喷淋装置、切割液系统及线切割机制造方法及图纸

技术编号:39351180 阅读:8 留言:0更新日期:2023-11-18 11:02
本申请涉及线切割机技术领域,具体提供一种喷淋装置、切割液系统及线切割机,旨在解决现有喷淋装置出水均匀性差的问题。为此目的,本申请的喷淋装置包括:喷淋管,其具有进水口和出水口;导流板和密封板,其均设置于喷淋管上,导流板和密封板之间形成供喷淋管内的切割液进入的储水区,导流板的端部和密封板的端部之间形成供储水区内的切割液排出的排水口;中空板,其设置于储水区内,且靠近排水口,中空板内具有多个独立的流道;以及流量调节板,其设置于密封板上,流量调节板能够相对密封板移动,从而改变排水口的大小。本申请不仅能够实现喷淋出水流量的调节,也能够提高喷淋出水的均匀性,进而提高了线切割机的切割质量和切割效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
喷淋装置、切割液系统及线切割机


[0001]本申请涉及线切割机
,具体提供一种喷淋装置、切割液系统及线切割机。

技术介绍

[0002]线切割是一种通过切割线高速往复运动,并与待切割件(比如光伏硅棒、半导体、碳化硅、蓝宝石、磁材等材料)相对移动,以使切割线切割待切割件的一种加工方法。
[0003]在切割待切割件的过程中,需要将切割液均匀地喷淋到待切割件的切割部位,从而带走切割过程中产生的热量,避免因切割部位温度过高而影响待切割件的性能和质量。切割液也对切割部位起到润滑作用,同时还能带走切割过程中产生的粉体等杂物。
[0004]目前,应用于线切割领域的喷淋装置,其喷淋管内不同位置的切割液的压力和速度存在较大差异,导致出现喷淋出水不稳定的现象。虽然在一些相关技术中,通过在喷淋装置的排水口位置设置流量调节板以改善该现象,但是流量调节板的主要作用在于出水流量的调节,其并不能对排水口处各个位置的出水均匀性起到实质作用。因此,采用上述方式依旧无法改善喷淋装置出水均匀性差的问题,相应地,也无法提高线切割机的切割质量和切割效率。
[0005]相应地,本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。

