用于真空门阀的检测系统及检测方法技术方案

本发明专利技术涉及检测装置技术领域，提供一种用于真空门阀的检测系统及检测方法，其中用于真空门阀的检测系统包括第一连接板

【技术实现步骤摘要】
用于真空门阀的检测系统及检测方法


[0001]本专利技术涉及检测装置
，尤其涉及一种用于真空门阀的检测系统及检测方法
。

技术介绍

[0002]真空门阀，作为异质结电池硅片的生产设备的重要部件，主要用于设置在相邻的腔室之间，在真空门阀处于打开状态时，能够使电池硅片从一个腔室进入另一个腔室；在真空门阀处于关闭状态时，能够对各个腔室进行隔离，以在做工艺时防止不同的腔室之间的气体互串，因此，对真空门阀的密封性以及可靠性有很高的要求，为保证真空门阀的质量，需要对真空门阀的泄漏率
、
动作时间及可靠性进行检测
。
[0003]现有技术中在检测真空门阀的动作时间时，需要人为观测阀门的动作并利用秒表记录时间，检测结果的准确度低
。
虽然有一些用于检测真空门阀的性能参数的检测装置，但其功能单一，仅能够对真空门阀的其中一种性能参数进行检测，如，用于检测真空门阀的泄漏率的检测装置是无法对真空门阀的可靠性进行检测的
。
在需要对真空门阀的多种参数进行检测时，需要更换不同的检测装置，浪费时间，检测效率低
。
[0004]因此，如何解决现有技术中的用于检测真空门阀的性能参数的检测装置的功能单一导致的检测效率低的问题，成为本领域技术人员所要解决的重要技术问题
。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供一种用于真空门阀的检测系统及检测方法，用以解决现有技术中的用于检测真空门阀的性能参数的检测装置的功能单一导致的检测效率低的缺陷<br/>。
[0006]本专利技术提供一种用于真空门阀的检测系统，所述真空门阀包括阀座
、
阀板和用于驱动所述阀板动作的驱动件，所述用于真空门阀的检测系统包括：
[0007]第一连接板和第二连接板，分别用于连接待测的所述真空门阀的所述阀座的相对的两侧
、
以在所述阀板的两侧形成第一密闭空腔和第二密闭空腔，所述第一连接板上设置有第一通孔，所述第二连接板上设置有第二通孔；
[0008]第一压力检测元件和第二压力检测元件，分别用于检测所述第一密闭空腔内的压力与所述第二密闭空腔内的压力；
[0009]氦气源，与所述第一通孔相连接，所述氦气源与所述第一通孔之间设置有第一阀门；
[0010]氦质谱检测仪，与所述第二通孔相连接；
[0011]位置检测元件，用于检测所述阀板或所述驱动件的动作位置；
[0012]控制装置，所述驱动件
、
所述第一压力检测元件
、
所述第二压力检测元件
、
所述氦质谱检测仪和所述位置检测元件均与所述控制装置电连接
。
[0013]根据本专利技术提供的一种用于真空门阀的检测系统，所述位置检测元件包括：
[0014]第一位置传感器，设置为在所述待测的真空门阀处于完全打开状态时与所述阀板
相作用；
[0015]第二位置传感器，设置为在所述待测的真空门阀处于完全关闭状态时与所述阀板相作用，所述第一位置传感器和所述第二位置传感器均与所述控制装置电连接
。
[0016]根据本专利技术提供的一种用于真空门阀的检测系统，还包括：
[0017]连接管件，设置于所述氦质谱检测仪与所述第二通孔之间，所述连接管件具有第一接口
、
第二接口和第三接口，所述第一接口与所述第二通孔相连接，所述第二接口与所述氦质谱检测仪相连接，所述第三接口与所述第二压力检测元件相连接
。
[0018]根据本专利技术提供的一种用于真空门阀的检测系统，所述第一阀门为手动截止阀；
[0019]或者，所述第一阀门为电动截止阀，所述电动截止阀与所述控制装置电连接
。
[0020]根据本专利技术提供的一种用于真空门阀的检测系统，所述第一连接板和
/
或所述第二连接板上设置有第三通孔，所述第三通孔处设置有第二阀门
。
[0021]根据本专利技术提供的一种用于真空门阀的检测系统，所述氦气源包括氦气瓶，所述氦气瓶的出气口与所述第一通孔相连接
。
[0022]根据本专利技术提供的一种用于真空门阀的检测系统，还包括：
[0023]支撑台，用于支撑所述真空门阀
、
所述第一连接板和所述第二连接板；
[0024]限位件，设置于所述支撑台上，所述限位件设置有两组，两组所述限位件沿垂直于所述第一连接板的方向设置于所述第一连接板和所述第二连接板的两侧，所述限位件设置为在所述支撑台上的位置沿垂直于所述第一连接板的方向可调
。
[0025]根据本专利技术提供的一种用于真空门阀的检测系统，所述限位件包括：
