一种多工位硅片光刻机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多工位硅片光刻机，涉及光刻机技术领域，包括装置主体，所述装置主体包括顶盖、螺母、锥形块、底板以及底座，所述装置主体两侧焊接有第一连接块，且第一连接块与套管转动连接，并且套管内部与螺纹杆螺纹连接，所述螺纹杆一端焊接有螺母，所述螺纹杆另一端焊接有限位块，所述装置主体顶部一端与顶盖转动连接，所述装置主体内部安装有光刻机主体，所述装置主体底部安装有底板，所述底板底部与锥形块焊接，所述锥形块下方设有底座，该装置在不需要使用时通过螺纹杆能够将顶盖与装置主体之间紧密贴合，从而有利于避免外部灰尘进入装置主体内部，同时该装置通过底部的减震结构有利于避免使用的过程中受到震动从而影响加工精度。而影响加工精度。而影响加工精度。

【技术实现步骤摘要】
一种多工位硅片光刻机


[0001]本技术涉及光刻机
，具体为一种多工位硅片光刻机。

技术介绍

[0002]光刻机又称光刻系统等，常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序，多工位硅片光刻机对加工的精度要求较高，从而对外壳的要求也高。
[0003]经检索，中国专利授权号为CN212302210U的专利一种多工位硅片光刻机，包括硅片光刻机本体，所述硅片光刻机本体的底部固定安装有底座，所述底座的上表面固定安装有保护罩，所述保护罩位于硅片光刻机本体的外部，所述保护罩的两侧均铰接有罩门，所述罩门的中部固定连接有透明观察板。虽然该多工位硅片光刻机，通过保护罩、罩门以及电动伸缩杆的配合使用，利用保护罩对硅片光刻机本体进行保护，可以避免在机器未使用时受到外界碰撞、灰尘的损坏，同时利用罩门可以将保护罩打开，进而便于硅片光刻机本体进行正常工作，配合电动伸缩杆使罩门自动升降，提高了该多工位硅片光刻机的使用便捷性，但该装置的罩门的密闭性较差，从而容易导致灰尘容易进入装置内部，从而污染装置，同时该装置加工时稳定性较差，在受到震动时会影响加工的精度。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种多工位硅片光刻机，解决了
技术介绍
中所提出的问题。
[0005]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种多工位硅片光刻机，包括装置主体，所述装置主体包括顶盖、螺母、锥形块、底板以及底座，所述装置主体两侧焊接有第一连接块，且第一连接块与套管转动连接，并且套管内部与螺纹杆螺纹连接，所述螺纹杆一端焊接有螺母，所述螺纹杆另一端焊接有限位块，所述装置主体顶部一端与顶盖转动连接，所述装置主体内部安装有光刻机主体，所述装置主体底部安装有底板，所述底板底部与锥形块焊接，所述锥形块下方设有底座。
[0006]优选的，所述锥形块两侧与滚轴滑动接触，且滚轴两端与滑块两端滑动连接，所述滑块内部与滑杆滑动连接，所述滑杆外部套装有第一弹簧，所述滑杆两端通过第二连接块与底座顶部连接。
[0007]优选的，所述底板两端通过阻尼器与底座连接，且阻尼器外部套装有第二弹簧。
[0008]优选的，所述装置主体内部设有冷却管，所述冷却管与循环泵连通，且冷却管外部安装有冷却器。
[0009]优选的，所述顶盖两侧设有凸块，且凸块呈U形结构。
[0010]优选的，所述螺母一端与螺纹杆焊接，且螺母另一端开设有内六角凹槽。
[0011]本技术提供了一种多工位硅片光刻机。具备以下有益效果：
[0012]该一种多工位硅片光刻机，通过各个部件的互相组合，该装置在不需要使用时通
过螺纹杆能够将顶盖与装置主体之间紧密贴合，从而有利于避免外部灰尘进入装置主体内部，同时该装置通过底部的减震结构有利于避免使用的过程中受到震动从而影响加工精度。
附图说明
[0013]图1为本技术整体结构示意图；
[0014]图2为本技术俯视结构示意图；
[0015]图3为本技术装置主体内部结构示意图；
[0016]图4为本技术螺母结构示意图；
[0017]图5为本技术滑块结构示意图。
[0018]图中，1、装置主体；2、顶盖；3、第一连接块；4、螺母；5、套管；6、螺纹杆；7、限位块；8、滚轴；9、锥形块；10、滑块；11、第一弹簧；12、底板；13、滑杆；14、第二连接块；15、底座；16、冷却器；17、循环泵；18、冷却管；19、光刻机主体20、阻尼器；21、第二弹簧。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
