一种用于喷墨打印的玻璃基板的清洗方法技术

技术编号:39494319 阅读:10 留言:0更新日期:2023-11-24 11:20
本申请涉及一种用于喷墨打印的玻璃基板的清洗方法,包括以下步骤:朝清洗腔室内持续注入清洁气体,维持清洗腔室内的气压处于预设的标准气压;获取基板,并将基板上料至清洗腔室内,且位于清洗组件的下方;获取基板的位置,并确定清洗起点以及规划清洗路径;根据清洗路径,驱动清洗组件和

【技术实现步骤摘要】
一种用于喷墨打印的玻璃基板的清洗方法


[0001]本申请涉及显示面板加工
,特别涉及一种用于喷墨打印的玻璃基板的清洗方法


技术介绍

[0002]OLED
显示屏是利用有机电自发光二极管制成的显示屏

由于同时具备自发光有机电激发光二极管,不需背光源

对比度高

厚度薄

视角广

反应速度快

可用于挠曲性面板

使用温度范围广

构造及制程较简单等优异之特性,被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术

[0003]OLED
器件的阴极一般也是通过真空蒸镀工艺制作,而用到的蒸镀设备和掩模板比较昂贵

用喷墨打印技术制备阴极,可大幅度降低成本,最大的难题在于大面积均匀成膜

在全印刷工艺制备
OLED
显示屏的研究中,关键是可印刷阴极墨水的开发和大面积成膜技术的实现

其难度主要在于:第一

必须保证阴极材料与有机功能层的亲和性,确保印刷的阴极能稳定成膜;第二

必须保证印刷图案的精细度,确保显示图像的高分辨率;第三

必须避免阴极胶浆对底层的破坏;第四

还必须保证载流子的有效注入,以确保高亮度

高效率的显示性能

[0004]相关技术中,为保证墨水在基板上稳定成膜,需在对基板喷墨打印前,对基板进行清洗

一般地,可高压冲洗或刷洗等湿式清洗,也可采用超声波清洗或等离子清洗等干式清洗,干式清洗时,随基板沿清洗方向输送,清洗单元对基板的表面进行清洗

[0005]但是,由于清洗单元的尺寸受限,清洗单元的清洗范围无法覆盖中大尺寸基板的宽度,结束清洗后,基板表面仍存在未被清洗的区域,对后续基板的喷墨打印加工质量造成严重影响

另外,基板移动经过清洗单元后,仍可能存在外界颗粒异物附着在清洗后的基板表面而污染基板,基板清洁效果较差,影响后续基板的喷墨打印加工质量


技术实现思路

[0006]本申请实施例提供一种用于喷墨打印的玻璃基板的清洗方法,以解决相关技术中基板清洗不完全

且基板清洗后仍可能被污染,基板清洁效果差,影响基板后续喷墨打印加工质量的技术问题

[0007]第一方面,提供了一种用于喷墨打印的玻璃基板的清洗方法,包括以下步骤:
[0008]朝清洗腔室内持续注入清洁气体,维持清洗腔室内的气压处于预设的标准气压;
[0009]获取基板,并将基板上料至清洗腔室内,且位于清洗组件的下方;
[0010]获取基板的位置,并确定清洗起点以及规划清洗路径;
[0011]根据清洗路径,驱动清洗组件和
/
或基板相对运动,使清洗组件逐行扫描式清洗基板表面

[0012]一些实施例中,所述驱动清洗组件和
/
或基板相对运动,包括:
[0013]驱动基板相对于清洗组件在
X
轴方向运动,以清洗基板;
[0014]驱动清洗组件相对于基板在
Y
轴方向运动,以改变对基板的清洗位置

[0015]一些实施例中,所述获取基板的位置,并确定清洗起点以及规划清洗路径,包括:
[0016]获取基板四角处的位置信息;
[0017]根据所述基板四角处的位置信息,得到相邻两边线分别沿
X
轴方向和
Y
轴方向设置的待清洗区域,待清洗区域完全覆盖基板;
[0018]设定待清洗区域的一角处为清洗起点;
[0019]获取清洗组件的清洗范围在
Y
轴方向上的单位清洗长度;
[0020]根据待清洗区域在
Y
轴方向上的长度和单位清洗长度,得到逐行清洗次数;
[0021]根据逐行清洗次数和清洗起点,以规划清洗路径

[0022]一些实施例中,所述根据逐行清洗次数和清洗起点,以规划清洗路径,包括:
[0023]每行清洗区域与前一行清洗区域具有重叠区域,重叠区域的宽度为预设重叠宽度

