一种具有方阻在线检测功能的真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种具有方阻在线检测功能的真空镀膜设备，该真空镀膜设备包括：真空腔体、设置在真空腔体的内部的放卷辊、收卷辊、第一冷却主鼓和第二冷却主鼓，以及设置在第一冷却主鼓与第二冷却主鼓之间、和/或第二冷却主鼓与收卷辊之间的方阻在线检测机构。本实用新型专利技术实施例通过在在第一冷却主鼓与第二冷却主鼓之间、和/或第二冷却主鼓与收卷辊之间分别设置方阻在线检测机构，可以实时的检测薄膜的方阻，提高方阻检测的准确性。提高方阻检测的准确性。提高方阻检测的准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种具有方阻在线检测功能的真空镀膜设备


[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体涉及一种具有方阻在线检测功能的真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]导电金属薄膜是一类具有多种良好性能的材料，现已广泛应用于电池中作为正极集流体或者负极集流体。导电金属薄膜的电学性能可以通过方阻值进行表征，其为单位方块平面导电体的电阻，通过测定方阻即可推算出导电薄膜的厚度。通常采用方阻仪进行方阻的测定,其一般具有四个电极(即探针)，其中两端的电极以恒流电源的形式提供能量，而中间的两个电极用于测量电压，经内部转换后，最终以数字的形式显示出方阻值。
[0003]目前，在对流水线上的薄膜进行方阻测定的方法一般是在定期停止运行后，采用方阻仪静态定点测量薄膜的方阻值，然后通过手动记录方阻值来判定导电薄膜是否结晶，该方式不仅工作效率较低，而且不能实时检测薄膜的方阻。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术实施例的目的在于提供一种具有方阻在线检测功能的真空镀膜设备，以解决现有技术中采用方阻仪静态定点测量薄膜的方阻值，不仅工作效率较低，而且不能实时检测薄膜方阻的技术问题。
[0005]为达上述目的，本技术实施例提供了一种具有方阻在线检测功能的真空镀膜设备，所述真空镀膜设备包括：
[0006]真空腔体、设置在所述真空腔体的内部的放卷辊、收卷辊、第一冷却主鼓和第二冷却主鼓，以及设置在所述第一冷却主鼓与所述第二冷却主鼓之间、和/或所述第二冷却主鼓与所述收卷辊之间的方阻在线检测机构。
[0007]在一些可能的实施方式中，所述方阻在线检测机构包括：
[0008]第一方阻检测辊和第二方阻检测辊，所述第一方阻检测辊和所述第二方阻检测辊的两端均为导电段，所述导电段之间均为绝缘段；
[0009]导电刷，分别活动地设置在所述导电段上，所述导电刷通过导线与方阻检测仪器连接；其中，所述方阻检测仪器设置在所述真空腔体的外部。
[0010]在一些可能的实施方式中，所述第一方阻检测辊和所述第二方阻检测辊分别位于薄膜的两侧。
[0011]在一些可能的实施方式中，所述放卷辊和所述收卷辊上下设置在所述真空腔体内；
[0012]所述第一冷却主鼓和所述第二冷却主鼓均位于所述放卷辊与所述收卷辊之间，且所述第一冷却主鼓和所述第二冷却主鼓左右相对设置。
[0013]在一些可能的实施方式中，在所述放卷辊与所述第一冷却主鼓之间，和/或所述收卷辊与所述第二冷却主鼓间分别设置有一个或一对防打滑辊。
[0014]在一些可能的实施方式中，当所述防打滑辊为一个时，所述防打滑辊位于薄膜的一侧；
[0015]所述防打滑辊为一对时，一对所述防打滑辊滚动接触的设置于所述薄膜的两侧。
[0016]在一些可能的实施方式中，所述防打滑辊为真空吸附辊、橡胶辊或者海绵辊。
[0017]在一些可能的实施方式中，所述真空镀膜设备还包括：
[0018]蒸发舟或坩埚，设置在所述真空腔体的内部，分别位于所述第一冷却主鼓和所述第二冷却主鼓的下方；
[0019]熔融腔体，设置于所述真空腔体的外部；
[0020]管道，贯穿所述真空腔体的壁体将所述熔融腔体与所述蒸发舟或坩埚导通。
[0021]在一些可能的实施方式中，所述管道的材质为陶瓷或耐高温材质，所述管道的外部设置有保温件或者加热件。
[0022]在一些可能的实施方式中，所述真空镀膜设备还包括：若干张力辊，滚动的设置在所述真空腔体的内部，用于控制薄膜的张力。
[0023]上述技术方案的有益技术效果在于：
