显示面板中转装置以及镀膜处理设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种显示面板中转装置以及镀膜处理设备，显示面板中转装置包括：箱体，箱体内具有第一中转腔室；设置于第一中转腔室的底部的支持组件；气体处理组件，其用于对第一中转腔室进行排气处理和注气处理，气体处理组件包括气泵和气管，气管环形设置于第一中转腔室的周部，气管上间隔设置有多个气孔，气泵的一端与气管连通，另一端与箱体的外部连通。在抽气处理或注气处理时，空气从第一中转腔室的周部区域排出或注入，空气扰动的区域远离位于第一中转腔室中部的显示面板。空气通过多个气孔排出，可使第一中转腔室内发生气体扰动的区域更加分散，降低空气扰动的强度，以避免显示面板因遭受空气扰动而发生振动，保证加工质量。量。量。

【技术实现步骤摘要】
显示面板中转装置以及镀膜处理设备


[0001]本技术涉及显示器制造
，尤其涉及一种显示面板中转装置以及镀膜处理设备。

技术介绍

[0002]在显示面板制造工艺中，通过在玻璃板、树脂板上通过蒸镀或溅射等方法形成膜层，再通过曝光、蚀刻等方式形成图形，然后对显示面板进行清洗、烘干处理，最后形成具有显示功能的显示面板。在对显示面板进行镀膜处理时，需要使用中转装置对显示面板进行转运。由于对镀膜处理的镀膜腔室处于真空状态，因此，当显示面板从中转装置运送至镀膜腔室时，需要使中转装置内部处于和镀膜腔室相同的真空状态；当显示面板从中转装置运送至外部时，需要使中转装置内部处于和外部相同的常压状态。
[0003]现有技术中，参照图1和图2所示，一种用于转运显示面板4
′
的中转装置，包括箱体1
′
，箱体1
′
内部具有中转腔室10
′
，中转腔室10
′
的腔壁上分布有四个气管2
′
，每个气管2
′
均设置有气泵。利用气管2
′
对中转腔室10
′
进行抽气，以使中转腔室10
′
呈真空状态；或者，利用气管2
′
对中转腔室10
′
进行注气，以使中转腔室10
′
呈常压状态。中转腔室10
′
内设置有起支撑作用的支撑装置3
′
，显示面板4
′
放置在支撑装置3/>′
上。现有技术存在以下不足：抽气或注气时，四个气管同时工作，受气泵的故障或老化影响，四个气泵的工作效率不同，造成四个气管的注气效率或抽气效率不同。因此，在抽气或注气时会造成中转腔室10
′
内的空气扰动，由于显示面板4
′
的厚度较薄，进而导致显示面板4
′
在空气扰动下发生振动，显示面板4
′
与支撑装置3
′
之间发生摩擦而引起静电、磨损等不良情况。