技术实现思路

[0006]本申请旨在解决上述技术问题,即,解决现有喷淋装置出水均匀性差的问题。
[0007]在第一方面,本申请提供一种喷淋装置,其包括:
[0008]喷淋管,其具有进水口和出水口;
[0009]导流板和密封板,其均设置于所述喷淋管上,所述导流板和所述密封板之间形成供所述喷淋管内的切割液进入的储水区,所述导流板的端部和所述密封板的端部之间形成供所述储水区内的切割液排出的排水口;
[0010]中空板,其设置于所述储水区内,且靠近所述排水口,所述中空板内具有多个独立的流道;以及
[0011]流量调节板,其设置于所述密封板上,所述流量调节板能够相对所述密封板移动,从而改变所述排水口的大小。
[0012]通过采用上述技术方案,中空板能够对切割液的压力和速度进行初步降低,同时提升切割液流经排水口时的均匀性,流量调节板则通过控制排水口的大小实现对喷淋装置排水流量的控制,因此,本申请将中空板与流量调节板相结合,不仅实现了喷淋装置流量的调节,也提高了喷淋装置出水的均匀性,进而有利于提高线切割机的切割质量和切割效率。
[0013]在上述喷淋装置的一个技术方案中,所述喷淋装置还包括:
[0014]压板,其设置于所述密封板上,并将所述中空板抵紧固定于所述导流板上。
[0015]通过采用上述技术方案,压板能够对中空板起到限位作用,防止中空板在切割液的冲击力作用下发生窜动,从而提高中空板的稳定性。
[0016]在上述喷淋装置的一个技术方案中,所述压板滑动连接于所述密封板上。
[0017]通过采用上述技术方案,控制压板在密封板上的位置,能够根据需求适应不同规格尺寸的中空板,同时可以消除零件制造偏差和装配偏差,提高压板与中空板的贴合度。
[0018]在上述喷淋装置的一个技术方案中,所述压板上设置有弹性垫片,所述弹性垫片与所述中空板贴合。
[0019]通过采用上述技术方案,弹性垫片能够增大压板与中空板之间的摩擦力,吸收小间隙,防止压板与中空板产生相对滑动。
[0020]在上述喷淋装置的一个技术方案中,所述弹性垫片为橡胶垫或硅胶垫。
[0021]在上述喷淋装置的一个技术方案中,各个所述流道的横截面积均相同。
[0022]通过采用上述技术方案,能够进一步提高喷淋出水的均匀性。
[0023]在上述喷淋装置的一个技术方案中,所述流道的截面形状为矩形或三角形或梯形或圆形。
[0024]在上述喷淋装置的一个技术方案中,所述中空板与所述流量调节板抵接。
[0025]通过采用上述技术方案,有利于中空板内切割液的平稳流出,提高喷淋出水的稳定性。
[0026]在上述喷淋装置的一个技术方案中,所述喷淋装置还包括:
[0027]隔板,其设置于所述喷淋管内,且所述隔板位于所述进水口和所述出水口之间,所述隔板上开设有分流孔。
[0028]通过采用上述技术方案,切割液进入喷淋管内之后,受到隔板的阻挡作用沿着喷淋管的轴向向两侧流动,从而实现分流作用,同时降低切割液的压力和速度,提高出水均匀性。
[0029]在上述喷淋装置的一个技术方案中,所述喷淋管的两端分别连接有堵板,所述堵板封闭所述喷淋管的两端;
[0030]所述堵板上设置有压块,所述压块抵接固定所述隔板。
[0031]通过采用上述技术方案,本申请能够对堵板和隔板进行单独生产加工,降低加工难度。另一方面,通过压块对隔板进行固定,隔板安装完成后不会出现弯曲变形等情况,从而能够使切割液沿隔板平稳流动,保证分流效果。
[0032]在上述喷淋装置的一个技术方案中,所述压块上设置有定位面,所述定位面与所述隔板的表面贴合。
[0033]通过采用上述技术方案,定位面能够增大压块与隔板之间的接触面积,从而提高隔板安装的稳定性,防止隔板受到切割液冲击时相对喷淋管晃动。
[0034]在第二方面,本申请提供一种切割液系统,其所述切割液系统包括第一方面中任一项所述的喷淋装置。
[0035]在第三方面,本申请提供一种线切割机,其包括第一方面中任一项所述的喷淋装置,或者第二方面所述的切割液系统。
[0036]在上述线切割机的一个技术方案中,所述线切割机为切片机。
附图说明
[0037]下面结合附图来描述本申请的优选实施方式,附图中:
[0038]图1是本申请实施例给出的喷淋装置的示意图;
[0039]图2是图1的纵向剖视图;
[0040]图3是中空板的示意图;
[0041]图4是流量调节板的示意图;
[0042]图5是本申请实施例给出的喷量装置另一实施方式的纵向剖视图;
[0043]图6是体现堵板与分流隔板位置关系的示意图;
[0044]图7是堵板的示意图。
[0045]附图标记列表:
[0046]1、喷淋管;11、进水口;12、出水口;13、进水管;14、堵板;141、压块;1411、定位面;2、导流板;3、密封板;4、中空板;41、隔板;5、流量调节板;51、导向孔;6、压板;61、弹性垫片;7、分流隔板;71、分流孔;
[0047]100、储水区;110、排水口。
具体实施方式
[0048]下面参照附图来描述本申请的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是,这些实施方式仅仅用于解释本申请的技术原理,并非用于限制本申请的保护范围。本领域技术人员可以根据需要对其作出调整,以便适应具体的应用场合。
[0049]需要说明的是,在本申请的描述中,术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系,这仅仅是为了便于描述,而不是指示或暗示相关装置或元件本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种喷淋装置,其特征在于,包括:喷淋管,其具有进水口和出水口;导流板和密封板,其均设置于所述喷淋管上,所述导流板和所述密封板之间形成供所述喷淋管内的切割液进入的储水区,所述导流板的端部和所述密封板的端部之间形成供所述储水区内的切割液排出的排水口;中空板,其设置于所述储水区内,且靠近所述排水口,所述中空板内具有多个独立的流道;以及流量调节板,其设置于所述密封板上,所述流量调节板能够相对所述密封板移动,从而改变所述排水口的大小。2.根据权利要求1所述的喷淋装置,其特征在于,所述喷淋装置还包括:压板,其设置于所述密封板上,并将所述中空板抵紧固定于所述导流板上。3.根据权利要求2所述的喷淋装置,其特征在于,所述压板滑动连接于所述密封板上。4.根据权利要求2所述的喷淋装置,其特征在于,所述压板上设置有弹性垫片,所述弹性垫片与所述中空板贴合。5.根据权利要求4所述的喷淋装置,其特征在于,所述弹性垫片为橡胶垫或硅胶垫。6.根据权利要求1所述的喷淋装置,其特征在于,各个所述流道的横截面积均相同。7....

【专利技术属性】
技术研发人员:张维肖江民圣朱业俊
申请(专利权)人:盐城高测新能源科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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