[0024]本技术实施例提供的一种具有方阻在线检测功能的真空镀膜设备，所述真空镀膜设备包括：真空腔体、设置在真空腔体的内部的放卷辊、收卷辊、第一冷却主鼓和第二冷却主鼓，以及设置在第一冷却主鼓与第二冷却主鼓之间、和/或第二冷却主鼓与收卷辊之间的方阻在线检测机构。本技术实施例通过在在第一冷却主鼓与第二冷却主鼓之间、和/或第二冷却主鼓与收卷辊之间分别设置方阻在线检测机构，可以实时的检测薄膜的方阻，提高方阻检测的准确性。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1是本技术实施例的一种具有方阻在线检测功能的真空镀膜设备的整体结构示意图；
[0027]图2是本技术实施例的一种方阻在线检测机构的结构示意图；
[0028]图3是本技术实施例的另一种具有方阻在线检测功能的真空镀膜设备的整体结构示意图。
[0029]附图标号说明：
[0030]1、真空腔体；2、放卷辊；3、收卷辊；4、第一冷却主鼓；5、第二冷却主鼓；6、方阻在线检测机构；61、第一方阻检测辊；62、第二方阻检测辊；63、导电刷；64、方阻检测仪器；601、导电段；602、绝缘段；7、防打滑辊；8、蒸发舟或坩埚；9、熔融腔体；10、管道；11、张力辊。
具体实施方式
[0031]下面将详细描述本技术的各个方面的特征和示例性实施例。在下面的详细描述中，提出了许多具体细节，以便提供对本技术的全面理解。但是，对于本领域技术人
员来说很明显的是，本技术可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本技术的示例来提供对本技术的更好的理解。在附图和下面的描述中，至少部分的公知结构和技术没有被示出，以便避免对本技术造成不必要的模糊；并且，为了清晰，可能夸大了部分结构的尺寸。此外，下文中所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。
[0032]图1是本技术实施例的一种具有方阻在线检测功能的真空镀膜设备的整体结构示意图，如图1所示，该真空镀膜设备包括：真空腔体1、设置在真空腔体1的内部的放卷辊2、收卷辊3、第一冷却主鼓4和第二冷却主鼓5，以及设置在第一冷却主鼓4与第二冷却主鼓5之间、和/或第二冷却主鼓5与收卷辊3之间的方阻在线检测机构6。
[0033]本技术实施例通过在第一冷却主鼓4与第二冷却主鼓5之间、和/或第二冷却主鼓5与收卷辊3之间分别设置方阻在线检测机构6，可以实时的检测薄膜的方阻，提高方阻检测的准确性。
[0034]另外，本实施例中的方阻在线检测机构6设置在第一冷却主鼓4与第二冷却主鼓5之间，当第一个蒸发舟或者坩埚对薄膜蒸镀后，使用方阻在线检测机构6进行方阻检测，可以检测出第一次镀膜后的薄膜上的金属层的方阻大小，进而可以调节第二次镀膜的方阻，比如当检测得知第一次镀膜后的方阻后，如果方阻不合格，那么可以提高第二次镀膜的量，比如可以给第二个蒸发舟或者刚过加更多的热量，进而可以调节镀层的方阻。而且，当第二冷却主鼓5与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有方阻在线检测功能的真空镀膜设备，其特征在于，所述真空镀膜设备包括：真空腔体(1)、设置在所述真空腔体(1)的内部的放卷辊(2)、收卷辊(3)、第一冷却主鼓(4)和第二冷却主鼓(5)，以及设置在所述第一冷却主鼓(4)与所述第二冷却主鼓(5)之间、和/或所述第二冷却主鼓(5)与所述收卷辊(3)之间的方阻在线检测机构(6)；所述方阻在线检测机构(6)包括：第一方阻检测辊(61)和第二方阻检测辊(62)，所述第一方阻检测辊(61)和所述第二方阻检测辊(62)的两端均为导电段(601)，所述导电段(601)之间均为绝缘段(602)；导电刷(63)，分别活动地设置在所述导电段(601)上，所述导电刷(63)通过导线与方阻检测仪器(64)连接；其中，所述方阻检测仪器(64)设置在所述真空腔体(1)的外部。2.根据权利要求1所述的一种具有方阻在线检测功能的真空镀膜设备，其特征在于，所述第一方阻检测辊(61)和所述第二方阻检测辊(62)分别位于薄膜的两侧。3.根据权利要求1或2所述的一种具有方阻在线检测功能的真空镀膜设备，其特征在于，所述放卷辊(2)和所述收卷辊(3)上下设置在所述真空腔体(1)内；所述第一冷却主鼓(4)和所述第二冷却主鼓(5)均位于所述放卷辊(2)与所述收卷辊(3)之间，且所述第一冷却主鼓(4)和所述第二冷却主鼓(5)左右相对设置。4.根据权利要求1或2所述的一种具有方阻在线检测功能...

【专利技术属性】
技术研发人员：臧世伟，刘文卿，
申请(专利权)人：重庆金美新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：