本实用新型专利技术提供了一种柔性连接装置及具有其的光刻设备，涉及光刻设备技术领域，为解决平面光栅在工作状态下的结构动态稳定性易受到干扰的问题。该柔性连接装置包括沿Z向设置且固定连接的第一连接体和第二连接体，第一连接体设置第一变形结构，用于提供柔性连接装置在Rx向的扭转调节；第二连接体设置第二变形结构，用于提供柔性连接装置在Ry向的扭转调节；柔性连接装置还包括紧固组件，第一连接体通过紧固组件与第二连接体可拆卸固定连接。本实用新型专利技术提高了平面光栅在工作状态下的结构动态稳定性。动态稳定性。动态稳定性。
【技术实现步骤摘要】
柔性连接装置及具有其的光刻设备
[0001]本技术涉及光刻设备
，具体而言，涉及一种柔性连接装置及具有其的光刻设备。
技术介绍
[0002]光刻设备的套刻精度主要受工件台的定位精度影响，平面光栅作为光刻设备中用于测量工件台相对于计量框架位置的测量基准，其与计量框架的结构动态稳定性直接影响着工件台的定位精度。其中，平面光栅集成固定于光栅安装板。
[0003]由于计量框架与光栅安装板制造材料的热膨胀系数不同，当周围环境温度发生变化时，计量框架将自身的机械扰动和热扰动通过连接装置传递至光栅安装板，对平面光栅在工作状态下的结构动态稳定性产生干扰，从而对工件台的定位精度产生不利影响。
[0004]因此，如何降低计量框架产生的机械扰动和热扰动对光栅安装板的影响，以提高平面光栅在工作状态下的结构稳定性，已成为提高光刻设备工件台平面光栅测量系统定位精度亟需解决的问题。
技术实现思路
[0005]本技术的第一个目的在于提供一种柔性连接装置，以解决平面光栅在工作状态下的结构动态稳定性易受到干扰的技术问题。
[0006]本技术提供的柔性连接装置，包括沿Z向设置且固定连接的第一连接体和第二连接体，所述第一连接体设置第一变形结构，所述第一变形结构提供所述柔性连接装置在Rx向的扭转调节，所述第二连接体设置第二变形结构，所述第二变形结构提供所述柔性连接装置在Ry向的扭转调节；所述柔性连接装置还包括紧固组件，所述第一连接体通过所述紧固组件与所述第二连接体可拆卸固定连接。
[0007]进一步地，所述第一连接体开设紧固通孔，所述第二连接体开设与所述紧固通孔相对的紧固螺孔，所述紧固组件包括套筒、弹性元件和紧固螺栓，其中，所述套筒固定设置于所述紧固通孔，所述紧固螺栓穿设于所述套筒，并与所述紧固螺孔螺纹连接；所述弹性元件设置于所述紧固螺栓与所述套筒之间，所述弹性元件用于使所述紧固螺栓始终具有沿Z向背离所述第二连接体的运动趋势。
[0008]进一步地，所述第一变形结构包括以XZ平面为连接基础呈“八”形设置的两条第一狭缝，两条所述第一狭缝沿背离其连接基础的方向以及X向贯穿所述第一连接体；所述第二变形结构包括以YZ平面为连接基础呈“八”形设置的两条第二狭缝，两条所述第二狭缝沿背离其连接基础的方向以及Y向贯穿所述第二连接体。
[0009]进一步地，所述第一变形结构的两条所述第一狭缝以XZ平面呈轴对称设置；和/或，所述第二变形结构的两条所述第二狭缝以YZ平面呈轴对称设置。
[0010]进一步地，所述第一连接体设置有两组所述第一变形结构，两组所述第一变形结构沿Z向间隔排布。
[0011]进一步地，两组所述第一变形结构以XY平面呈轴对称设置，且每组所述第一变形结构的两条所述第一狭缝均自其连接基础朝向另一组所述第一变形结构的方向延伸。
[0012]进一步地，所述第一连接体与所述第二连接体两者中的一者设置凸块，所述第一连接体与所述第二连接体两者中的另一者设置凹槽，所述凸块与所述凹槽插接，用于在Y向限制所述第一连接体与所述第二连接体的相对移动。
[0013]进一步地，所述柔性连接装置还包括安装螺栓，所述第一连接体开设孔轴线沿Z向的安装通孔，所述安装螺栓穿设于所述安装通孔，且所述安装螺栓的螺杆由所述第一连接体背离所述第二连接体的一面露出。
[0014]进一步地，所述安装螺栓的数量为多个，所述第一连接体开设数量与所述安装螺栓的数量相同的所述安装通孔，多个所述安装通孔分散排布，多个所述安装螺栓分别一一对应地穿过多个所述安装通孔。
[0015]进一步地，所述第二连接体设置连接孔，所述连接孔的孔轴线沿Z向。
[0016]本技术柔性连接装置带来的有益效果是：
[0017]以该柔性连接装置在光刻设备中的应用为例进行说明。使用时，可以将柔性连接装置的第一连接体与计量框架固定连接，同时，将第二连接体与光栅安装板固定连接。当计量框架与光栅安装板之间因扰动产生沿Y向的相对位移时，第一连接体的第一变形结构将发挥作用，提供柔性连接装置在Rx向的扭转调节，利用该扭转调节作用抵消计量框架与光栅安装板之间沿Y向的相对位移，该过程中，第一变形结构使柔性连接装置沿Z向和X向具有较高的刚度，而沿Y向具有较低的刚度；当计量框架与光栅安装板之间因扰动产生沿X向的相对位移时，第二连接体的第二变形结构将发挥作用，提供柔性连接装置在Ry向的扭转调节，利用该扭转调节作用抵消计量框架与光栅安装板之间沿X向的相对位移，该过程中，第二变形结构使柔性连接装置沿Z向和Y向具有较高的刚度，而沿X向具有较低的刚度。
