一种晶圆检测机构制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆检测技术领域，尤其涉及一种晶圆检测机构，包括：检测框，检测框上具有凸起于检测框所在平面并且平行间隔设置的两安装部，安装部上具有光纤传感器，光纤传感器用于在两安装部的端部之间产生检测光线；升降机构，与检测框连接，用于驱动检测框的移动；距离检测机构，与检测框连接，用于检测检测框的移动距离；其中，距离检测机构与光纤传感器均与控制器电连接

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆检测机构


[0001]本技术涉及晶圆检测
，尤其涉及一种晶圆检测机构
。

技术介绍

[0002]在半导体生产中，为了简化运输和尽可能降低晶圆被污染的风险，现有技术中多采用晶圆盒来对晶圆进行存储和搬运；为了确保晶圆盒的放置效果，在对晶圆进行搬运后，往往需要对晶圆的存放情况进行检测
。
[0003]现有技术中，如申请公布号为
CN115166848A
的中国专利技术专利申请于
2022
年
10
月
11
日公开了一种晶圆盒内晶圆分布状态检测装置及检测方法，其通过一个升降机构承载晶圆盒，以及一个可以让检测光线穿过晶圆盒的光源发生检测机构，通过升降机构带着晶圆盒在高度方向上的移动，使得晶圆盒穿过检测光线，然后根据光源发生机构的信号波形来判断晶圆盒内的晶圆放置情况
。
[0004]然而专利技术人在实施上述方案时发现，由于升降机构一边承载了晶圆盒，一边还要进行升降，同时还要记录信号波发生变化时晶圆盒的位移情况，对升降机构的精度要求很高，现有的升降机构往往难以达到理想的精度需求
。

技术实现思路

[0005]鉴于以上技术问题中的至少一项，本技术提供了一种晶圆检测机构，采用结构的改进以提高晶圆盒内晶圆检测的精度
。
[0006]根据本技术的第一方面，提供一种晶圆检测机构，包括：
[0007]检测框，所述检测框上具有凸起于所述检测框所在平面并且平行间隔设置的两安装部，所述安装部上具有光纤传感器，所述光纤传感器用于在两所述安装部的端部之间产生检测光线；
[0008]升降机构，与所述检测框连接，用于驱动所述检测框的移动；
[0009]距离检测机构，与所述检测框连接，用于检测所述检测框的移动距离；
[0010]其中，所述距离检测机构与所述光纤传感器均与控制器电连接
。
[0011]在本技术的一些实施例中，所述升降机构包括支架
、
固定在所述支架上的第一滑轨
、
可相对滑动设置在所述第一滑轨上的第一滑块以及用于驱动所述第一滑块在所述第一滑轨上移动的第一驱动件
。
[0012]在本技术的一些实施例中，所述第一驱动件为气缸
。
[0013]在本技术的一些实施例中，所述第一滑块的两侧还连接有固定板，所述固定板上具有与所述检测框连接的连接组件
。
[0014]在本技术的一些实施例中，所述连接组件包括固定在所述固定板上的第二滑块
、
在所述第二滑块上可相对滑动设置的第二滑轨
、
与所述第二滑轨连接的连接板，所述连接板的端部与所述检测框连接；
[0015]所述固定板上还具有用于驱动所述连接板朝向靠近或者远离所述支架移动的驱
动模组
。
[0016]在本技术的一些实施例中，所述驱动模组包括固定在所述连接板上的传动框，所述传动框上具有一字孔，还包括固定在所述固定板上的第二驱动件，所述第二驱动件的转轴连接有摆臂，所述摆臂的自由端伸入至所述传动框内
。
[0017]在本技术的一些实施例中，所述距离检测机构为设置在所述支架顶部或者底部并且朝向所述第一滑块设置的光电检测传感器
。
[0018]在本技术的一些实施例中，所述距离检测机构包括分别转动连接于所述支架顶部和底部的同步轮，两所述同步轮之间连接有同步带，所述同步带上具有与所述第一滑块连接的连接件，两所述同步轮中的任一者上同轴连接有编码器，用于检测所述同步带的移动距离
。
[0019]在本技术的一些实施例中，所述距离检测机构包括分别转动连接于所述支架顶部和底部的同步轮，两所述同步轮之间连接有同步带，所述同步带上具有与所述固定板连接的连接件，两所述同步轮中的任一者上同轴连接有编码器，用于检测所述同步带的移动距离
。
[0020]本技术的有益效果为：本技术通过检测框移动晶圆盒不动的方式利用光纤传感器对晶圆进行检测，升降机构的作用仅用于驱动检测框的移动，并由单独的距离检测机构来检测检测框的移动距离，通过上述方式来提高晶圆检测的精度，避免现有技术中升降机构同时承载重量和升降造成的距离检测误差
。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0022]图1为本技术实施例中晶圆检测机构的结构示意图；
[0023]图2为本技术实施例中图1中的
A
处局部放大图；
[0024]图3为本技术实施例中升降机构的结构示意图；
[0025]图4为本技术实施例中升降机构的另一视角的结构示意图；
[0026]图5为本技术实施例中图4中的连接组件和驱动模组的爆炸分解结构示意图；
[0027]图6为本技术实施例中距离检测机构的结构示意图
。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
[0029]需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件
。
当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件
。
本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式
。
[0030]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同
。
在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术
。
本文所使用的术语“及
/
或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合
。
[0031]为了清楚地阐释本技术的构思，现对现有技术中存在的问题进行描述，在现有技术中，其通过一个升降机构2承载晶圆盒，以及一个可以让检测光线穿过晶圆盒的光源发生检测机构，通过升降机构2带着晶圆盒在高度方向上的移动，使得晶圆盒穿过检测光线，然后根据光源发生机构的信号波形来判断晶圆盒内的晶圆放置情况
。
然而专利技术人在实施上述方案时发现，由于升降机构2一边承载了晶圆盒，一边还要进行升降，同时还要记录信号波发生变化时晶圆盒的位移情况，对升本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆检测机构，其特征在于，包括：检测框，所述检测框上具有凸起于所述检测框所在平面并且平行间隔设置的两安装部，所述安装部上具有光纤传感器，所述光纤传感器用于在两所述安装部的端部之间产生检测光线；升降机构，与所述检测框连接，用于驱动所述检测框的移动；距离检测机构，与所述检测框连接，用于检测所述检测框的移动距离；其中，所述距离检测机构与所述光纤传感器均与控制器电连接
。2.
根据权利要求1所述的晶圆检测机构，其特征在于，所述升降机构包括支架
、
固定在所述支架上的第一滑轨
、
可相对滑动设置在所述第一滑轨上的第一滑块以及用于驱动所述第一滑块在所述第一滑轨上移动的第一驱动件
。3.
根据权利要求2所述的晶圆检测机构，其特征在于，所述第一驱动件为气缸
。4.
根据权利要求2所述的晶圆检测机构，其特征在于，所述第一滑块的两侧还连接有固定板，所述固定板上具有与所述检测框连接的连接组件
。5.
根据权利要求4所述的晶圆检测机构，其特征在于，所述连接组件包括固定在所述固定板上的第二滑块
、
在所述第二滑块上可相对滑动设置的第二滑轨
、
与...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾斌杰，
申请(专利权)人：江苏圣创半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：