一种MEMS振荡器芯片制造技术

本申请提供了一种MEMS振荡器芯片，包括四个呈矩形阵列排布的引脚，其中，第一引脚被配置为OE引脚、ST引脚、NC引脚、OUT2引脚中的任一种，第二引脚被配置为GND引脚，第三引脚被配置为VDD引脚，第四引脚被配置为OUT1引脚。当第一引脚被配置为OUT2引脚后，第一引脚和第四引脚中的一者配置为输出频率为32.768kHz的时钟信号，另一者配置为输出频率为MHz的时钟信号。上述MEMS振荡器芯片能够分别输出频率为kHz和MHz的时钟信号，拓展了MEMS振荡器芯片的引脚功能，以通过单一芯片实现多钟频率信号输出的目的，进而不仅提高了单一MEMS振荡器芯片的性能，还能够进一步减少制造成本。还能够进一步减少制造成本。还能够进一步减少制造成本。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS振荡器芯片


[0001]本申请涉及微机电系统
，尤其涉及一种MEMS振荡器芯片

技术介绍

[0002]微机电系统(MEMS，Micro
‑
Electro
‑
Mechanical System)是一种基于微电子技术和微加工技术的一种高科技领域。MEMS技术可将机械构件、驱动部件、电控系统、数字处理系统等集成为一个整体的微型单元。MEMS器件具有微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等诸多优点。MEMS技术的发展开辟了一个全新的
和产业，利用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事，物联网等领域中都有着十分广阔的应用前景。
[0003]MEMS振荡器芯片作为电子系统的重要单元之一，其应用范围非常广泛。现代电路系统中通常需要使用2个及以上的时钟，其中一个为kHz(千赫兹)级别的时钟，典型如32.768kHz的标准时钟信号为该电路系统提供基础运作时钟，其他时钟的频率一般为MHz(兆赫兹)，为该电路系统的高性能信号处理提供高速时钟，然而，现有的晶体振荡器的芯片PIN脚功能较为单一，难以利用单一芯片实现多输出的频率信号。

