酸洗的工件，所述吊篮从低阶的酸洗池向高阶的酸洗池运动，所述吊篮在送料机构下方运动时采用步进方式，吊篮运动到酸洗池内静置一个工序后进入更高阶酸洗池；所述送料机构的出料口处下方设计有并列运行的输送线，所述输送线的前段运送有向送料机构的端部下方送入的空的吊篮，所述送料机构上装有完成酸洗工件的吊篮落入所述输送线，通过所述输送线输送到另一侧。
[0008]所述酸洗组件包括一级酸洗池、二级酸洗池和三级酸洗池，其中，所述一级酸洗池、所述二级酸洗池和所述三级酸洗池自上向下阶梯式排列在所述底座上，所述一级酸洗池、所述二级酸洗池和所述三级酸洗池相同的一侧分别连通有一个所述排水机构，且所述一级酸洗池、所述二级酸洗池和所述三级酸洗池的内部分别安装有一个所述接近传感器和
一个所述浊度传感器；所述供液机构的一端与所述一级酸洗池相连通，所述供液机构的另一端与外部酸洗池管路相连通。
[0009]该阶梯式多槽自动逐级酸洗池上还装配有接近传感器、浊度传感器、限位组件、控制器；所述接近传感器，用于对临近的所述吊篮的移动位置信息进行检测，以生成位置检测信号，所述浊度传感器，用于采集所述一级酸洗池、所述二级酸洗池和所述三级酸洗池中酸洗液的污浊度数值；所述限位组件设置在所述送料机构上；所述控制器设置在所述底座上，且所述控制器分别与所述排水机构、所述接近传感器、所述浊度传感器、所述供液机构、所述送料机构和所述输送线相连，所述控制器，根据所述位置检测信号和所述污浊度数值，对所述排水机构、所述供液机构、所述送料机构和所述输送线进行控制。
[0010]本申请实施例的阶梯式多槽自动逐级酸洗池，通过人工将装有石英件的吊篮挂接在送料机构的输送端上即可，随后控制器会根据位置检测信号和污浊度数值，对排水机构、供液机构、送料机构和输送线进行控制，从而能够智能化逐级对石英件进行清洗，形成流水线作业的酸洗形式，不仅降低了人工成本和工人劳动强度，提升酸洗效率，同时还降低了不必要的生产成本，且还能够控制多个酸洗池中的酸洗液交替使用，大幅降低了酸洗成本。
[0011]另外，根据本申请上述提出的阶梯式多槽自动逐级酸洗池还可以具有如下附加的技术特征：在本申请的一个实施例中，所述排水机构包括电磁阀和排水管，其中，所述一级酸洗池、所述二级酸洗池和所述三级酸洗池相同的一侧分别连通有一个所述排水管，且所述排水管的外壁上连通有所述电磁阀。
[0012]在本申请的一个实施例中，所述供液机构包括水泵和进水管，其中，所述水泵的一端与所述进水管相连通，所述水泵的另一端与外部酸洗池管路相连通；所述进水管远离所述水泵的一端与所述一级酸洗池相连通。
[0013]在本申请的一个实施例中，所述送料机构包括吊轨、链条组件、多个挂钩、驱动组件和两个对称布置的吊板，其中，所述吊轨布置在所述酸洗组件的上方，且所述吊轨内部设置有安装所述链条组件的空腔，且所述吊轨的下表面设置有开口，且所述开口与所述空腔相连通；所述链条组件可移动设置在所述空腔中；多个所述挂钩的一端分别与所述链条组件转动连接，多个所述挂钩的另一端分别贯穿所述开口；所述吊篮可挂接在所述挂钩上；所述驱动组件设置在所述吊轨上，且所述驱动组件与所述链条组件相连；两个所述吊板分别设置在所述吊轨上。
[0014]在本申请的一个实施例中，所述链条组件包括多个链节块、多个第一链节、多个第二链节、多个第一滚轮和多个第二滚轮，其中，所述第一链节和所述第二链节相邻的一端分别铰接在同一个所述链节块上，且所述第一链节和所述第二链节交叉布置，多个所述第一链节、多个所述第二链节和多个所述链节块形成闭环链路；所述第一链节中转动连接有一个所述第一滚轮，且所述第一滚轮与所述空腔的内壁抵触；所述第二链节上转动设置有对称的两个所述第二滚轮，且所述挂钩转动设置在所述第二链节中；所述第二滚轮与所述空腔的底壁抵触。
[0015]在本申请的一个实施例中，所述吊轨包括有第一吊轨段、第二吊轨段和第三吊轨段，其中，所述第一吊轨段、所述第二吊轨段和所述第三吊轨段相连通形成闭环路径；所述第一吊轨段设置在所述一级酸洗池、所述二级酸洗池和所述三级酸洗池的正上方，所述第
