一种便于维护的光刻机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种便于维护的光刻机，属于光刻机维护领域，所要解决的问题是现有光刻机柜门启闭操作繁琐且占用空间较大的问题；采用的技术方案如下：该方案包括光刻机，且光刻机前侧的槽口上装配有第一挡门和第二挡门；所述光刻机的前侧装配有套座，所述套座中套装有第一挡门，所述第一挡门中套装有第二挡门，且光刻机的外壁上固定安装有位于边缘处且卡接在第二挡门内侧的卡座；该便于维护的光刻机，通过光刻机外侧第一挡门与第二挡门的设置，当需要对其进行启闭时，只需横向移动第二挡门，推动其至第一挡门内侧的副卡槽中，同时将第一挡门推送纸套座内侧的主卡槽中，完成柜门的压缩，以便于露出槽门，本实用新型专利技术适用于光刻机维护领域。光刻机维护领域。光刻机维护领域。

【技术实现步骤摘要】
一种便于维护的光刻机


[0001]本技术涉及光刻机维护
，具体为一种便于维护的光刻机。

技术介绍

[0002]光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序光刻的意思是用光来制作一个图形(工艺)；在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。
[0003]经检索，专利申请号为CN202021107984.0的申请书中，公开了一种便于维护的光刻机，包括光刻机本体，所述光刻机本体正表面的两侧均通过铰链转动连接有柜门，所述光刻机本体正表面的两侧均固定连接有固定结构。本技术通过固定结构起到了对柜门的固定和释放，进行使用六角扳手操作固定结构，将柜门进行释放，即可将柜门开启。上述申请文件通过设置相应组件来替代螺栓进行柜门启闭，但是仍采用旋动式启闭，占用空间相对较大，并且上述组件仍需手动旋动进行启闭。
[0004]因此，我们提出了一种便于维护的光刻机。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种便于维护的光刻机，解决了现有旋动式柜门占用空间较大同时需要额外启闭操作进而导致实用性较低的问题。
[0006]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种便于维护的光刻机，包括光刻机，且光刻机前侧的槽口上装配有第一挡门和第二挡门；
[0007]所述光刻机的前侧装配有套座，所述套座中套装有第一挡门，所述第一挡门中套装有第二挡门，所述第一挡门与第二挡门均为U形挡门，且光刻机的外壁上固定安装有位于边缘处且卡接在第二挡门内侧的卡座。
[0008]优选的，所述套座为U型座，所述套座的侧壁上开设有主卡槽，且第一挡门的右侧壁活动套装在套座内侧的主卡槽中。
[0009]优选的，所述第一挡门的左侧壁上开设有副卡槽，且第二挡门的右侧壁活动套装在副卡槽中。
[0010]优选的，所述光刻机前壁的外侧开设有两组位置相对的第一滑槽，且第一滑槽中滑动套装有第一挡门。
[0011]优选的，所述光刻机前壁的外侧开设有两组位置相对的第二滑槽，且第二滑槽中滑动套装有第一挡门。
[0012]优选的，所述第二挡门的外壁上固定安装有拉柄，所述第二挡门由铁质材料制作而成，且卡座的顶侧固定套装有与第二挡门内侧壁相接触的磁板。
[0013]优选的，所述光刻机的前壁上固定安装有位于两组槽门之间的套座，所述套座为倒U型座，且套座的两个侧壁上均开设有主卡槽。
[0014]本技术提供了一种便于维护的光刻机。具备以下有益效果：
[0015]该便于维护的光刻机，通过光刻机外侧第一挡门与第二挡门的设置，当需要对其进行启闭时，只需横向移动第二挡门，推动其至第一挡门内侧的副卡槽中，同时将第一挡门推送纸套座内侧的主卡槽中，完成柜门的压缩，以便于露出槽门，不占用额外空间，同时无需手动对其进行启闭，只需通过磁板与第二挡门间的吸引力即可达到对其进行限位的效果，同时其本身横向套装的设置也具备一定的限位效果，解决了现有旋动式柜门占用空间较大同时需要额外启闭操作进而导致实用性较低的问题。
附图说明
[0016]图1为本技术的结构示意图；
[0017]图2为本技术侧视的结构示意图；
[0018]图3为本技术滑槽的结构示意图；
[0019]图4为本技术挡门的结构示意图；
[0020]图5为本技术卡槽的结构示意图。
