一种半导体封装检测系统及检测工艺技术方案

技术编号:39487844 阅读:9 留言:0更新日期:2023-11-24 11:07
本发明专利技术公开了一种半导体封装检测系统及检测工艺,涉及半导体封装检测技术领域,包括传输平台

【技术实现步骤摘要】
一种半导体封装检测系统及检测工艺


[0001]本专利技术涉及半导体封装检测
,具体为一种半导体封装检测系统及检测工艺


技术介绍

[0002]来自晶圆前道工艺的晶圆通过划片工艺后,被切割为小的晶片(
Die
),然后将切割好的晶片用胶水贴装到相应的基板(引线框架)架的小岛上,再利用超细的金属(金





铝)导线或者导电性树脂将晶片的接合焊盘(
Bond Pad
)连接到基板的相应引脚(
Lead

,
并构成所要求的电路;然后再对独立的晶片用塑料外壳加以封装保护,塑封之后需要通过视觉检测来观测半导体封装后外观是否无瑕疵,目前针对半导体封装检测是将封装后的半导体通过传输带输送至检测人员处,人员人工对塑料盒加以翻面以观测不同面上是否具有瑕疵

[0003]当前,采用人工针对半导体封装后的塑料盒加以视觉检测,需要人工对塑料盒翻面,其检测方式效率低下且人工负担高,并且容易出现遗漏,导致瑕疵品率提高

[0004]于是,有鉴于此,针对现有的结构及缺失予以研究改良,提出一种半导体封装检测系统及检测工艺


技术实现思路

[0005]针对现有技术的不足,本专利技术提供了一种半导体封装检测系统及检测工艺,解决了上述
技术介绍
中提出的问题

[0006]为实现以上目的,本专利技术通过以下技术方案予以实现:一种半导体封装检测系统,包括传输平台

载料组件和翻料组件,所述传输平台的表面设置有传输带,所述载料组件等距分布于传输带的表面,且载料组件的内部安置有待检测盒,所述传输带的两侧设置有支架,且支架的顶部侧面固定有第一摄像头,所述翻料组件平行设置于支架的右侧,所述翻料组件包括进料箱

第二摄像头

背景板

伺服电机

丝杆

锥形齿轮组

变速箱

限位套

活动杆

升降吸盘

移动套

偏心齿轮转杆

齿条和连动板,所述进料箱的内壁左侧设置有第二摄像头,且进料箱的右侧设置有背景板,所述进料箱的顶部两侧设置有伺服电机,且伺服电机的底端连接有丝杆,所述丝杆的外壁固定有锥形齿轮组,且锥形齿轮组的侧面连接有变速箱,所述变速箱的底部连接有限位套,且限位套的内部插设有活动杆,所述活动杆的底部转动连接有升降吸盘,所述丝杆的外壁连接有移动套,且移动套的侧面转动连接有偏心齿轮转杆,所述进料箱的内壁两侧固定有齿条,所述活动杆的外壁通过轴承连接有连动板

[0007]进一步的,所述载料组件包括载料平台

中空吸盘和双向气泵,所述载料平台的内部设置有中空吸盘,且中空吸盘的底部连接有双向气泵

[0008]进一步的,所述中空吸盘呈等距状分布于载料平台的内部,且中空吸盘的上表面与待检测盒的底部相接触

[0009]进一步的,所述中空吸盘与待检测盒呈一对一对应设置,且中空吸盘与双向气泵
相连通

[0010]进一步的,所述连动板两端与移动套固定连接,且活动杆通过连动板

移动套

丝杆与伺服电机传动连接

[0011]进一步的,所述活动杆的外口结构尺寸与限位套的内口结构尺寸相适配,且活动杆与传输带呈垂直分布

[0012]进一步的,所述偏心齿轮转杆的杆体部分位于升降吸盘靠近背景板的一侧,且偏心齿轮转杆的杆体部分与升降吸盘互不连接

[0013]进一步的,所述升降吸盘通过活动杆

限位套

变速箱

锥形齿轮组

丝杆与伺服电机传动连接,且升降吸盘与待检测盒呈一对一对应设置

[0014]进一步的,所述齿条位于偏心齿轮转杆的一侧,且齿条与偏心齿轮转杆啮合连接

[0015]进一步的,一种半导体封装检测系统的检测工艺,所述半导体封装检测系统的检测工艺包括下述操作步骤:步骤一:待检测盒即为半导体封装后的塑料盒,待检测盒置于载料平台的内部,使得待检测盒紧贴于中空吸盘的上表面,通过传输带将待检测盒传输至第一摄像头下方,第一摄像头拍摄待检测盒的上表面图像并传输至图像处理中心,图像处理中心对图像加以灰度化处理以突出显示瑕疵部位;步骤二:待检测盒的上表面被检测后若有瑕疵,则位于第一摄像头与进料箱之间的机械臂基于有瑕疵的待检测盒待其移动至第一摄像头右侧时将其夹持取出,而待检测盒的上表面被检测后若无瑕疵则传输带将待检测盒传输至进料箱内部;步骤三:当待检测盒位于升降吸盘下方时,伺服电机带动丝杆转动使得移动套携带连动板下降,连动板下降使得活动杆从限位套内部伸出,使得升降吸盘下降并压于待检测盒的上表面对其进行吸附;步骤四:对待检测盒稳定吸附后,伺服电机反向转动使得连动板带动升降吸盘上升,丝杆反向转动时通过锥形齿轮组