技术实现思路

[0004]本申请提供了一种MEMS振荡器芯片，以解决现有的MEMS振荡器芯片的引脚功能较为单一，难以利用单一芯片实现多种频率信号输出的问题。
[0005]为了实现上述目的，本申请提供如下技术方案：/>[0006]一种MEMS振荡器芯片，包括四个呈矩形阵列排布的引脚，其分别为第一至第四引脚；其中，第二引脚被配置为GND引脚，第三引脚被配置为VDD引脚，第四引脚被配置为OUT1引脚；第一引脚被配置为OE引脚、ST引脚、NC引脚、OUT2引脚中的任一种；其中，当所述第一引脚被配置为OUT2引脚后，所述第一引脚和所述第四引脚中的一者配置为输出频率为32.768kHz的时钟信号，另一者配置为输出频率为MHz的时钟信号。
[0007]一种MEMS振荡器芯片，包括六个呈矩形阵列排布的引脚，其分别为第一至第六引脚；其中，第一引脚被配置为OE引脚、NC引脚、ST引脚中的任一种，第三引脚被配置为GND引脚，第四引脚被配置为VDD引脚；第二引脚被配置为OUT1引脚，第五引脚被配置为OUT2引脚，第六引脚被配置为OUT3引脚；其中，所述第二引脚配置为输出频率为32.768kHz的时钟信号，所述第五引脚、所述第六引脚配置为输出频率为MHz的时钟信号。
[0008]一种MEMS振荡器芯片，包括六个呈矩形阵列排布的引脚，其分别为第一至第六引脚；其中，第一引脚被配置为OE引脚、NC引脚、ST引脚中的任一种，第三引脚被配置为GND引脚，第四引脚被配置为VDD引脚；第二引脚被配置为OUT1引脚，第五引脚被配置为OUT2+引脚，第六引脚被配置为OUT2－引脚；其中，所述第二引脚配置为输出频率为32.768kHz的时钟信号，所述第五引脚、所述第六引脚配置为输出频率相同的MHz的时钟信号，所述第五引
脚配置为输出正向差分信号，所述第六引脚配置为输出负向差分信号。
[0009]一种MEMS振荡器芯片，包括六个呈矩形阵列排布的引脚，其分别为第一至第六引脚；其中，第三引脚被配置为GND引脚，第四引脚被配置为VDD引脚；第一引脚被配置为OUT1+引脚，第二引脚被配置为OUT1－引脚；其中，所述第一引脚、所述第二引脚配置为输出频率相同的KHz的时钟信号，所述第一引脚配置为输出正向差分信号，所述第二引脚配置为输出负向差分信号；
[0010]第五引脚被配置为OUT2+引脚，第六引脚被配置为OUT2－引脚，其中，所述第五引脚、所述第六引脚配置为输出频率相同的MHz的时钟信号，所述第五引脚配置为输出正向差分信号，所述第六引脚配置为输出负向差分信号。
[0011]一种MEMS振荡器芯片，包括六个呈矩形阵列排布的引脚，其分别为第一至第六引脚；其中，第三引脚被配置为GND引脚，第四引脚被配置为VDD引脚；第一引脚被配置为OUT1引脚，第二引脚被配置为OUT2引脚，第五引脚被配置为OUT3+引脚，第六引脚被配置为OUT3－引脚；其中，所述第一引脚和所述第二引脚配置为输出频率为kHz的时钟信号，所述第五引脚、所述第六引脚配置为输出频率相同的MHz的时钟信号，所述第五引脚配置为输出正向差分信号，所述第六引脚配置为输出负向差分信号。
[0012]本申请所提供的MEMS振荡器芯片包括至少两个时钟信号输出引脚，从而使得MEMS振荡器芯片既能够输出频率为kHz的时钟信号，又能够输出频率为MHz的时钟信号，拓展了MEMS振荡器芯片的引脚功能，以通过单一芯片实现多钟频率信号输出的目的，进而不仅提高了单一MEMS振荡器芯片的性能，还能够进一步减少制造成本。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对本领域技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1为本申请实施例一提供的MEMS振荡器芯片的结构示意图。
[0015]图2为本申请实施例二提供的MEMS振荡器芯片的结构示意图。
[0016]图3为本申请实施例三提供的MEMS振荡器芯片的结构示意图。
[0017]图4为本申请实施例四提供的MEMS振荡器芯片的结构示意图。
[0018]图5为本申请实施例五提供的MEMS振荡器芯片的结构示意图。
[0019]附图标记：
[0020]100、MEMS振荡器芯片；111、第一引脚；112、第二引脚；113、第三引脚；114、第四引脚；115、第五引脚；116、第六引脚。
[0021]具体实施例
[0022]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0023]MEMS振荡器作为电子系统的重要单元之一，其应用范围非常广泛。现有的MEMS振荡器具有多个引脚，其中包括OE引脚、ST引脚、NC引脚、VDD引脚、GND引脚以及一个OUT引脚。
其中，OE引脚，即Output enable input，使能引脚。ST引脚，即Standby，待机控制引脚。NC引脚，即NOT CONNECTED，空脚。VDD引脚，即电源引脚。GND引脚，即接地引脚。OUT引脚，即时钟信号输出引脚。
[0024]现代电路系统中通常需要使用2个及以上的时钟，其中一个为kHz(千赫兹)级别的时钟，典型如32.768kHz的标准时钟信号为该电路系统提供基础运作时钟，其他时钟的频率一般为MHz(兆赫兹)，为该电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS振荡器芯片(100)，包括四个呈矩形阵列排布的引脚，其分别为第一至第四引脚(111～114)；其中，第二引脚(112)被配置为GND引脚，第三引脚(113)被配置为VDD引脚，第四引脚(114)被配置为OUT1引脚；其特征在于，第一引脚(111)被配置为OE引脚、ST引脚、NC引脚、OUT2引脚中的任一种；其中，当所述第一引脚(111)被配置为OUT2引脚后，所述第一引脚(111)和所述第四引脚(114)中的一者配置为输出频率为32.768kHz的时钟信号，另一者配置为输出频率为MHz的时钟信号。2.一种MEMS振荡器芯片(100)，包括六个呈矩形阵列排布的引脚，其分别为第一至第六引脚(111～116)；其中，第一引脚(111)被配置为OE引脚、NC引脚、ST引脚中的任一种，第三引脚(113)被配置为GND引脚，第四引脚(114)被配置为VDD引脚；其特征在于，第二引脚(112)被配置为OUT1引脚，第五引脚(115)被配置为OUT2引脚，第六引脚(116)被配置为OUT3引脚；其中，所述第二引脚(112)配置为输出频率为32.768kHz的时钟信号，所述第五引脚(115)、所述第六引脚(116)配置为输出频率为MHz的时钟信号。3.一种MEMS振荡器芯片(100)，包括六个呈矩形阵列排布的引脚，其分别为第一至第六引脚(111～116)；其中，第一引脚(111)被配置为OE引脚、NC引脚、ST引脚中的任一种，第三引脚(113)被配置为GND引脚，第四引脚(114)被配置为VDD引脚；其特征在于，第二引脚(112)被配置为OUT1引脚，第五引脚(115)被配置为OUT2+引脚，第六引脚(116)被配置为OUT2－引脚；其中，所述第二引脚(112)配置为输出频率为32.768kHz的时钟信号，所述第五引脚...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷永庆，黄寿，朱怀远，
申请(专利权)人：麦斯塔微电子深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：