本实用新型专利技术提供了一种镀膜氧化装置，涉及薄膜制备技术领域，包括放卷模块、镀膜模块、氧气吹入模块和收卷模块，氧气吹入模块设于镀膜模块与收卷模块之间，放卷模块放出薄膜，镀膜模块对薄膜进行镀膜，氧气吹入模块对镀膜后的薄膜表面吹出氧气，收卷模块收纳氧化后的薄膜，使镀膜后的薄膜在真空环境下被氧气氧化，薄膜表面生成致密的氧化铝，可以有效的防止电解液直接接触铝箔，防止铝箔被电解液腐蚀，避免薄膜应用在锂离子电池后，在使用过程中出现铝箔迁移。铝箔迁移。铝箔迁移。
【技术实现步骤摘要】
一种镀膜氧化装置以及真空镀膜装置
[0001]本技术涉及薄膜制备
，更具体的说，本技术涉及一种镀膜氧化装置以及真空镀膜装置。
技术介绍
[0002]导电金属薄膜是一类具有多种良好性能的材料，现已广泛应用于电池中作为正极集流体或者负极集流体。
[0003]现有的导电金属薄膜多采用真空蒸发镀膜或磁控溅射镀膜。以真空蒸镀工艺为例，真空蒸镀是指在真空条件下，采用一定的蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)，使镀膜材料气化，气化的粒子飞至基片表面凝聚成膜。例如，薄膜经过蒸发镀铝，即可得到铝膜复合集流体。
[0004]但实际应用中，在将铝膜复合集流体应用于锂离子电池时，电解液会将铝膜腐蚀，从而影响电池性能。
[0005]因此需要一种新的方案，来解决此问题。
技术实现思路
[0006]为了克服现有技术的不足，本技术提供了一种镀膜氧化装置以及真空镀膜装置。
[0007]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种镀膜氧化装置，其改进之处在于：包括放卷模块、镀膜模块、氧气吹入模块和收卷模块，氧气吹入模块设于镀膜模块与收卷模块之间，放卷模块放出薄膜，镀膜模块对薄膜进行镀膜，氧气吹入模块对镀膜后的薄膜表面吹出氧气，收卷模块收纳氧化后的薄膜。
[0008]在上述结构中，所述的氧气吹入模块设置于薄膜的两面，对薄膜两面的表面吹出氧气；
[0009]所述的氧气吹向薄膜的整个幅宽的表面。
[0010]在上述结构中，所述的氧气吹向薄膜表面的方向与薄膜的走膜方向相反。
[0011]在上述结构中，还包括电晕模块，电晕模块设于镀膜模块与收卷模块之间，对镀膜后的薄膜表面进行电晕处理；
[0012]或者，还包括等离子模块，等离子模块设于镀膜模块与收卷模块之间，对镀膜后的薄膜表面进行等离子处理。
[0013]在上述结构中，所述的电晕模块设置于薄膜的两面，对薄膜两面的表面进行电晕处理；
[0014]或者，所述的等离子模块设置于薄膜的两面，对薄膜两面的表面进行等离子处理。
[0015]在上述结构中，所述的电晕模块对薄膜的整个幅宽的表面进行电晕处理；
[0016]或者，所述的等离子模块对薄膜的整个幅宽的表面进行等离子处理。
[0017]在上述结构中，所述的电晕模块包括双电极，薄膜从双电极之间穿过，双电极对薄
膜进行电晕处理。
[0018]在上述结构中，还包括冷却模块，冷却模块设于氧气吹入模块与收卷模块之间，对电晕处理后或者等离子处理后的薄膜进行冷却。
[0019]在上述结构中，还包括壳体，所述的氧气吹入模块，以及电晕模块或者等离子模块，设于壳体内，壳体上设有匹配于薄膜并使薄膜通过的开孔；
[0020]所述的壳体内设有排气管，用于将壳体内多余的气体排出真空腔室。
[0021]本技术还提供了一种真空镀膜装置，包括真空腔室和所述的镀膜氧化装置，所述的镀膜氧化装置设于真空腔室内。
[0022]本技术的有益效果是：通过使镀膜后的薄膜在真空环境下被氧气氧化，薄膜表面生成致密的氧化铝，可以有效的防止电解液直接接触铝箔，防止铝箔被电解液腐蚀，避免薄膜应用在锂离子电池后，在使用过程中出现铝箔迁移。
附图说明
[0023]附图1为本技术的一种镀膜氧化装置的结构示意图。
[0024]附图2为本技术的一种镀膜氧化装置中的冷却模块的结构示意图。
[0025]附图3为对薄膜进行多次蒸镀时的本技术的一种镀膜氧化装置的结构示意图。附图4为本技术的一种镀膜氧化装置中氧气吹入模块和电晕模块均设置于薄膜的两面的结构示意图。
[0026]附图5为本技术的一种镀膜氧化装置中壳体和排气管的结构示意图。
[0027]其中，1、放卷模块；2、镀膜模块；3、氧气吹入模块；4、收卷模块；5、电晕模块；6、冷却模块；7、壳体；8、排气管。
具体实施方式
