温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术涉及真空镀膜设备技术领域，提供一种真空镀膜装置及系统，包括腔体、铰链座、腔盖和伸缩驱动件，铰链座设有腰型铰接孔，腔体与腔盖通过铰链座铰接，伸缩驱动件驱动腔盖打开或关闭，通过在铰链座上设置垂直于腔体贴合面的腰形铰接孔，使得腔盖扣合到腔体...
该专利属于株洲三一硅能技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过株洲三一硅能技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。