System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种缺陷检测方法及设备技术_技高网

一种缺陷检测方法及设备技术

技术编号:40533036 阅读:11 留言:0更新日期:2024-03-01 13:54
本申请公开了一种缺陷检测方法及设备,涉及喷墨打印缺陷检测领域。所述缺陷检测方法包括:通过所述对位装置对基板上的标记点进行拍摄,得到标记点区域图像;通过所述纠偏输送装置基于所述标记点区域图像,调整所述基板的位置;通过所述多排错位的多个线扫相机对所述基板进行缺陷检测,得到所述基板的目标缺陷,并记录下所述目标缺陷的坐标位置;通过所述复检装置基于所述目标缺陷的坐标位置,对所述目标缺陷进行拍摄,得到所述目标缺陷对应的缺陷图像;并基于所述缺陷图像进行二次检测,得到所述基板的检测结果。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及喷墨打印缺陷检测领域,特别涉及一种缺陷检测方法及设备


技术介绍

1、喷墨打印技术正广泛应用于制造显示屏、柔性传感器等领域,相比于传统的蒸镀技术,具有工艺简单、打印分辨率高、材料浪费少等优点。喷墨打印过程中,由于设备异常等情况,可能会导致墨液位置、墨量、及散点等缺陷,有缺陷的产品能直接影响用户的观感,因此,缺陷检测环节至关重要。目前喷墨打印技术逐渐应用于大面积打印场合,基板尺寸的增大,使得基板喷印效果的检测面临效率和准确性的挑战。

2、相关技术中,缺陷检测系统中通常采用面阵或线扫相机以扫描方式采图,例如采用面阵相机进行自动光学检查(automated optical inspection,aoi),该方式成本较低,但效率较低;采用线扫相机进行采图,可以获得高的采图检测效率。但随着检测基板尺寸的增加,单台或少量几台aoi线扫相机的检测效率已经满足不了产线效率的需求。

3、故需要开发拼接相机更多的aoi检测设备以满足大尺寸显示面板的高效检测的需求。


技术实现思路

1、本申请实施例提供一种缺陷检测方法及设备,以解决相关技术中缺陷检测方法较难满足大面积基板缺陷检测需求的问题,提升了缺陷检测方法的处理效率。

2、为实现上述目的,本申请实施例提供了一种缺陷检测方法,应用于缺陷检测系统,所述缺陷检测系统包括纠偏输送装置、对位装置、光学检测装置、复检装置;其中,所述光学检测装置包括多排错位的多个线扫相机,且所述多个线扫相机的扫描范围在基板的宽度方向上具有连续性。

3、所述缺陷检测方法包括以下步骤:

4、通过所述对位装置对基板上的标记点进行拍摄,得到标记点区域图像;通过所述纠偏输送装置基于所述标记点区域图像,调整所述基板的位置;通过所述多排错位的多个线扫相机对所述基板进行缺陷检测,得到所述基板的目标缺陷,并记录下所述目标缺陷的坐标位置;通过所述复检装置基于所述目标缺陷的坐标位置,对所述目标缺陷进行拍摄,得到所述目标缺陷对应的缺陷图像;并基于所述缺陷图像进行二次检测,得到所述基板的检测结果。

5、可选地,所述通过所述多排错位的多个线扫相机对所述基板进行缺陷检测,得到所述基板的目标缺陷,包括:获取所述光学检测装装置中每个所述线扫相机拍摄的多个第一线扫图像,将所述多个第一线扫图像进行拼接处理,得到所述基板的拼接图像;对所述拼接图像进行特征提取,得到所述基板中的缺陷特征;对所述缺陷特征进行分类处理,得到所述基板的目标缺陷。

6、可选地,所述通过所述多排错位的多个线扫相机对所述基板进行缺陷检测,得到所述基板的目标缺陷,包括:获取所述光学检测装装置中每个所述线扫相机拍摄的多个第一线扫图像,将所述多个第一线扫图像进行拼接处理,得到所述基板的拼接图像;对所述拼接图像中各区域进行模版匹配,得到各区域与模版的匹配度;将所述拼接图像中匹配度高于匹配阈值的区域作为所述基板的目标缺陷。

