一种晶圆检测机构制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆检测技术领域，尤其涉及一种晶圆检测机构，包括：检测框，检测框上具有凸起于检测框所在平面并且平行间隔设置的两安装部，安装部上具有光纤传感器，光纤传感器用于在两安装部的端部之间产生检测光线；升降机构，与检测框连接，用于驱动检测框的移动；距离检测机构，与检测框连接，用于检测检测框的移动距离；其中，距离检测机构与光纤传感器均与控制器电连接

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆检测机构


[0001]本技术涉及晶圆检测
，尤其涉及一种晶圆检测机构
。

技术介绍

[0002]在半导体生产中，为了简化运输和尽可能降低晶圆被污染的风险，现有技术中多采用晶圆盒来对晶圆进行存储和搬运；为了确保晶圆盒的放置效果，在对晶圆进行搬运后，往往需要对晶圆的存放情况进行检测
。
[0003]现有技术中，如申请公布号为
CN115166848A
的中国专利技术专利申请于
2022
年
10
月
11
日公开了一种晶圆盒内晶圆分布状态检测装置及检测方法，其通过一个升降机构承载晶圆盒，以及一个可以让检测光线穿过晶圆盒的光源发生检测机构，通过升降机构带着晶圆盒在高度方向上的移动，使得晶圆盒穿过检测光线，然后根据光源发生机构的信号波形来判断晶圆盒内的晶圆放置情况
。
[0004]然而专利技术人在实施上述方案时发现，由于升降机构一边承载了晶圆盒，一边还要进行升降，同时还要记录信号波发生变化时晶圆盒的位移情况，对升降机构的精度要求很高，现本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆检测机构，其特征在于，包括：检测框，所述检测框上具有凸起于所述检测框所在平面并且平行间隔设置的两安装部，所述安装部上具有光纤传感器，所述光纤传感器用于在两所述安装部的端部之间产生检测光线；升降机构，与所述检测框连接，用于驱动所述检测框的移动；距离检测机构，与所述检测框连接，用于检测所述检测框的移动距离；其中，所述距离检测机构与所述光纤传感器均与控制器电连接
。2.
根据权利要求1所述的晶圆检测机构，其特征在于，所述升降机构包括支架
、
固定在所述支架上的第一滑轨
、
可相对滑动设置在所述第一滑轨上的第一滑块以及用于驱动所述第一滑块在所述第一滑轨上移动的第一驱动件
。3.
根据权利要求2所述的晶圆检测机构，其特征在于，所述第一驱动件为气缸
。4.
根据权利要求2所述的晶圆检测机构，其特征在于，所述第一滑块的两侧还连接有固定板，所述固定板上具有与所述检测框连接的连接组件
。5.
根据权利要求4所述的晶圆检测机构，其特征在于，所述连接组件包括固定在所述固定板上的第二滑块
、
在所述第二滑块上可相对滑动设置的第二滑轨
、
与...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾斌杰，
申请(专利权)人：江苏圣创半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：