一种多工位硅片光刻机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多工位硅片光刻机，涉及光刻机技术领域，包括装置主体，所述装置主体包括顶盖、螺母、锥形块、底板以及底座，所述装置主体两侧焊接有第一连接块，且第一连接块与套管转动连接，并且套管内部与螺纹杆螺纹连接，所述螺纹杆一端焊接有螺母，所述螺纹杆另一端焊接有限位块，所述装置主体顶部一端与顶盖转动连接，所述装置主体内部安装有光刻机主体，所述装置主体底部安装有底板，所述底板底部与锥形块焊接，所述锥形块下方设有底座，该装置在不需要使用时通过螺纹杆能够将顶盖与装置主体之间紧密贴合，从而有利于避免外部灰尘进入装置主体内部，同时该装置通过底部的减震结构有利于避免使用的过程中受到震动从而影响加工精度。而影响加工精度。而影响加工精度。

【技术实现步骤摘要】
一种多工位硅片光刻机


[0001]本技术涉及光刻机
，具体为一种多工位硅片光刻机。

技术介绍

[0002]光刻机又称光刻系统等，常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序，多工位硅片光刻机对加工的精度要求较高，从而对外壳的要求也高。
[0003]经检索，中国专利授权号为CN212302210U的专利一种多工位硅片光刻机，包括硅片光刻机本体，所述硅片光刻机本体的底部固定安装有底座，所述底座的上表面固定安装有保护罩，所述保护罩位于硅片光刻机本体的外部，所述保护罩的两侧均铰接有罩门，所述罩门的中部固定连接有透明观察板。虽然该多工位硅片光刻机，通过保护罩、罩门以及电动伸缩杆的配合使用，利用保护罩对硅片光刻机本体进行保护，可以避免在机器未使用时受到外界碰撞、灰尘的损坏，同时利用罩门可以将保护罩打开，进而便于硅片光刻机本体进行正常工作，配合电动伸缩杆使罩门自动升降，提高了该多工位硅片光刻机的使用便捷性，但该装置的罩门的密闭性较差，从而容易导致灰尘容易进入装置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多工位硅片光刻机，包括装置主体（1），其特征在于：所述装置主体（1）包括顶盖（2）、螺母（4）、锥形块（9）、底板（12）以及底座（15），所述装置主体（1）两侧焊接有第一连接块（3），且第一连接块（3）与套管（5）转动连接，并且套管（5）内部与螺纹杆（6）螺纹连接，所述螺纹杆（6）一端焊接有螺母（4），所述螺纹杆（6）另一端焊接有限位块（7），所述装置主体（1）顶部一端与顶盖（2）转动连接，所述装置主体（1）内部安装有光刻机主体（19），所述装置主体（1）底部安装有底板（12），所述底板（12）底部与锥形块（9）焊接，所述锥形块（9）下方设有底座（15）。2.根据权利要求1所述一种多工位硅片光刻机，其特征在于：所述锥形块（9）两侧与滚轴（8）滑动接触，且滚轴（8）两端与滑块（10）两端滑动连接，所述滑块（1...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡德立，
申请(专利权)人：杭州芯微影半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：