[0026]限位部，用于与所述第一连接板或所述第二连接板相作用；
[0027]连接部，用于与所述支撑台相连接，所述连接部上设置有连接孔，所述支撑台上设置有滑槽，所述滑槽的延伸方向垂直于所述第一连接板；
[0028]锁紧件，能够贯穿所述连接孔和所述滑槽，所述锁紧件处于解锁状态时，所述连接部能够沿所述滑槽往复滑动，所述锁紧件处于锁止状态时，能够限制所述连接部与所述滑槽相对滑动
。
[0029]本专利技术还提供一种用于真空门阀的检测方法，基于如上述的用于真空门阀的检测系统，所述用于真空门阀的检测方法包括：
[0030]将待测的真空门阀的阀座连接于第一连接板和第二连接板，并使第一阀门处于关闭状态，控制所述待测的真空门阀处于完全打开状态；
[0031]控制氦质谱检测仪对第一密闭空腔和第二密闭空腔进行抽真空操作；
[0032]控制所述待测的真空门阀切换至完全关闭状态，并根据位置检测元件的检测结果确定所述待测的真空门阀的动作时间，所述待测的真空门阀的动作时间为所述待测的真空门阀从所述完全打开状态切换至所述完全关闭状态时所需要的时间；
[0033]将所述第一阀门切换至打开状态，利用氦气源向所述第一密闭空腔充入氦气，至第一压力检测元件和第二压力检测元件所检测到的压力值之差为预设差值时，将所述第一阀门切换至关闭状态；
[0034]利用所述氦质谱检测仪检测所述第二密闭空腔内的氦气含量；
[0035]若所述待测的真空门阀的动作时间小于预设值，控制所述待测的真空门阀在所述完全关闭状态与所述完全打开状态之间循环切换至所述待测的真空门阀首次出现故障，并
记录所述待测的真空门阀的切换次数
。
[0036]根据本专利技术提供的一种用于真空门阀的检测方法，所述控制所述待测的真空门阀在所述完全关闭状态与所述完全打开状态之间循环切换时，相邻两次切换动作之间间隔预设时间值
。
[0037]本专利技术提供的用于真空门阀的检测系统，包括第一连接板
、
第二连接板
、
第一压力检测元件
、
第二压力检测元件
、
氦气源
、
氦质谱检测仪和控制装置
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于真空门阀的检测系统，其特征在于，所述真空门阀包括阀座
、
阀板和用于驱动所述阀板动作的驱动件，所述用于真空门阀的检测系统包括：第一连接板和第二连接板，分别用于连接待测的所述真空门阀的所述阀座的相对的两侧
、
以在所述阀板的两侧形成第一密闭空腔和第二密闭空腔，所述第一连接板上设置有第一通孔，所述第二连接板上设置有第二通孔；第一压力检测元件和第二压力检测元件，分别用于检测所述第一密闭空腔内的压力与所述第二密闭空腔内的压力；氦气源，与所述第一通孔相连接，所述氦气源与所述第一通孔之间设置有第一阀门；氦质谱检测仪，与所述第二通孔相连接；位置检测元件，用于检测所述阀板或所述驱动件的动作位置；控制装置，所述驱动件
、
所述第一压力检测元件
、
所述第二压力检测元件
、
所述氦质谱检测仪和所述位置检测元件均与所述控制装置电连接
。2.
根据权利要求1所述的用于真空门阀的检测系统，其特征在于，所述位置检测元件包括：第一位置传感器，设置为在所述待测的真空门阀处于完全打开状态时与所述阀板相作用；第二位置传感器，设置为在所述待测的真空门阀处于完全关闭状态时与所述阀板相作用，所述第一位置传感器和所述第二位置传感器均与所述控制装置电连接
。3.
根据权利要求1所述的用于真空门阀的检测系统，其特征在于，还包括：连接管件，设置于所述氦质谱检测仪与所述第二通孔之间，所述连接管件具有第一接口
、
第二接口和第三接口，所述第一接口与所述第二通孔相连接，所述第二接口与所述氦质谱检测仪相连接，所述第三接口与所述第二压力检测元件相连接
。4.
根据权利要求1‑3任一项所述的用于真空门阀的检测系统，其特征在于，所述第一阀门为手动截止阀；或者，所述第一阀门为电动截止阀，所述电动截止阀与所述控制装置电连接
。5.
根据权利要求1‑3任一项所述的用于真空门阀的检测系统，其特征在于，所述第一连接板和
/
或所述第二连接板上设置有第三通孔，所述第三通孔处设置有第二阀门
。6.
根据权利要求1‑3任一项所述的用于真空门阀的检测系统，其特征在于，所述氦气源包括氦气瓶，所述氦气瓶的...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭侨侨，刘松超，沈威威，
申请(专利权)人：株洲三一硅能技术有限公司，
类型：发明
国别省市：