一种可拆卸的用于透明产品检测的检测台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可拆卸的用于透明产品检测的检测台，包括：拆卸架和支撑机构，拆卸架上连接有支撑机构，支撑机构包括检测台本体，检测台本体外设有若干防滑销，检测台本体上连接有若干防滑垫，拆卸架上连接有一对定位销，定位销贯穿拆卸架设置，检测台本体上开凿有与防滑销相匹配的定位槽，检测台本体的下侧开凿有真空槽，检测台本体上开凿有与防滑垫相匹配的贯穿槽，真空槽与贯穿槽相连通。本实用新型专利技术通过透明产品检测台上相应机构的设置，减少了透明产品中间与检测台接触的可能性，降低了检测台纹路呈现在相机中的几率，减小了对检测造成的干扰，不仅检测更加顺利，还降低了产品的不良率。品的不良率。品的不良率。

【技术实现步骤摘要】
一种可拆卸的用于透明产品检测的检测台


[0001]本技术是关于一种检测台，特别是关于一种可拆卸的用于透明产品检测的检测台。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
[0003]半导体外观检测中，透明的产品厚度正常小于1mm，如果直接放在普通工作台上检测，工作台的纹路，会透过晶圆产品，呈现在相机中，会对检测造成干扰，相机中会即有缺陷图像，又有工作台的纹路，检测比较困难。
[0004]目前，在半导体外观检测中，通常会通过检测台将透明产品固定，但现有的固定方式是：将透明产品的整个面(中间与边缘)全部与检测台接触并抽真空，但正常透明产品只允许接触边缘的无效区域，现有固定方式很容易将检测台的纹路呈现在相机中，这会对检测造成干扰，相机中也会出现缺陷图像，不仅检测困难，还容易造成产品不良。
[0005]因此，针对上述技术问题，有必要提供一种可拆卸的用于透明产品检测的检测台。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种可拆卸的用于透明产品检测的检测台，其能够解决现有对透明产品固定的方式，不仅会干扰检测，还容易造成产品不良的问题。
[0007]为实现上述目的，本技术提供了一种可拆卸的用于透明产品检测的检测台，包括：拆卸架和支撑机构；
[0008]所述拆卸架上连接有支撑机构，所述支撑机构包括检测台本体，所述检测台本体外设有若干防滑销，所述检测台本体上连接有若干防滑垫。
[0009]在一个或多个实施方式中，所述拆卸架上连接有一对定位销，可以与拆卸架下方的工作台进行快装，方便了检测台本体的安装与拆卸，提升了检测的效率；
[0010]所述定位销贯穿拆卸架设置，方便了定位销对拆卸架的固定，不仅提升了定位销的稳定性，还降低了定位销晃动的可能性。
[0011]在一个或多个实施方式中，所述检测台本体上开凿有与防滑销相匹配的定位槽，降低了防滑销晃动的可能性，提升了防滑销的稳定性，使防滑销能够进行拆卸，提升了防滑销对透明产品的定位效果。
[0012]在一个或多个实施方式中，所述检测台本体的下侧开凿有真空槽，方便了工作台对检测台本体上方透明产品的抽真空，提升了透明产品的固定效果，降低了透明产品晃动的可能性。
[0013]在一个或多个实施方式中，所述检测台本体上开凿有与防滑垫相匹配的贯穿槽，使防滑垫内部形成真空，通过气压将透明产品固定在防滑垫上，提升了透明产品的稳定性；
[0014]所述真空槽与贯穿槽相连通，工作台能够通过对真空槽的抽真空，达到贯穿槽内真空环境的效果。
[0015]在一个或多个实施方式中，所述检测台本体上连接有高度调节销，当透明产品形变形成塌陷的时候，高度调节销能够对透明产品进行支撑，降低了透明产品塌陷过于严重的可能性；
[0016]所述检测台本体上开凿有与高度调节销相匹配的安装槽，方便了高度调节销的安装，提升了高度调节销的稳定性。
[0017]在一个或多个实施方式中，所述高度调节销与检测台本体之间设有弹垫和垫片，高度调节销能够增大与检测台本体的接触面积，减小压力，降低松动的可能性，保护高度调节销；
[0018]垫片能够对高度调节销进行缓冲，降低高度调节销对透明产品造成的损伤。
[0019]与现有技术相比，如本技术的一种可拆卸的用于透明产品检测的检测台，通过透明产品检测台上相应机构的设置，减少了透明产品中间与检测台接触的可能性，降低了检测台纹路呈现在相机中的几率，减小了对检测造成的干扰，不仅检测更加顺利，还降低了产品的不良率。
