压力传感器制造技术

压力传感器构成为能够检测压力。该压力传感器包括第1片部件和第2片部件。第2片部件与第1片部件重叠地配置。在第1片部件形成有第1电极和第2电极。在第2片部件形成有被压敏导电层覆盖的第3电极。在使用压力传感器时，在第1电极与第2电极之间施加电压。无论压力传感器是否处于使用中，第1电极和第2电极都分别与压敏导电层接触。敏导电层接触。敏导电层接触。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压力传感器


[0001]本专利技术涉及压力传感器，尤其涉及构成为能够检测压力的压力传感器。

技术介绍

[0002]日本特开2016
‑
024109号公报(专利文献1)公开了一种压力传感器。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2001
‑
159569号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的技术问题
[0007]例如，本专利技术人(们)发现，在上述专利文献1所公开的压力传感器，存在压力传感器的输出值相对于施加于压力传感器的载荷的变化不呈直线地变化的问题。
[0008]本专利技术是为了解决这样的问题而完成的，其目的在于提供一种关于压力的输出值相对于施加于压力传感器的载荷的变化更呈直线地变化的压力传感器。
[0009]用于解决技术问题的手段
[0010]本专利技术的压力传感器构成为能够检测压力。该压力传感器包括第1片部件和第2片部件。第2片部件与第1片部件重叠地配置。在第1片部件形成有第1电极和第2电极。在第2片部件形成有被压敏导电层覆盖的第3电极。在使用压力传感器时，在第1电极与第2电极之间施加电压。无论压力传感器是否处于使用中，第1电极和第2电极都分别与压敏导电层接触。
[0011]假设在第2片部件未形成第3电极而仅形成有压敏导电层。在此情况下，在使用压力传感器时，电流主要经由压敏导电层从第1电极和第2电极的一者向另一者流动。由于电流在压敏导电层的宽范围内流动，所以起因于压敏导电层的体积电阻值变大。本专利技术人(们)发现，起因于压敏导电层的体积电阻值越大，越对压力传感器的直线性造成不良影响。其中，压力传感器的直线性是指，压力传感器的输出值的变化相对于施加于压力传感器的载荷的变化的直线程度。在此，压力传感器的输出值例如是通过使用运算放大器将由双曲线表示的电阻值输出转换为通过原点的电压值输出而得到的。
[0012]在本专利技术的压力传感器中，在第2片部件，压敏导电层覆盖第3电极。因此，在该压力传感器中，在使用压力传感器时，电流经由压敏导电层和第3电极从第1电极和第2电极的一者流向另一者。在此情况下，与在第2片部件未形成第3电极的情况相比，电流在压敏导电层的狭窄范围内流动，引起起因于压敏导电层的体积电阻值变小。因此，根据该压力传感器，由于起因于压敏导电层的体积电阻值变小，所以能够改善压力传感器的直线性。
[0013]在上述压力传感器中，第3电极也可以由与第1电极和第2电极相同的材料构成。
[0014]在上述压力传感器中，在将第1电极和第2电极间的距离设为L1、将压敏导电层的厚度设为T1的情况下，L1/T1可以大于40。
[0015]在上述压力传感器中，第1电极和第2电极也可以分别具有梳齿形状的部分。
[0016]专利技术的效果
[0017]根据本专利技术，能够提供一种关于压力的输出值相对于施加于压力传感器的载荷的变化更呈直线地变化的压力传感器。
附图说明
[0018]图1是示意性地表示压力传感器的平面的一部分的图。
[0019]图2是示意性地表示图1的II
‑
II截面的图。
[0020]图3是示意性地表示比较对象的压力传感器的截面的一部分的图。
[0021]图4是示意性地表示压力传感器的截面的一部分的图。
[0022]图5是表示比较对象的压力传感器的直线性的图。
[0023]图6是表示实施方式的压力传感器的直线性的图。
[0024]图7是示意性地表示变形例的压力传感器所包含的第1电极、第2电极和压敏导电层的平面的图。