[0018]由此可见，该柔性连接装置能够有效降低光栅安装板沿X向和Y向受计量框架传递的扰动(如：周围环境温度变化产生的热扰动)的影响，并且在Z向具有较高的刚度，从而能够提高固定设置于光栅安装板的平面光栅在工作状态下的结构动态稳定性，进而减少对工件台的定位精度所造成的不利影响，以提高光刻设备的套刻精度。
[0019]另外，通过设置使第一连接体和第二连接体可拆卸固定连接的紧固组件，不仅实现了第一连接体和第二连接体两者的固定连接，而且，还便于将第一连接体和第二连接体进行拆卸，以对其维护或更换。
[0020]本技术的第二个目的在于提供一种光刻设备，以解决平面光栅在工作状态下的结构动态稳定性易受到干扰的技术问题。
[0021]本技术提供的光刻设备，包括计量框架、光栅安装板和上述柔性连接装置，其中，所述柔性连接装置的第一连接体与所述计量框架固定连接，所述柔性连接装置的第二连接体与所述光栅安装板固定连接。
[0022]本技术光刻设备带来的有益效果是：
[0023]通过在光刻设备中设置上述柔性连接装置，利用柔性连接装置沿Z向具有较高的刚度、而在X向和Y向具有较低的刚度的特点，能够有效降低计量框架对光栅安装板和平面光栅的机械扰动和热扰动敏感性，从而提高平面光栅在工作状态下的结构动态稳定性，进而提高光刻设备的套刻精度，满足了产品级光刻设备工件台平面光栅位置测量系统的套刻
精度需求。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0025]图1为现有技术提供的光刻设备的局部结构示意图；
[0026]图2为本技术实施例提供的柔性连接装置的结构示意图；
[0027]图3为本技术实施例提供的柔性连接装置的第一连接体的结构示意图；
[0028]图4为本技术实施例提供的柔性连接装置的第二连接体的结构示意图；
[0029]图5为本技术实施例提供的柔性连接装置的紧固组件的纵向截面示意图；
[0030]图6为本技术实施例提供的柔性连接装置的局部结构截面图一；<本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种柔性连接装置，其特征在于，包括沿Z向设置且固定连接的第一连接体(100)和第二连接体(200)，所述第一连接体(100)设置第一变形结构(110)，所述第一变形结构(110)提供所述柔性连接装置在Rx向的扭转调节，所述第二连接体(200)设置第二变形结构(210)，所述第二变形结构(210)提供所述柔性连接装置在Ry向的扭转调节；所述柔性连接装置还包括紧固组件(300)，所述第一连接体(100)通过所述紧固组件(300)与所述第二连接体(200)可拆卸固定连接。2.根据权利要求1所述的柔性连接装置，其特征在于，所述第一连接体(100)开设紧固通孔(120)，所述第二连接体(200)开设与所述紧固通孔(120)相对的紧固螺孔(220)，所述紧固组件(300)包括套筒(310)、弹性元件(320)和紧固螺栓(330)，其中，所述套筒(310)固定设置于所述紧固通孔(120)，所述紧固螺栓(330)穿设于所述套筒(310)，并与所述紧固螺孔(220)螺纹连接；所述弹性元件(320)设置于所述紧固螺栓(330)与所述套筒(310)之间，所述弹性元件(320)用于使所述紧固螺栓(330)始终具有沿Z向背离所述第二连接体(200)的运动趋势。3.根据权利要求1所述的柔性连接装置，其特征在于，所述第一变形结构(110)包括以XZ平面为连接基础呈“八”形设置的两条第一狭缝(111)，两条所述第一狭缝(111)沿背离其连接基础的方向以及X向贯穿所述第一连接体(100)；所述第二变形结构(210)包括以YZ平面为连接基础呈“八”形设置的两条第二狭缝(211)，两条所述第二狭缝(211)沿背离其连接基础的方向以及Y向贯穿所述第二连接体(200)。4.根据权利要求3所述的柔性连接装置，其特征在于，所述第一变形结构(110)的两条所述第一狭缝(111)以XZ平面呈轴对称设置；和/或，所述第二变形结构(210)的两条所述第二狭缝(211)以YZ平面呈轴对称设置。5.根据权利要求3所述的柔性连接装置，其特征在于，所述第一连接体(100)设置有两组所...
【专利技术属性】
技术研发人员：付大为，焦健，李腾飞，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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