[0021]图中：1、光刻机；2、套座；3、第一挡门；4、第二挡门；5、卡座；6、主卡槽；7、磁板；8、第一滑槽；9、第二滑槽；10、拉柄；11、副卡槽。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1
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5，本技术实施例提供一种技术方案：一种便于维护的光刻机，包括光刻机1，且光刻机1前侧的槽口上装配有第一挡门3和第二挡门4；
[0024]光刻机1的前侧装配有套座2，套座2中套装有第一挡门3，第一挡门3中套装有第二挡门4，第一挡门3与第二挡门4均为U形挡门，且光刻机1的外壁上固定安装有位于边缘处且卡接在第二挡门4内侧的卡座5；
[0025]其中，在本实施例中，需要补充说明的是，该便于维护的光刻机，通过光刻机1外侧第一挡门3与第二挡门4的设置，当需要对其进行启闭时，只需横向移动第二挡门4，推动其至第一挡门3内侧的副卡槽11中，同时将第一挡门3推送纸套座2内侧的主卡槽6中，完成柜门的压缩，以便于露出槽门，不占用额外空间，同时无需手动对其进行启闭，只需通过磁板7与第二挡门4间的吸引力即可达到对其进行限位的效果，同时其本身横向套装的设置也具备一定的限位效果，解决了现有旋动式柜门占用空间较大同时需要额外启闭操作进而导致实用性较低的问题。
[0026]在本实施例中，需要补充说明的是，套座2为U型座，套座2的侧壁上开设有主卡槽6，且第一挡门3的右侧壁活动套装在套座2内侧的主卡槽6中。
[0027]在本实施例中，需要补充说明的是，第一挡门3的左侧壁上开设有副卡槽11，且第二挡门4的右侧壁活动套装在副卡槽11中。
[0028]在本实施例中，需要补充说明的是，光刻机1前壁的外侧开设有两组位置相对的第
一滑槽8，且第一滑槽8中滑动套装有第一挡门3。
[0029]在本实施例中，需要补充说明的是，光刻机1前壁的外侧开设有两组位置相对的第二滑槽9，且第二滑槽9中滑动套装有第一挡门3。
[0030]在本实施例中，需要补充说明的是，第二挡门4的外壁上固定安装有拉柄10，第二挡门4由铁质材料制作而成，且卡座5的顶侧固定套装有与第二挡门4内侧壁相接触的磁板7。
[0031]在本实施例中，需要补充说明的是，光刻机1的前壁上固定安装有位于两组槽门之间的套座2，套座2为倒U型座，且套座2的两个侧壁上均开设有主卡槽6。
[0032]本技术的工作原理及使用流程：当需要柜门开启时，向左从第一挡门3中拉出第二挡门4，同时将第一挡门3从套座2中拉出，便于对槽门进行遮挡，同时第二挡门4套装在卡座5的外侧，并且通过磁板7对其进行限位，当需要开启时，向右推动第二挡门4使其套装在第一挡门3上的副卡槽11中，并且继续施加推力可使第一挡门3套装在套座2上的主卡槽6中，完成挡门的收缩，操作简单且挡门的收缩不占用额空间，实用性较强。
[0033]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点,对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于维护的光刻机，包括光刻机（1），且光刻机（1）前侧的槽口上装配有第一挡门（3）和第二挡门（4）；其特征在于：所述光刻机（1）的前侧装配有套座（2），所述套座（2）中套装有第一挡门（3），所述第一挡门（3）中套装有第二挡门（4），所述第一挡门（3）与第二挡门（4）均为U形挡门，且光刻机（1）的外壁上固定安装有位于边缘处且卡接在第二挡门（4）内侧的卡座（5）。2.根据权利要求1所述的一种便于维护的光刻机，其特征在于：所述套座（2）为U型座，所述套座（2）的侧壁上开设有主卡槽（6），且第一挡门（3）的右侧壁活动套装在套座（2）内侧的主卡槽（6）中。3.根据权利要求1所述的一种便于维护的光刻机，其特征在于：所述第一挡门（3）的左侧壁上开设有副卡槽（11），且第二挡门（4）的右侧壁活动套装在副卡槽（11）中。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡德立，
申请(专利权)人：杭州芯微影半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：