一种晶圆盒开门机构制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体技术领域，尤其涉及一种晶圆盒开门机构，包括：开门挡板

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆盒开门机构


[0001]本技术涉及半导体
，尤其涉及一种晶圆盒开门机构
。

技术介绍

[0002]如图1所示，现有的前开式晶圆盒多包括容纳盒
01
和前盖
02
，在前盖
02
上设置有两个锁孔，在需要打开前盖
02
时，对两个锁孔进行同步转动即可打开前盖
02。
[0003]现有技术中，为了实现打开前盖
02
的的自动化作业，如授权公告号为
CN211654793U
的中国技术专利于
2020
年
10
月9日公开了一种晶圆盒开箱运载机构，其通过气缸和横杆构成的联动机构对两个闩杆实现同步转动，进而在将栓杆伸入至锁孔中以后，通过气缸的驱动，实现前盖的打开
。
[0004]然而专利技术人在实施上述方案时发现，由于在运输过程中晶圆盒经过颠簸导致前盖锁孔的摩擦力增加，打开锁孔需要施加更大的力度，现有的气缸的力度不方便控制，太小导致打不开锁孔，太大的力度容易导致锁孔的损坏
。

技术实现思路

[0005]鉴于以上技术问题中的至少一项，本技术提供了一种晶圆盒开门机构，采用结构改进以提高开门的可靠性
。
[0006]根据本技术的第一方面，提供一种晶圆盒开门机构，包括：开门挡板
、
与开门挡板连接的连接框以及与所述连接框连接的横移驱动模组；
[0007]所述开门挡板上具有开锁模组，所述开锁模组包括可转动的蜗轮
、
与所述蜗轮啮合的驱动蜗杆组件
、
与所述蜗轮的径向中心对称连接的第一连杆
、
分别与两所述第一连杆的自由端连接的两第二连杆，两所述第二连杆的另一端转动连接在所述开门挡板上，并且两所述第二连杆上连接有开锁件，所述开锁件端部凸出于所述开门挡板，并且凸出部分与锁孔形状相适应
。
[0008]在本技术的一些实施例中，所述开锁件包括
T
型杆，前端盖上的锁孔呈矩形，所述
T
型杆在初始状态时可穿入至所述锁孔内
。
[0009]在本技术的一些实施例中，所述开锁件还包括与所述
T
型杆连接的安装体，所述开门挡板上开设有供所述
T
型杆穿出的孔位，所述孔位的直径小于所述安装体的最小直径
。
[0010]在本技术的一些实施例中，所述安装体包括圆柱体和与所述圆柱体同轴连接的盖板，所述
T
型杆固定在所述盖板上，并且所述圆柱体上固定有轴承，所述轴承内圈的直径小于所述盖板的外径，所述盖板的外径大于所述圆柱体的外径，所述开门挡板上还具有与所述安装体对应的台阶型槽
。
[0011]在本技术的一些实施例中，所述开门挡板上还具有吸附机构
。
[0012]在本技术的一些实施例中，所述吸附机构包括吸盘和固定箱，所述吸盘与所述固定箱连通，所述固定箱与负压接头连通，所述吸盘通过所述固定箱固定在所述开门挡
板上，并且所述吸盘的吸附面凸出于所述开门挡板设置
。
[0013]在本技术的一些实施例中，所述吸附机构具有两个，并且在所述开门挡板上以对角的方式布置
。
[0014]在本技术的一些实施例中，所述横移驱动模组包括基座
、
固定在所述基座上的滑块
、
可相对滑动的设置在所述滑块上的滑轨
、
与所述滑轨连接的连接板以及横移驱动组件；
[0015]所述连接板与所述连接框连接，所述横移驱动组件用于驱动所述连接板朝向靠近或者远离所述基座的方向移动
。
[0016]在本技术的一些实施例中，所述横移驱动组件包括固定在所述基座上的伺服电机
、
与所述伺服电机的输出轴连接的摆臂
、
设置在所述摆臂上的转轮以及固定在所述连接板上与所述转轮对应的传动框；
[0017]所述传动框上具有一字孔，所述转轮伸入至所述一字孔内
。
[0018]在本技术的一些实施例中，所述连接框内具有中空型材，所述中空型材上具有供线路和管路穿入或穿出的开口
。
[0019]本技术的有益效果为：本技术通过可转动的蜗轮和与蜗轮啮合的驱动蜗杆组件对晶圆盒进行开门，相比于现有技术中的气缸和横杆构成的联动机构，具有传动平稳
、
自锁性和噪音小的特点，以此来提高开门的可靠性
。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0021]图1为本技术
技术介绍
中前开式晶圆盒的结构示意图；
[0022]图2为本技术实施例中晶圆盒开门机构的结构示意图；
[0023]图3为本技术实施例中晶圆盒开门机构另一视角的结构示意图；
[0024]图4为本技术实施例中开锁模组的结构示意图；
[0025]图5为本技术实施例中图4中的
A
处局部放大图；
[0026]图6为本技术实施例中开锁模组的另一视角结构示意图；
[0027]图7为本技术实施例中开锁件的结构示意图；
[0028]图8为本技术实施例中开锁件的安装结构示意图；
[0029]图9为本技术实施例中吸附机构的结构示意图；
[0030]图
10
为本技术实施例中吸附机构的安装结构示意图；
[0031]图
11
为本技术实施例中横移驱动组件的结构示意图；
[0032]图
12
为本技术实施例中横移驱动组件的爆炸分解结构示意图
。
具体实施方式
[0033]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的
实施例
。
[0034]需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件
。
当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件
。
本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式
。
[0035]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆盒开门机构，其特征在于，包括：开门挡板
、
与开门挡板连接的连接框以及与所述连接框连接的横移驱动模组；所述开门挡板上具有开锁模组，所述开锁模组包括可转动的蜗轮
、
与所述蜗轮啮合的驱动蜗杆组件
、
与所述蜗轮的径向中心对称连接的第一连杆
、
分别与两所述第一连杆的自由端连接的两第二连杆，两所述第二连杆的另一端转动连接在所述开门挡板上，并且两所述第二连杆上连接有开锁件，所述开锁件端部凸出于所述开门挡板，并且凸出部分与锁孔形状相适应
。2.
根据权利要求1所述的晶圆盒开门机构，其特征在于，所述开锁件包括
T
型杆，前端盖上的锁孔呈矩形，所述
T
型杆在初始状态时可穿入至所述锁孔内
。3.
根据权利要求2所述的晶圆盒开门机构，其特征在于，所述开锁件还包括与所述
T
型杆连接的安装体，所述开门挡板上开设有供所述
T
型杆穿出的孔位，所述孔位的直径小于所述安装体的最小直径
。4.
根据权利要求3所述的晶圆盒开门机构，其特征在于，所述安装体包括圆柱体和与所述圆柱体同轴连接的盖板，所述
T
型杆固定在所述盖板上，并且所述圆柱体上固定有轴承，所述轴承内圈的直径小于所述盖板的外径，所述盖板的外径大于所述圆柱体的外径，所述开门挡板上还具有与所述安装体对应的台阶型槽
。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾斌杰，
申请(专利权)人：江苏圣创半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：