技术实现思路

[0004]本技术的一个目的在于提出一种显示面板中转装置，其可避免显示面板受空气扰动而发生振动，保证显示面板的加工质量。
[0005]本技术的另一个目的在于提出一种镀膜处理设备，有利于提高显示面板的加工质量。
[0006]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]提供的一种显示面板中转装置，包括：
[0008]箱体，所述箱体内具有可选择性密封的第一中转腔室；
[0009]支撑组件，所述支撑组件设置于所述第一中转腔室的底部，所述支撑组件用于放置显示面板；
[0010]气体处理组件，所述气体处理组件用于对所述第一中转腔室进行排气处理和注气处理，所述气体处理组件包括气泵和气管，所述气管环形设置于所述第一中转腔室的周部，所述气管上间隔设置有多个气孔，所述气管通过所述气孔与所述第一中转腔室连通，所述气泵的一端与所述气管连通，另一端与所述箱体的外部连通；
[0011]排气处理时，所述气泵驱动空气从所述第一中转腔室流向所述箱体的外部，并使
所述第一中转腔室呈真空状态；注气处理时，所述气泵驱动空气从所述箱体外部流向所述第一中转腔室，并使所述第一中转腔室呈常压状态。
[0012]作为显示面板中转装置的一种优选方案，所述支撑组件可升降设置，排气处理或注气处理时，所述气管与所述显示面板位于同一水平面。
[0013]作为显示面板中转装置的一种优选方案，所述气管为两个，两个所述气管分别位于所述显示面板的厚度方向的两侧。
[0014]作为显示面板中转装置的一种优选方案，所述气管上设置有多个气孔组，多个所述气孔组沿气管的轴线方向均匀间隔分布，每个所述气孔组包括多个所述气孔，每个所述气孔组中的多个所述气孔沿所述气管的圆周方向均匀间隔分布。
[0015]作为显示面板中转装置的一种优选方案，相邻两个所述气孔组中的所述气孔错位分布。
[0016]作为显示面板中转装置的一种优选方案，所述支撑组件包括支撑杆和设置于所述支撑杆的端部的真空吸盘，所述真空吸盘用于吸附所述显示面板。
[0017]作为显示面板中转装置的一种优选方案，所述气孔的孔径为1mm
‑
2mm。
[0018]作为显示面板中转装置的一种优选方案，所述第一中转腔室为多个，多个所述第一中转腔室沿竖直方向间隔分布。
[0019]还提供一种镀膜处理设备，包括镀膜装置和显示面板中转装置，所述镀膜装置包括镀膜腔室和第二中转腔室，所述镀膜腔室与所述第一中转腔室通过所述第二中转腔室连通，所述第二中转腔室内设置有机械手，所述机械手用于运送所述显示面板在所述第一中转腔室和所述镀膜腔室之间运动。
[0020]作为显示面板中转装置的一种优选方案，所述镀膜腔室有多个，多个所述镀膜腔室环设于所述第二中转腔室的周部。
[0021]本技术相比于现有技术的有益效果：
[0022]本技术的显示面板中转装置以及镀膜处理设备，显示面板中转装置通过将气管围设在第一中转腔室的周部，并在气管上开设多个气孔。在抽气处理或注气处理时，空气从第一中转腔室的周部区域排出或注入，使得空气扰动的区域远离位于第一中转腔室中部的显示面板，以避免显示面板因遭受空气扰动而发生振动，进而避免显示面板与支撑组件之间相互摩擦而出现不良情况。以及，空气通过气管上的多个气孔排出，在抽气处理或注气处理时，可使第一中转腔室内发生气体扰动的区域更加分散，进而降低空气扰动的强度，进而避免显示面板发生振动。因此，本实施例中的中转装置可避免显示面板因受空气扰动而发生振动，进而不免显示面板与支撑组件之间发生摩擦而引起静电、磨损等不良情况，有利于保证显示面板的加工质量。
附图说明
[0023]图1为现有技术的中转装置第一视角的剖视图。
[0024]图2为现有技术的中转装置第二视角的剖视图。
[0025]图3为本技术实施例一的显示面板中转装置第一视角的剖视图。
[0026]图4为本技术实施例一的显示面板中转装置第二视角的剖视图。
[0027]图5为本技术实施例一的气管的局部示意图。
[0028]图6为本技术实施例二的显示面板中转装置的剖视图。
[0029]图7为本技术实施例三的显示面板中转装置的剖视图。
[0030]图8为本技术实施例四的镀膜处理设备的示意图。
[0031]图1和图2中：
[0032]1′
、箱体；10
′
、中转腔室；2
′
、气管；3
′
、支撑装置；4
′
、显示面板。
[0033]图3至图8中：
[0034]1、箱体；11、第一中转腔室；12、外侧门；13、内侧门；2、气体处理组件；21、气管；22、气泵；23、气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显示面板中转装置，其特征在于，包括：箱体，所述箱体内具有可选择性密封的第一中转腔室；支撑组件，所述支撑组件设置于所述第一中转腔室的底部，所述支撑组件用于放置显示面板；气体处理组件，所述气体处理组件用于对所述第一中转腔室进行排气处理和注气处理，所述气体处理组件包括气泵和气管，所述气管环形设置于所述第一中转腔室的周部，所述气管上间隔设置有多个气孔，所述气管通过所述气孔与所述第一中转腔室连通，所述气泵的一端与所述气管连通，另一端与所述箱体的外部连通；排气处理时，所述气泵驱动空气从所述第一中转腔室流向所述箱体的外部，并使所述第一中转腔室呈真空状态；注气处理时，所述气泵驱动空气从所述箱体外部流向所述第一中转腔室，并使所述第一中转腔室呈常压状态。2.根据权利要求1所述的显示面板中转装置，其特征在于，所述支撑组件可升降设置，排气处理或注气处理时，所述气管与所述显示面板位于同一水平面。3.根据权利要求1所述的显示面板中转装置，其特征在于，所述气管为两个，两个所述气管分别位于所述显示面板的厚度方向的两侧。4.根据权利要求1所述的显示面板中转装置，其特征在于，所述气管上设置有多个气孔组，多个所述气孔组沿气管的轴线方向均匀...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨贤烁，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：新型
国别省市：