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5，本技术实施例提供一种技术方案：一种多工位硅片光刻机，包括装置主体1，所述装置主体1包括顶盖2、螺母4、锥形块9、底板12以及底座15，所述装置主体1两侧焊接有第一连接块3，且第一连接块3与套管5转动连接，并且套管5内部与螺纹杆6螺纹连接，所述螺纹杆6一端焊接有螺母4，所述螺纹杆6另一端焊接有限位块7，所述装置主体1顶部一端与顶盖2转动连接，所述装置主体1内部安装有光刻机主体19，所述装置主体1底部安装有底板12，所述底板12底部与锥形块9焊接，所述锥形块9下方设有底座15，当该装置不需要进行使用时，通过关上顶盖2，进而将螺纹杆6进行转动，使螺纹杆6移动到顶盖2侧面凹槽中，进而通过螺母4带动螺纹杆6进行转动，螺纹杆6通过套管5进行移动，进而带动限位块7与顶盖2两侧进行接触，从而将顶盖2与装置主体1之间进行拉紧，从而提高密闭性。
[0021]所述锥形块9两侧与滚轴8滑动接触，且滚轴8两端与滑块10两端滑动连接，所述滑块10内部与滑杆13滑动连接，所述滑杆13外部套装有第一弹簧11，所述滑杆13两端通过第二连接块14与底座15顶部连接，当该装置在进行使用的过程中震动时，会通过底板12进行上下移动，底板12向下移动的同时能够带动锥形块9向下进行移动，进而锥形块9向下移动的同时能够带动滑块10向两侧进行移动，进而第一弹簧11能够对滑块10进行缓冲，进而配合阻尼器20达到减震缓冲的效果，避免影响加工的精度。
[0022]所述底板12两端通过阻尼器20与底座15连接，且阻尼器20外部套装有第二弹簧21，通过第二弹簧21与阻尼器20能够进一步进行减震缓冲。
[0023]所述装置主体1内部设有冷却管18，所述冷却管18与循环泵17连通，且冷却管18外部安装有冷却器16，通过冷却管18内部的冷却液从而能对装置主体1内部进行降温冷却，从而避免光刻机主体19温度过高影响使用，被加热后的冷却液在循环泵17的作用下，从而经
过冷却器16进行冷却，有利于使冷却液能够循环冷却。
[0024]所述顶盖2两侧设有凸块，且凸块呈U形结构，通过凸块能与限位块7构成限位结构。
[0025]所述螺母4一端与螺纹杆6焊接，且螺母4另一端开设有内六角凹槽，从而有利于通过六角扳手从而对螺母4进行转动。
[0026]工作原理：
[0027]当该装置不需要进行使用时，通过关上顶盖2，进而将螺纹杆6进行转动，使螺纹杆6移动到顶盖2侧面凹槽中，进而通过螺母4带动螺纹杆6进行转动，螺纹杆6通过套管5进行移动，进而带动限位块7与顶盖2两侧进行接触，从而将顶盖2与装置主体1之间进行拉紧，从而提高密闭性；当该装置在进行使用的过程中震动时，会通过底板12进行上下移动，底板12向下移动的同时能够带动锥形块9向下进行移动，进而锥形块9向下移动的同时能够带动滑块10向两侧进行移动，进而第一弹簧11能够对滑块10进行缓冲，进而配本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多工位硅片光刻机，包括装置主体（1），其特征在于：所述装置主体（1）包括顶盖（2）、螺母（4）、锥形块（9）、底板（12）以及底座（15），所述装置主体（1）两侧焊接有第一连接块（3），且第一连接块（3）与套管（5）转动连接，并且套管（5）内部与螺纹杆（6）螺纹连接，所述螺纹杆（6）一端焊接有螺母（4），所述螺纹杆（6）另一端焊接有限位块（7），所述装置主体（1）顶部一端与顶盖（2）转动连接，所述装置主体（1）内部安装有光刻机主体（19），所述装置主体（1）底部安装有底板（12），所述底板（12）底部与锥形块（9）焊接，所述锥形块（9）下方设有底座（15）。2.根据权利要求1所述一种多工位硅片光刻机，其特征在于：所述锥形块（9）两侧与滚轴（8）滑动接触，且滚轴（8）两端与滑块（10）两端滑动连接，所述滑块（1...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡德立，
申请(专利权)人：杭州芯微影半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：