7、可选地,所述光学检测装置还包括校正模块;所述缺陷检测方法还包括:获取每个所述线扫相机拍摄的多个第一线扫图像,对所述第一线扫图像进行质量检测分析,得到所述质量不合格的第一线扫图像以及质量类型;基于所述质量类型,控制所述校正模块对所述质量不合格的第一线扫图像对应的线扫相机进行校正,或者生成第一告警信息。

8、可选地,所述质量类型包括机器故障、视野模糊;所述基于所述质量类型,控制所述校正模块对所述质量不合格的第一线扫图像对应的线扫相机进行校正,包括:当所述质量类型为视野模糊时,确定需调整的线扫相机以及需调整的维度信息;所述维度信息包括所述线扫相机距离所述基板的高度信息、以及所述线扫相机的平整度信息;基于所述维度信息,控制所述校正模块对所述线扫相机进行高度或平整度的调整;当所述质量类型为机器故障时,生成表征出现故障的线扫相机的第一告警信息,以提示目标对象通过校正模块拆卸出现故障的线扫相机并进行维修。

9、可选地,所述缺陷检测系统还包括气浮支撑装置,所述气浮支撑装置包括上料气浮区、工作气浮区、下料气浮区,所述工作气浮区具有由多个气浮条组成的气浮区域和由气浮条间隙组成的检测区域;在通过所述光学检测装置对所述基板进行缺陷检测之前,所述方法还包括:获取所述线扫相机拍摄的第二线扫图像,并检测所述第二线扫图像中是否包括所述气浮区域;当检测到所述第二线扫图像中包括气浮区域时,对所述第二线扫图像对应的线扫相机或检测区域进行校正处理,以使所述第二线扫图像中仅包括所述检测区域;当检测到所述第二线扫图像中仅包括检测区域时,存储状态信息;其中,所述状态信息表征所述光学检测装置能够对所述基板进行缺陷检测。

10、可选地,所述通过所述纠偏输送装置基于所述标记点区域图像,调整所述基板的位置,包括:确定所述标记点区域图像上标记点的当前位置与预设位置的位置关系;基于所述位置关系,控制所述纠偏输送装置调整所述基板的角度,以使所述标记点的当前位置与所述标记点的预设位置一致。

11、可选地,所述通过所述复检装置基于所述缺陷图像进行二次检测,得到所述基板的检测结果,包括:获取所述目标缺陷的缺陷类型,将所述缺陷图像与所述缺陷类型对应的标准图像进行对比,确定出所述目标缺陷是否误判,将未误判的目标缺陷作为所述基板的检测结果。

12、可选地,所述缺陷检测系统还包括平整度检测装置,所述平整度检测装置包括驱动组件、视觉相机和测距传感器,所述方法包括:通过所述驱动组件驱动所述测距传感器采集所述基板的各区域的高度信息;基于所述测距传感器的高度信息,所述视觉相机对基板的各区域进行拍摄,得到所述基板的平整检测结果;基于所述平整度检测结果,通过气浮支撑装置调整所述基板的平整度。

13、此外,为实现上述目的,本申请实施例还提供一种缺陷检测设备,所述缺陷检测设备包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序,所述计算机程序被所述处理器执行时实现如上所述的缺陷检测方法的步骤。

14、此外,为实现上述目的,本申请实施例还提供一种计算机可读存储介质,所述计算机可读存储介质上存储有缺陷检测程序,所述缺陷检测程序被处理器执行时实现如上所述的缺陷检测方法的步骤。

15、本申请实施例提供了一种缺陷检测方法和设备,通过多排错位的多个线扫相机对基板进行缺陷检测,克服了多个线扫相机由于体积受限而难以在一行排列的缺陷,并对多个线扫相机所得图像进行分别分析,即可一次扫描得到大尺寸基板全部区域的光学检测结果,避免由于对大尺寸基板扫描不完整导致需要多次反复扫描的问题,因此,提升了缺陷检测方法的处理效率。

