一种晶圆检测上料平台制造技术

本实用新型专利技术公开了本实用新型专利技术通过一种晶圆检测上料平台，包括：上料平台

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆检测上料平台


[0001]本技术是关于一种上料平台，特别是关于一种晶圆检测上料平台
。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作半导体电路所用的硅晶片，主要是由硅晶棒在经过研磨
、
抛光
、
切片后形成，晶圆检测上料平台是一类用于对待测试晶圆进行暂存的装置，晶圆在加工生产过程中需要进行晶圆中道封装测试
、
系统级封装测试等测试，而在晶圆检测前，都需要将承载晶圆的料盒放置在测试机台的上料平台上
。
[0003]现有技术中的上料平台只能适用于单一尺寸的晶圆料盒，当需要对不同尺寸的晶圆料盒进行暂存时，需要切换不同的上料平台对晶圆料盒进行支撑限位，这样使得晶圆检测上料平台的适用性较差，使得上料平台对不同尺寸的晶圆料盒进行暂存调整的操作较为复杂，增加了晶圆检测的作业风险
。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆检测上料平台，其能够对不同尺寸的晶圆料盒进行暂存
。
[0005]为实现上述目的，本技术提供了一种晶圆检测上料平台，包括：上料平台
、
固定调节机构
、
可调式固定机构
。
[0006]所述固定调节机构设于所述上料平台上，所述固定调节机构包括内定位板，所述内定位板上设有一对内定位块，所述内定位板远离内定位块的一侧设有一对辅助限位块，所述内定位块与辅助限位块相匹配
。
[0007]所述可调式固定机构设于所述内定位板上，所述可调式固定机构包括外定位板，所述外定位板上设有一对可调式定位块，一对所述可调式定位块贴近外定位板的一侧均设有定位杆，所述外定位板远离可调式定位块的一侧设有一对
T
型限位块，一对所述
T
型限位块均与可调式定位块和定位杆相匹配
。
[0008]在一个或多个实施方式中，所述上料平台上固定连接有一对装配把手，一对所述装配把手对称分布于外定位板的两侧
。
便于对上料平台进行安装
。
所述上料平台上开设有多个装配定位孔
。
便于通过多个装配定位孔对上料平台进行装配限位
。
多个所述装配定位孔内均连接有水平调节螺丝
。
通过水平调节螺丝对上料平台起到水平调节控制的作用
。
[0009]在一个或多个实施方式中，一对所述内定位板均由矩形主体和三角形定位主体两部分组成
。
通过矩形主体滑移的方式对三角形定位主体进行调节控制
。
同时，便于通过三角形定位主体的斜切面对晶圆料盒进行固定
。
一对所述内定位板内均开设有调节滑槽
。
便于通过第一调节螺栓在调节滑槽内进行移动的方式对内定位板起到位置调节的作用
。
所述调节滑槽内均设有第一调节螺栓，所述第一调节螺栓与内定位板螺纹连接
。
通过第一调节螺栓对内定位板起到连接固定的作用
。
[0010]在一个或多个实施方式中，一对所述辅助限位块内均螺纹连接有第二调节螺栓
。
通过第二调节螺栓对辅助限位块起到连接固定的作用
。
所述内定位板上开设有移动滑槽，所述移动滑槽与第二调节螺栓相匹配
。
通过第二调节螺栓在移动滑槽内移动的方式对辅助限位块起到调节控制的作用，从而使得第二调节螺栓可根据晶圆料盒尺寸的变化进行相应的调整
。
[0011]在一个或多个实施方式中，一对所述内定位块与辅助限位块之间设有多组感应传感器
。
便于通过多组感应传感器对内定位板上放置的晶圆料盒进行支撑限位
。
[0012]在一个或多个实施方式中，一对所述可调式定位块与
T
型限位块的下方均一体化成型有滑移凸起，所述外定位板上开设有多个调节腰孔，所述滑移凸起与调节腰孔滑动连接
。
通过滑移凸起与调节腰孔的相互配合对可调式定位块和
T
型限位块起到支撑与移动调节限位的作用
。
一对所述可调式定位块与
T
型限位块上均螺纹连接有第三调节螺栓
。
便于通过第三调节螺栓对可调式定位块和
T
型限位块进行连接固定
。
[0013]在一个或多个实施方式中，一对所述可调式定位块远离第三调节螺栓的一侧开设有水平调节腰孔
。
通过水平调节腰孔对定位杆起到水平调节控制的作用
。
所述水平调节腰孔内设有第四调节螺栓，所述第四调节螺栓与定位杆相连接
。
通过第四调节螺栓对定位杆起到连接固定的作用，通过对第四调节螺栓进行移动控制的方式对定位杆进行水平调节
。
[0014]在一个或多个实施方式中，所述外定位板上设有多个等高套
。
通过等高套对外定位板上放置的不同尺寸的晶圆料盒进行支撑限位
。
多个所述等高套内均连接有等高螺丝，所述等高螺丝与外定位板螺纹连接
。
通过等高螺丝对等高套起到支撑固定与高度调节控制的作用
。
[0015]与现有技术相比，本技术通过设置组合式上料平台，可对不同尺寸的晶圆料盒进行固定暂存，简化了对不同尺寸的晶圆料盒进行上料暂存的调整过程，提高了晶圆检测上料平台的适用性，减小了晶圆检测上料平台使用过程中的调节作业风险
。
附图说明
[0016]图1是根据本技术一实施方式的立体图
。
[0017]图2是图1中
A
处结构示意图
。
[0018]图3是图1中
B
处结构示意图
。
[0019]图4是图1中
C
处结构示意图
。
[0020]图5是根据本技术一实施方式的俯视图
。
[0021]主要附图标记说明：
[0022]1‑
上料平台，
101
‑
装配把手，
102
‑
装配定位孔，
103
‑
水平调节螺丝，2‑
固定调节机构，
201
‑
内定位板，
202
‑
内定位块，
203
‑
辅助限位块，
204
‑
第一调节螺栓，
205
‑
第二调节螺栓，
206
‑
感应传感器，3‑
可调式固定机构，
301
‑
外定位板，
302
‑
可调式定位块，
303
‑
定位杆，
304
‑
T
型限位块，
305
‑
滑移凸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆检测上料平台，其特征在于，包括：上料平台；固定调节机构，设于所述上料平台上，所述固定调节机构包括内定位板，所述内定位板上设有一对内定位块，所述内定位板远离内定位块的一侧设有一对辅助限位块，所述内定位块与辅助限位块相匹配；可调式固定机构，设于所述内定位板上，所述可调式固定机构包括外定位板，所述外定位板上设有一对可调式定位块，一对所述可调式定位块贴近外定位板的一侧均设有定位杆，所述外定位板远离可调式定位块的一侧设有一对
T
型限位块，一对所述
T
型限位块均与可调式定位块和定位杆相匹配
。2.
如权利要求1所述的晶圆检测上料平台，其特征在于，所述上料平台上固定连接有一对装配把手，一对所述装配把手对称分布于外定位板的两侧，所述上料平台上开设有多个装配定位孔，多个所述装配定位孔内均连接有水平调节螺丝
。3.
如权利要求1所述的晶圆检测上料平台，其特征在于，一对所述内定位板均由矩形主体和三角形定位主体两部分组成，一对所述内定位板内均开设有调节滑槽，所述调节滑槽内均设有第一调节螺栓，所述第一调节螺栓与...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾振鹏，凌栋，茅志敏，
申请(专利权)人：苏州康钛检测科技有限公司，
类型：新型
国别省市：