具体实施方式
[0025]以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。另外，对图中相同或相当的部分标注相同的附图标记，不重复其说明。
[0026][1.压力传感器的结构][0027]图1是示意性地表示本实施方式的压力传感器10的平面的一部分的图。图2是示意性地表示图1的II
‑
II截面的图。
[0028]参照图1和图2，压力传感器10构成为能够检测被施加的压力。压力传感器10包括第1片部件50和第2片部件60。在压力传感器10中，第1片部件50与第2片部件60相互重叠。第1片部件50和第2片部件60分别在俯视时具有大致圆形状的部分和矩形状的部分。第1片部件50和第2片部件60在彼此的大致圆形状的部分不相互粘接。在压力传感器10中，能够检测夹住第1片部件50和第2片部件60的压力。
[0029]第1片部件50包括基材100、第1电极110和第2电极120。基材100是片状部件，具有大致圆形的部分和矩形的部分。基材100例如由聚酰亚胺、PET(polyethylene terephthalate：聚对苯二甲酸乙二醇酯)等具有挠性的材料构成。
[0030]第1电极110和第2电极120各自形成在基材100上。第1电极110和第2电极120各自在俯视时具有梳齿状的部分和矩形状的部分。第1电极110和第2电极120以彼此的梳齿相互错开的方式配置。第1电极110和第2电极120各自由例如银箔、铜箔、铝箔等金属箔或导电性聚合物等构成。另外，第1电极110和第2电极120的材料并不限定于此，只要为导电率较高的材料，则可以使用任意的材料。
[0031]第2片部件60包含基材200、第3电极220和压敏导电层210。基材200是片状部件，具有与基材100大致相同的形状。基材200与基材100同样，例如由聚酰亚胺、PET等具有挠性的材料构成。
[0032]第3电极220形成在基材200上。第3电极220的形状在俯视时为大致圆形状。第3电极220与第1电极110及第2电极120同样地例如由银箔、铜箔、铝箔等金属箔或导电性聚合物等构成。另外，第3电极220的材料并不限定于此，只要为导电率较高的材料，则可以使用任
意的材料。在本实施方式中，第3电极220由与第1电极110和第2电极120相同的材料构成。
[0033]压敏导电层210在第2片部件60中以覆盖第3电极220的方式形成。压敏导电层210的形状在俯视时为比第3电极220大一圈的大致圆形状。压敏导电层210由压敏导电油墨形成。作为压敏导电油墨，能够使用包含导电性颗粒的公知的压敏导电油墨。
[0034]作为压敏导电油墨中所含的导电性颗粒，例如可列举出炭黑、石墨、碳纳米管、碳纳米角、碳纳米纤维、碳纳米线圈等碳系颗粒(也包括纤维状物)；铁、镍、铜、铝、镁、铂、银、金和包含这些金属中的至少1种金属的合金等金属颗粒；氧化锡、氧化锌、碘化银、碘化铜、钛酸钡、氧化铟锡、钛酸锶等导电性无机材料颗粒等。导电性颗粒可以单独使用1种，也可以组合使用2种以上。
[0035]在压力传感器10中，在将第1电极110与第2电极120之间的距离设为L1，将压敏导电层210的厚度设为T1的情况下，L1/T1大于40。另外，1/T1也可以大于50。即，在压力传感器10中，第1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种压力传感器，其构成为能够检测压力，所述压力传感器的特征在于，包括：第1片部件；和与所述第1片部件重叠地配置的第2片部件，在所述第1片部件中形成有第1电极和第2电极，在所述第2片部件中形成有被压敏导电层覆盖的第3电极，在使用所述压力传感器时，在所述第1电极与第2电极之间施加电压，无论所述压力传感器是否处于使用中，所述第1电极和第2电极都分别与所述压敏导电层接触。2...

【专利技术属性】
技术研发人员：矶田兼吾，山本尚，岩田耕治，
申请(专利权)人：霓达株式会社，
类型：发明
国别省市：