16、另外,在缺陷检测前先纠偏基板,以保证基板位于多个线扫相机的视野范围内,且保证多个线扫相机所检测的基板区域大小类似,保证每个线扫相机的使用率,也确保基板被全部检测。在得到缺陷图像后,再进行二次检测,以避免出现误判情况,并且可根据缺陷图像的具体形式进行分类,可针对缺陷问题指定对应的解决方案,以提高后续基板加工的成品率。

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【技术保护点】

1.一种缺陷检测方法,其特征在于,应用于缺陷检测系统,所述缺陷检测系统包括纠偏输送装置、对位装置、光学检测装置、复检装置;其中,所述光学检测装置包括多排错位的多个线扫相机,且所述多个线扫相机的扫描范围在基板的宽度方向上具有连续性;

2.如权利要求1所述的一种缺陷检测方法,其特征在于,所述光学检测装置还包括校正模块;所述方法还包括:

3.如权利要求2所述的一种缺陷检测方法,其特征在于,所述质量类型包括机器故障、视野模糊;所述基于所述质量类型,控制所述校正模块对所述质量不合格的第一线扫图像对应的线扫相机进行校正,包括:

4.如权利要求1所述的一种缺陷检测方法,其特征在于,所述缺陷检测系统还包括气浮支撑装置,所述气浮支撑装置包括上料气浮区、工作气浮区、下料气浮区,所述工作气浮区具有由多个气浮条组成的气浮区域和由气浮条间隙组成的检测区域;在通过所述光学检测装置对所述基板进行缺陷检测之前,所述方法还包括:

5.如权利要求1所述的一种缺陷检测方法,其特征在于,所述通过所述纠偏输送装置基于所述标记点区域图像,调整所述基板的位置,包括:

>6.如权利要求1所述的一种缺陷检测方法,其特征在于,所述基于所述缺陷图像进行二次检测,得到所述基板的检测结果,包括:

7.如权利要求1所述的一种缺陷检测方法,其特征在于,所述缺陷检测系统还包括平整度检测装置,所述平整度检测装置包括驱动组件、视觉相机和测距传感器,所述方法包括:

8.如权利要求1所述的一种缺陷检测方法,其特征在于,所述通过所述多排错位的多个线扫相机对所述基板进行缺陷检测,得到所述基板的目标缺陷,包括:

9.一种缺陷检测设备,其特征在于,所述缺陷检测设备包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序,所述计算机程序被所述处理器执行时实现如权利要求1至8中任一项所述的缺陷检测方法的步骤。

10.一种计算机可读存储介质,所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序,所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至8中任一项所述的缺陷检测方法的步骤。

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【技术特征摘要】

1.一种缺陷检测方法,其特征在于,应用于缺陷检测系统,所述缺陷检测系统包括纠偏输送装置、对位装置、光学检测装置、复检装置;其中,所述光学检测装置包括多排错位的多个线扫相机,且所述多个线扫相机的扫描范围在基板的宽度方向上具有连续性;

2.如权利要求1所述的一种缺陷检测方法,其特征在于,所述光学检测装置还包括校正模块;所述方法还包括:

3.如权利要求2所述的一种缺陷检测方法,其特征在于,所述质量类型包括机器故障、视野模糊;所述基于所述质量类型,控制所述校正模块对所述质量不合格的第一线扫图像对应的线扫相机进行校正,包括:

4.如权利要求1所述的一种缺陷检测方法,其特征在于,所述缺陷检测系统还包括气浮支撑装置,所述气浮支撑装置包括上料气浮区、工作气浮区、下料气浮区,所述工作气浮区具有由多个气浮条组成的气浮区域和由气浮条间隙组成的检测区域;在通过所述光学检测装置对所述基板进行缺陷检测之前,所述方法还包括:

5.如权利要求1所述的一种缺陷检测方法,其特征在于,所述通过...

【专利技术属性】
技术研发人员:唐伟张礼军付宇程智
申请(专利权)人:武汉国创科光电装备有限公司
类型:发明
国别省市:

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