变速箱会带动限位套转动,其中通过变速箱调节限位套的转速,而限位套又会携带活动杆转动,使得升降吸盘在上升的同时发生转使得待检测盒的四侧面依次朝向第二摄像头,并且升降吸盘每旋转九十度则伺服电机会暂停作业以方便第二摄像头拍摄清楚;步骤五:待待检测盒的四侧面全部被拍摄后,待检测盒

升降吸盘随移动套继续上升,待移动套侧面的偏心齿轮转杆与齿条啮合时,移动套上升而偏心齿轮转杆沿齿条表面滚动,使得偏心齿轮转杆的杆体部位发生旋转并推动升降吸盘以活动杆底部为圆心发生九十度旋转,使得待检测盒的下表面也被第二摄像头拍摄;步骤六:待待检测盒的四侧面图像与下表面均被拍摄后,伺服电机再次变为正向转动,使得移动套下降,移动套下降时会再次经过齿条,使得升降吸盘重新变为竖直朝向,直至升降吸盘将待检测盒放回载料平台的内部;步骤七:待检测盒放入载料平台后,待检测盒底部紧贴于中空吸盘的顶部,此时双向气泵将中空吸盘内部空气抽出使得中空吸盘牢牢吸附待检测盒,以方便升降吸盘上升后其与待检测盒分离;步骤八:待检测盒的四侧面图像与下表面图像被传输至图像处理中心,图像处理中心对图像加以灰度化处理以突出显示瑕疵部,基于图像处理结果,若检测出有瑕疵则在
待检测盒移动至进料箱右侧后,进料箱右侧的机械臂基于有瑕疵的待检测盒将其夹持取出,若无瑕疵,则待检测盒通过传输带传输至末端被收集,在取出待检测盒时,双向气泵向中空吸盘内部注入空气以便待检测盒与其分离

[0016]本专利技术提供了一种半导体封装检测系统及检测工艺,具备以下有益效果:1.该半导体封装检测系统及检测工艺,利用伺服电机带动丝杆的正反转动能够实现升降吸盘的升降,同时还能够通过锥形齿轮组

变速箱带动限位套转本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种半导体封装检测系统,包括传输平台(1)

载料组件(3)和翻料组件(6),其特征在于:所述传输平台(1)的表面设置有传输带(2),所述载料组件(3)等距分布于传输带(2)的表面,且载料组件(3)的内部安置有待检测盒(7),所述传输带(2)的两侧设置有支架(4),且支架(4)的顶部侧面固定有第一摄像头(5),所述翻料组件(6)平行设置于支架(4)的右侧,所述翻料组件(6)包括进料箱(
601


第二摄像头(
602


背景板(
603


伺服电机(
604


丝杆(
605


锥形齿轮组(
606


变速箱(
607


限位套(
608


活动杆(
609


升降吸盘(
610


移动套(
611


偏心齿轮转杆(
612


齿条(
613
)和连动板(
614
),所述进料箱(
601
)的内壁左侧设置有第二摄像头(
602
),且进料箱(
601
)的右侧设置有背景板(
603
),所述进料箱(
601
)的顶部两侧设置有伺服电机(
604
),且伺服电机(
604
)的底端连接有丝杆(
605
),所述丝杆(
605
)的外壁固定有锥形齿轮组(
606
),且锥形齿轮组(
606
)的侧面连接有变速箱(
607
),所述变速箱(
607
)的底部连接有限位套(
608
),且限位套(
608
)的内部插设有活动杆(
609
),所述活动杆(
609
)的底部转动连接有升降吸盘(
610
),所述丝杆(
605
)的外壁连接有移动套(
611
),且移动套(
611
)的侧面转动连接有偏心齿轮转杆(
612
),所述进料箱(
601
)的内壁两侧固定有齿条(
613
),所述活动杆(
609
)的外壁通过轴承连接有连动板(
614

。2.
根据权利要求1所述的一种半导体封装检测系统,其特征在于:所述载料组件(3)包括载料平台(
301


中空吸盘(
302
)和双向气泵(
303
),所述载料平台(
301
)的内部设置有中空吸盘(
302
),且中空吸盘(
302
)的底部连接有双向气泵(
303

。3.
根据权利要求2所述的一种半导体封装检测系统,其特征在于:所述中空吸盘(
302
)呈等距状分布于载料平台(
301
)的内部,且中空吸盘(
302
)的上表面与待检测盒(7)的底部相接触
。4.
根据权利要求2所述的一种半导体封装检测系统,其特征在于:所述中空吸盘(
302
)与待检测盒(7)呈一对一对应设置,且中空吸盘(
302
)与双向气泵(
303
)相连通
。5.
根据权利要求1所述的一种半导体封装检测系统,其特征在于:所述连动板(
614
)两端与移动套(
611
)固定连接,且活动杆(
609
)通过连动板(
614


移动套(
611


丝杆(
605
)与伺服电机(
604
)传动连接
。6.
根据权利要求1所述的一种半导体封装检测系统,其特征在于:所述活动杆(
609
)的外口结构尺寸与限位套(
608
)的内口结构尺寸相适配,且活动杆(
609
)与传输带(2)呈垂直分布
。7.
根据权利要求1所述的一种半导体封装检测系统,其特征在于:所述偏心齿轮转杆(
612
)的杆体部分位于升降吸盘(
610
)靠近背景板(
603
)的一侧,且偏心齿轮转杆(
612
)的杆体部分与升降吸盘(
610
)互不连接
。8.
根据权利要求1所述的一种半导体封装检测系统,其特征在于:所述升降吸盘(
610
)通过活动杆(
609


限位套(
608...

【专利技术属性】
技术研发人员:顾井纲
申请(专利权)人:南通佳腾精密模具有限公司
类型:发明
国别省市:

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