【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜设备，具体涉及一种真空镀膜装置及系统。
技术介绍
1、真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术，例如，物理气相沉积(physicalvapor deposition，pvd)技术是就是在真空条件下采用物理方法将材料源表面气化成气态原子或分子，或部分电离成离子，并通过低压气体过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术，可以作为电气、光学、磁学、化学、机械和装饰类膜层，被广泛应用于各个领域。
2、pvd真空镀膜设备由腔体和腔盖组成真空密封腔，各种真空镀膜工艺都在真空密封腔中进行，因此，镀膜过程中腔盖需要启闭成了比较重要的工作，现有的腔盖启闭方式有吊装分离式和铰链翻盖式。
3、然而，大型的pvd设备腔盖重量可以达到数十吨，采用吊装分离式就要求吊装设备巨大，操作十分不便，而铰链翻盖式通常采用电缸或油缸驱动，电缸或油缸驱动方式往往出现过定位，这就导致真空密封腔的密封性能难以保证，并且，电缸或油缸驱动结构缺少极端状态下的安全保护措施。
技术实现思路
1、本技术提供一种真空镀膜装置及系统，解决或至少部分解决现有技术中存在的技术缺陷。
2、本技术的第一方面提供一种真空镀膜装置，包括：
3、腔体；
4、铰链座，设于所述腔体的一侧，所述铰链座具有铰接孔，所述铰接孔为腰型孔；
5、腔盖，所述腔盖设有铰接轴，所述腔盖通过所述铰接轴与所述铰接孔铰接；
6、伸缩驱动件，设于所述腔体上，所述伸缩驱动件的
7、根据本技术提供的一种真空镀膜装置，所述伸缩驱动件为液压油缸，所述液压油缸包括缸体和活塞杆，所述活塞杆可移动地设于所述缸体内，所述缸体固定于所述腔体的底部，所述活塞杆与所述腔盖活动连接。
8、根据本技术提供的一种真空镀膜装置，所述活塞杆与所述腔盖之间还设连接臂，所述连接臂为l型结构，所述连接臂的一端与所述腔盖固定连接，所述连接臂的另一端与所述活塞杆转动连接。
9、根据本技术提供的一种真空镀膜装置，所述连接臂的另一端与所述活塞杆之间还设有关节轴承。
10、根据本技术提供的一种真空镀膜装置，所述连接臂上设有插孔；
11、所述铰链座的下方设有安全插销组件，所述安全插销组件具有可伸缩设置的插销，所述插销能够与所述插孔配合连接。
12、根据本技术提供的一种真空镀膜装置，所述安全插销组件还包括：
13、安装板，设于所述腔体上；
14、衬套，所述衬套设于所述安装板上，所述插销可移动地设于所述衬套内；
15、气缸，设于所述安装板上；
16、直线滑轨，设于所述安装板上，所述衬套、所述气缸和所述直线滑轨平行设置；
17、连接板，所述连接板的一端与所述插销连接，所述连接板的另一端与所述气缸连接，且所述连接板与所述直线滑轨滑动连接。
18、根据本技术提供的一种真空镀膜装置，所述气缸包括气缸体和推杆，所述推杆可移动地设于所述气缸体内，所述连接板的另一端通过浮动接头与所述推杆连接。
19、根据本技术提供的一种真空镀膜装置，还包括激光传感器，所述激光传感器具有接收端和反射端；
20、其中，所述接收端设于所述腔体与所述腔盖二者中的其中一者上，所述反射端设于另外一者上；
21、接近开关，所述接近开关设于所述腔体的底部。
22、根据本技术提供的一种真空镀膜装置，还包括控制单元，所述控制单元用于控制液压油缸进行伸缩运动，所述控制单元包括电磁阀、第一单向节流阀、第二单向节流阀、双向平衡阀、第一换向阀、第二换向阀、第一油路和第二油路；
23、其中，所述电磁阀的第一油口、所述第一单向节流阀、所述第一换向阀和所述液压油缸的无杆腔通过所述第一油路相串接；
24、所述电磁阀的第二油口、所述第二单向节流阀、所述第二换向阀和所述液压油缸的有杆腔通过所述第二油路相串接；
25、所述双向平衡阀分别与所述第一换向阀、所述第二换向阀并联设置，所述双向平衡阀用于控制所述第一油路或所述第二油路中液压油的流速。
26、本技术的第二方面提供一种真空镀膜系统，包括如上所述真空镀膜装置。
27、有益效果：本技术提供的真空镀膜装置，包括腔体、铰链座、腔盖和伸缩驱动件，铰链座设有腰型铰接孔，腔体与腔盖通过铰链座铰接，伸缩驱动件驱动腔盖打开或关闭，通过在铰链座上设置垂直于腔体贴合面的腰形铰接孔，使得腔盖扣合到腔体后，贴合面的法相有一定的自由度，在真空状态下，密封面可以更好的贴附，保证真空密封腔的密封性能，从而解决了现有技术中因过定位影响腔体与腔盖之间密封性的问题。
28、进一步，在本技术提供的真空镀膜系统中，由于具备如上所述的真空镀膜装置，因此同样具备如上所述的各种优势。
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1.一种真空镀膜装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述伸缩驱动件为液压油缸(4)，所述液压油缸(4)包括缸体(41)和活塞杆(42)，所述活塞杆(42)可移动地设于所述缸体(41)内，所述缸体(41)固定于所述腔体(1)的底部，所述活塞杆(42)与所述腔盖(3)活动连接。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述活塞杆(42)与所述腔盖(3)之间还设有连接臂(5)，所述连接臂(5)为L型结构，所述连接臂(5)的一端与所述腔盖(3)固定连接，所述连接臂(5)的另一端与所述活塞杆(42)转动连接。
4.根据权利要求3所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述连接臂(5)的另一端与所述活塞杆(42)之间还设有关节轴承(6)。
5.根据权利要求4所述的真空镀膜装置，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述安全插销组件(7)还包括：
7.根据权利要求6所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述气缸(74)包括气缸体(741)和推杆(742)，所述推
8.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，还包括：
9.根据权利要求2所述的真空镀膜装置，其特征在于，还包括控制单元(11)，所述控制单元(11)用于控制液压油缸(4)进行伸缩运动，所述控制单元(11)包括电磁阀(111)、第一单向节流阀(112)、第二单向节流阀(113)、双向平衡阀(114)、第一换向阀(115)、第二换向阀(116)、第一油路(117)和第二油路(118)；
10.一种真空镀膜系统，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的真空镀膜装置。
...【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述伸缩驱动件为液压油缸(4)，所述液压油缸(4)包括缸体(41)和活塞杆(42)，所述活塞杆(42)可移动地设于所述缸体(41)内，所述缸体(41)固定于所述腔体(1)的底部，所述活塞杆(42)与所述腔盖(3)活动连接。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述活塞杆(42)与所述腔盖(3)之间还设有连接臂(5)，所述连接臂(5)为l型结构，所述连接臂(5)的一端与所述腔盖(3)固定连接，所述连接臂(5)的另一端与所述活塞杆(42)转动连接。
4.根据权利要求3所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述连接臂(5)的另一端与所述活塞杆(42)之间还设有关节轴承(6)。
5.根据权利要求4所述的真空镀膜装置，其特征在于，
6.根据权利要求5所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：安乐，秦小宏，
申请(专利权)人：株洲三一硅能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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