[0024]一些实施例中,在所述将基板上料至清洗腔室内后,还包括:纠偏基板,所述纠偏基板包括:
[0025]获取基板一边线上的任意两测量点的位置信息;
[0026]旋转基板,使基板的两测量点连线的方向沿
X
轴方向或
Y
轴方向设置

[0027]一些实施例中,在所述将基板上料至清洗腔室内,且位于清洗组件的下方后,还包括:
[0028]根据基板清洗工艺,选择清洗组件的清洗单元用于基板清洗

[0029]一些实施例中,所述使清洗组件逐行扫描式清洗基板表面后,还包括:基板表面洁净度检测,若基板表面洁净度检测合格,则完成基板清洗;否则,重新清洗基板

[0030]一些实施例中,所述基板表面洁净度检测包括颗粒量检测和接触角检测;
[0031]所述颗粒量检测包括:获取基板表面颗粒数量,若基板表面颗粒数量小于或等于预设的标准颗粒量,则检测合格;
[0032]所述接触角检测包括:获取基板表面水滴接触角度数,若基板表面水滴接触角度数小于或等于预设的标准水滴接触角度数,则检测合格

[0033]一些实施例中,所述维持清洗腔室内的气压处于预设的标准气压,包括:
[0034]获取清洁气体流量信息;
[0035]获取清洗腔室内的腔室温度信息;
[0036]根据腔室温度信息和气体流量信息反馈调节清洁气体的风量,以维持清洗腔室内的气压处于预设的标准气压

[0037]一些实施例中,所述将基板上料至清洗腔室内,且位于清洗组件的下方后,还包括:
[0038]调整清洗组件相对于基板的高度至预设的标准高度

[0039]一些实施例中,所述使清洗组件逐行扫描式清洗基板表面后,还包括:
[0040]对基板进行除静电处理

[0041]本申请提供的技术方案带来的有益效果包括:
[0042]本申请实施例提供了一种用于喷墨打印的玻璃基板的清洗方法,在清洗基板时,持续朝清洗腔室注入清洁气体,一方面可将清洗腔室内的原始气体排尽,一并将原始气体
中悬浮的灰尘等颗粒杂质排出,维持清洗腔室内洁净的气氛环境;另一方面,洁净气流使清洗腔室内的气压处于标准气压,使得清洗腔室内处于微正压状态,外界环境的杂质也不易进入清洗腔室内

因此基板清洗时不易被重复污染,提高了基板清洗质量

另外,根据基板制定的清洗路径,清洗组件采用逐本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于喷墨打印的玻璃基板的清洗方法,其特征在于,包括以下步骤:朝清洗腔室内持续注入清洁气体,维持清洗腔室内的气压处于预设的标准气压;获取基板,并将基板上料至清洗腔室内,且位于清洗组件的下方;获取基板的位置,并确定清洗起点以及规划清洗路径;根据清洗路径,驱动清洗组件和
/
或基板相对运动,使清洗组件逐行扫描式清洗基板表面
。2.
根据权利要求1所述的用于喷墨打印的玻璃基板的清洗方法,其特征在于,所述驱动清洗组件和
/
或基板相对运动,包括:驱动基板相对于清洗组件在
X
轴方向运动,以清洗基板;驱动清洗组件相对于基板在
Y
轴方向运动,以改变对基板的清洗位置
。3.
根据权利要求2所述的用于喷墨打印的玻璃基板的清洗方法,其特征在于,所述获取基板的位置,并确定清洗起点以及规划清洗路径,包括:获取基板四角处的位置信息;根据所述基板四角处的位置信息,得到相邻两边线分别沿
X
轴方向和
Y
轴方向设置的待清洗区域,待清洗区域完全覆盖基板;设定待清洗区域的一角处为清洗起点;获取清洗组件的清洗范围在
Y
轴方向上的单位清洗长度;根据待清洗区域在
Y
轴方向上的长度和单位清洗长度,得到逐行清洗次数;根据逐行清洗次数和清洗起点,以规划清洗路径
。4.
根据权利要求3所述的用于喷墨打印的玻璃基板的清洗方法,其特征在于,所述根据逐行清洗次数和清洗起点,以规划清洗路径,包括:每行清洗区域与前一行清洗区域具有重叠区域,重叠区域的宽度为预设重叠宽度
。5.
根据权利要求1至4中任一项所述的用于喷墨打印的玻璃基板的清洗方法,其特征在于,在所述将基板上料至清洗腔室内后,还包括:纠偏基板,所述纠偏基...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘千军吴朝付宇唐伟
申请(专利权)人:武汉国创科光电装备有限公司
类型:发明
国别省市:

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