一吊轨段呈阶梯状弯折，且所述第一吊轨段的弯折幅度与所述一级酸洗池、所述二级酸洗池和所述三级酸洗池落差幅度相适配，所述第一吊轨段，用于改变所述吊篮的输送路径，以使得所述吊篮能够自行酸洗和脱洗；所述第二吊轨段与所述第一吊轨段相连，且所述第二吊轨段布置在所述输送线的上方，所述第二吊轨段呈钝角V形状，且所述第二吊轨段远离所述第一吊轨段的一端向下倾斜，所述第二吊轨段，用于改变所述吊篮的输送路径，以使所述吊篮能够落在所述输送线上并自行脱钩。
[0016]在本申请的一个实施例中，所述限位组件包括扭簧转轴和限位杆，其中，所述限位杆通过所述扭簧转轴转动设置在所述吊轨的下方，且所述限位杆与所述挂钩可抵接。
[0017]本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
附图说明
[0018]本申本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阶梯式多槽自动逐级酸洗池，包括酸洗组件，所述酸洗组件包括两个以上的酸洗池，所述酸洗池的尾部下方设计有排水机构、所述酸洗组件通过供液机构供液，其特征在于：所述酸洗组件的酸洗池通过底座阶梯排列，高阶的所述酸洗池通过所述排水机构为下阶段的酸洗池供液；所述酸洗组件中酸洗池的上方设计有环形的送料机构，所述送料机构的下方设计有循环运动的吊篮，所述吊篮内装配待酸洗的工件，所述吊篮从低阶的酸洗池向高阶的酸洗池运动，所述吊篮在送料机构下方运动时采用步进方式，吊篮运动到酸洗池内静置一个工序后进入更高阶酸洗池；所述送料机构的出料口处下方设计有并列运行的输送线，所述输送线的前段运送有向送料机构的端部下方送入的空的吊篮，所述送料机构上装有完成酸洗工件的吊篮落入所述输送线，通过所述输送线输送到另一侧。2.根据权利要求1所述的阶梯式多槽自动逐级酸洗池，其特征在于：所述酸洗组件包括一级酸洗池、二级酸洗池和三级酸洗池，其中，所述一级酸洗池、所述二级酸洗池和所述三级酸洗池自上向下阶梯式排列在所述底座上，所述一级酸洗池、所述二级酸洗池和所述三级酸洗池相同的一侧分别连通有一个所述排水机构，且所述一级酸洗池、所述二级酸洗池和所述三级酸洗池的内部分别安装有一个所述接近传感器和一个所述浊度传感器；所述供液机构的一端与所述一级酸洗池相连通，所述供液机构的另一端与外部酸洗池管路相连通。3.根据权利要求1所述的阶梯式多槽自动逐级酸洗池，其特征在于：该阶梯式多槽自动逐级酸洗池上还装配有接近传感器、浊度传感器、限位组件、控制器；所述接近传感器，用于对临近的所述吊篮的移动位置信息进行检测，以生成位置检测信号，所述浊度传感器，用于采集所述一级酸洗池、所述二级酸洗池和所述三级酸洗池中酸洗液的污浊度数值；所述限位组件设置在所述送料机构上；所述控制器设置在所述底座上，且所述控制器分别与所述排水机构、所述接近传感器、所述浊度传感器、所述供液机构、所述送料机构和所述输送线相连，所述控制器，根据所述位置检测信号和所述污浊度数值，对所述排水机构、所述供液机构、所述送料机构和所述输送线进行控制。4.根据权利要求1所述的阶梯式多槽自动逐级酸洗池，其特征在于：所述排水机构包括电磁阀和排水管，其中，所述一级酸洗池、所述二级酸洗池和所述三级酸洗池相同的一侧分别连通有一个所述排水管，且所述排水管的外壁上连通有所述电磁阀。5.根据权利要求1所述的阶梯式多槽自动逐级酸洗池，其特征在于：所述供液机构包括水泵和进水管，其中...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈洋洋，刘江，罗永发，
申请(专利权)人：杭州泓芯微半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：