[0028]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0029]以下将结合实施例和附图对本技术的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本技术的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本技术的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本技术的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本技术保护的范围。另外，专利中涉及到的所有联接/连接关系，并非单指构件直接相接，而是指可根据具体实施情况，通过添加或减少联接辅件，来组成更优的联接结构。本技术创造中的各个技术特征，在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合。
[0030]参照图1所示，本技术提供了一种镀膜氧化装置，包括放卷模块1、镀膜模块2、氧气吹入模块3和收卷模块4，氧气吹入模块3设于镀膜模块2与收卷模块4之间，放卷模块1放出薄膜，镀膜模块2对薄膜进行镀膜，氧气吹入模块3对镀膜后的薄膜表面吹出氧气，使镀膜后的薄膜在真空环境下被氧气氧化，薄膜表面生成致密的氧化铝，收卷模块4收纳氧化后的薄膜。本技术中所述的镀膜模块2对薄膜进行镀膜，包括真空蒸发镀膜或磁控溅射镀膜。本实施例中，以真空蒸发镀膜工艺为例，蒸发的膜料是铝，镀膜后的薄膜即铝膜复合集流体。铝膜复合集流体的表面被氧气氧化后，表面生成致密的氧化铝，致密的氧化铝的表面没有孔洞缝隙，可以有效的防止电解液直接接触铝箔，防止铝箔被电解液腐蚀，避免薄膜应
用在锂离子电池后，在使用过程中出现铝箔迁移。虽然现有技术生产的铝箔，薄膜在空气中时，薄膜表面与空气中的氧气结合也会生成氧化铝，但此种条件下，因氧气的流量不够，生成的氧化铝层的密度不够，不能有效的防止电解液直接接触铝箔，因此，铝箔依然会被电解液腐蚀，薄膜应用在锂离子电池后，在使用过程中会出现铝箔迁移。而本技术的装置，可在薄膜表面生成致密的氧化铝，更稳定，能有效的防止电解液直接接触铝箔。在真空环境下进行蒸镀，是本
内的常规手段，例如设置密闭的真空腔室，蒸镀在真空腔室内进行，因此，此处省略了对真空环境的详细表述。因为是在真空环境下吹入氧气，因此，本技术中吹入的氧气可以是微量的，通入的氧气量可以是30
‑
60sccm/min。
[0031]参照图1所示，本技术还包括电晕模块5，电晕模块5设于镀膜模块2与收卷模块4之间，对镀膜后的薄膜表面进行电晕处理，并且，可实现对薄膜表面同时进行电晕和吹入氧气，使薄膜表面生成的氧化层(指氧化铝层)更均匀，使铝箔避免被腐蚀的效果更好；或者，电晕模块5也可以替换为等离子模块5，因此，本技术还可以包括等离子模块5，等离子模块5设于镀膜模块2与收卷模块4之间，对镀膜后的薄膜表面进行等离子处理，并且，可实现对薄膜表面同时进行等离子处理和吹入氧气，使薄膜表面生成的氧化层(指氧化铝层)更均匀，使铝箔避免被腐蚀的效果更好。进一步的，所述的电晕模块5或者等离子模块5，设于镀膜模块2与氧气吹入模块3之间。进一步的，可通过调整本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种镀膜氧化装置，其特征在于：包括放卷模块、镀膜模块、氧气吹入模块和收卷模块，氧气吹入模块设于镀膜模块与收卷模块之间，放卷模块放出薄膜，镀膜模块对薄膜进行镀膜，氧气吹入模块对镀膜后的薄膜表面吹出氧气，收卷模块收纳氧化后的薄膜。2.如权利要求1所述的一种镀膜氧化装置，其特征在于：所述的氧气吹入模块设置于薄膜的两面，对薄膜两面的表面吹出氧气；所述的氧气吹向薄膜的整个幅宽的表面。3.如权利要求1或2所述的一种镀膜氧化装置，其特征在于：所述的氧气吹向薄膜表面的方向与薄膜的走膜方向相反。4.如权利要求1所述的一种镀膜氧化装置，其特征在于：还包括电晕模块，电晕模块设于镀膜模块与收卷模块之间，对镀膜后的薄膜表面进行电晕处理；或者，还包括等离子模块，等离子模块设于镀膜模块与收卷模块之间，对镀膜后的薄膜表面进行等离子处理。5.如权利要求4所述的一种镀膜氧化装置，其特征在于：所述的电晕模块设置于薄膜的两面，对薄膜两面的表面进行电晕处理；或者，所述的等离子模块设置于薄膜的两面，...
【专利技术属性】
技术研发人员：臧世伟，刘文卿，
申请(专利权)人：重庆金美新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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