一种难熔金属表面的铂族金属涂层及其制备方法技术

本发明专利技术为难熔金属１０提供一种铂族金属涂层３０，该铂族涂层３０与难熔金属基材１０之间具有一个０．２～２微米厚的过渡层２０，过渡层２０中从难熔金属１０基材一侧到铂族金属涂层３０一侧，铂族金属元素依次递增，直至过渡层２０结束，铂族金属元素含量达到１００％，铂族金属涂层３０厚度在１００微米以内。本发明专利技术提供一种在难熔金属１０表面制备铂族金属涂层３０的方法。该方法在真空炉内进行，使用铂族金属作为靶材，靶材电压范围在０～－１２００Ｖ之间，难熔金属作为基材，电压范围在０～－９００Ｖ之间。使用氩气作为工作气氛，在真空室内压力达到１５～５５Ｐａ时，接通直流电源，经过连续的溅射和反溅射、吸附和解吸附，最后形成具有择优生长取向的铂族金属涂层。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种铂族金属涂层及其制备方法，尤其是涉及一种难熔金属表面的铂族金属涂层及其制备方法。
技术介绍
在各种材料中，难熔金属是最早进行研究和得到应用的超高温材料。 一般研究和应用最多的主要是Nb、Mo、W、Re等难熔金属。难熔金属已经广泛应用于各种航天器和发动机等方面。难熔金属具有优异的高温强度、抗腐蚀性和耐高温等性能，但是在100(TC以上时会因氧化而使材料失效，影响了难熔金属材料的发展。采用铂族金属涂层(铱、钼、钌、铑、锇、钯)来提高难熔金属的高温抗氧化性能，如钼、铱成为人们关注的候选材料。铂族金属具有高熔点、好的化学稳定性和良好的抗氧化能力等。在难熔金属表面制备铂族金属涂层则能弥补难熔金属高温抗氧化性能的不足，发挥基体本身和铂族金属涂层的优点。 国外对铂族金属涂层的研究起步较早，其中以美国、俄罗斯、日本的研究处于世界领先水平。在我国铂族金属涂层的研究还处于起步阶段，特别是在涂层的制备方面，我国只有少数几个研究单位如昆明贵金属所、西北工业大学等开展了研究工作。采用不同的工艺方法在难熔金属表面制备铂族金属涂层，这些方法主要包括电镀沉积、化学气相沉积法(CVD)。电镀沉积方本文档来自技高网...

【技术保护点】
本专利技术为难熔金属提供一种铂族金属涂层，该铂族金属涂层与难熔金属基材之间具有一个过渡层，过渡层中从难熔金属基材一侧到铂族金属涂层一侧，铂族金属元素依次递增，直至过渡层结束，铂族金属元素含量达到１００％。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈照峰，吴王平，丛湘娜，王亮兵，
申请(专利权)人：南京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]