附图说明
[0020]图1是如本技术一实施方式的一种可拆卸的用于透明产品检测的检测台的立体图。
[0021]图2是如本技术一实施方式的一种可拆卸的用于透明产品检测的检测台的仰视图。
[0022]图3是如本技术一实施方式的一种可拆卸的用于透明产品检测的检测台的侧视剖面图。
[0023]主要附图标记说明：
[0024]1‑
拆卸架，101
‑
定位销，2
‑
支撑机构，201
‑
检测台本体，202
‑
防滑销，203
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防滑垫，204
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真空槽，205
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贯穿槽，206
‑
高度调节销，207
‑
弹垫，208
‑
垫片。
具体实施方式
[0025]下面结合附图，对本技术的具体实施方式进行详细描述，但应当理解本技术的保护范围并不受具体实施方式的限制。
[0026]除非另有其它明确表示，否则在整个说明书和权利要求书中，术语“包括”或其变换如“包含”或“包括有”等等将被理解为包括所陈述的元件或组成部分，而并未排除其它元件或其它组成部分。
[0027]如图1至图3所示，如本技术一实施方式的一种可拆卸的用于透明产品检测的检测台，包括：拆卸架1和支撑机构2。
[0028]如图1至图2所示，拆卸架1上连接有支撑机构2，支撑机构2包括检测台本体201，可以用于放置透明产品，通过中间凹陷的设计，能够减少透明产品中间与检测台本体201接触的情况。
[0029]其中，检测台本体201外设有若干防滑销202，能够对透明产品进行定位，方便了检
测。
[0030]此外，检测台本体201上连接有若干防滑垫203，能够对透明产品进行支撑，同时在工作台抽真空的时候，防滑垫203内部能够形成真空环境，通过气压将透明产品压在防滑垫203上。
[0031]如图1至图2所示，拆卸架1上连接有一对定位销101，可以与拆卸架1下方的工作台进行快装，方便了检测台本体201的安装与拆卸，提升了检测的效率。
[0032]其中，定位销101贯穿拆卸架1设置，方便了定位销101对拆卸架1的固定，不仅提升了定位销101的稳定性，还降低了定位销101晃动的可能性。
[0033]如图1至图3所示，检测台本体201上开凿有与防滑销202相匹配的定位槽，降低了防滑销202晃动的可能性，提升了防滑销202的稳定性，使防滑销202能够进行拆卸，提升了防滑销202对透明产品的定位效果。
[0034]如图1至图3所示，检测台本体201的下侧开凿有真空槽204，方便了工作台对检测台本体201上方透明产品的抽真空，提升了透明产品的固定效果，降低了透明产品晃动的可能性。
[0035]如图1至图2所示，检测台本体201上开凿有与防滑垫203相匹配的贯穿槽205，使防滑垫203内部形成真空，通过气压将透明产品固定在防滑垫203上，提升了透明产品的稳定性。
[0036]此外，真空槽204与贯穿槽205相连通，工作台本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可拆卸的用于透明产品检测的检测台，其特征在于，包括：拆卸架；支撑机构，连接于所述拆卸架上，所述支撑机构包括检测台本体，所述检测台本体外设有若干防滑销，所述检测台本体上连接有若干防滑垫。2.如权利要求1所述的一种可拆卸的用于透明产品检测的检测台，其特征在于，所述拆卸架上连接有一对定位销，所述定位销贯穿拆卸架设置。3.如权利要求1所述的一种可拆卸的用于透明产品检测的检测台，其特征在于，所述检测台本体上开凿有与防滑销相匹配的定位槽。4.如权利要求3所述的一种可拆卸的用于透明产品检测的检测台，其特征在于，所述检测台本体...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾振鹏，凌栋，茅志敏，
申请(专利权)人：苏州康钛检测科技有限公司，
类型：新型
国别省市：